硅单晶与硅片加工课件.pptx

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3.1Phase DiagramPhase-change,Solid Solubility&Segregation相图相变、固溶度与分凝3.1.1Phase Diagram 基本性质基本性质Lever rule(F 2.1)相律(相律(F 2.2)三相点三相点无限互溶(无限互溶(F 2.3)3.1.2 Impurity Solid Solubility 最大固溶度最大固溶度Frozen-inPrecipitationQuenching 3.1.3 Phenomenon of Segregation Equilibrium Segregation Coefficientk=CS/CL,(&k=CS1/CS2,or*)3.2高纯多晶硅的制备高纯多晶硅的制备地球上最多的元素是地球上最多的元素是Si,化合物是石英砂(化合物是石英砂(SiO2),),与焦碳混合,在电炉中还原(与焦碳混合,在电炉中还原(16001800C)可以获得可以获得9599%的的工业粗硅(冶金级硅)工业粗硅(冶金级硅)。MGS(Metallurgical Grade Silicon)SiO2+2C=Si+2CO1、硅粉的酸洗

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