第四章 半导体表面 山东大学 2011.12.0612/22/20221目录4.1 概述4.2 表面晶格结构4.3 表面电子态4.4 表面分析技术12/22/202224.1 概述概述 基本定义 半导体表面分类12/22/20223基本定义基本定义薄膜薄膜 通常指厚度为几十纳米至三十微米左右的材料，与块材相比有大的表面比/体积比。微电子技术中，薄膜常常成为关键性的组成部分。例如，根据半导体元件、大规模集成电路、太阳能电池、大面积显示系统、存储器以及复印等其功能要求把半导体、金属、介质、有机质的薄膜结合起来进行研究。12/22/20224 表面表面 指的是固体与真空之间的分界面。半导体表面是研究半 导体的重要课题之一，它是原子排列终止的地方，是与外 界直接接触的地方，它与表面处理密切相关，它易受外界 的影响。某种情况下不是体内效应而是表面效应支配着半 导体器件的特性。界面界面 有了薄膜才有了界面的概念，不同相或不同类的物质之间 的分界面。12/22/20225 表面态表面态：在晶体表面不附着氧化层或其它任何分子的所谓理想表面情况下，对晶体表面求解薛定谔方程，结果表明电子被局限在表面附近，
