引言X射线光电子谱是重要的表面分析技术之一。它不仅能探测表面的化学组成，而且可以确定各元素的化学状态，因此，在化学、材料科学及表面科学中得以广泛地应用。X射线光电子能谱是瑞典Uppsala大学K.Siegbahn及其同事经过近20年的潜心研究而建立的一种分析方法。他们发现了内层电子结合能的位移现象，解决了电子能量分析等技术问题，测定了元素周期表中各元素轨道结合能，并成功地应用于许多实际的化学体系。引言K.Siegbahn给这种谱仪取名为化学分析电子能谱(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)，简称为“ESCA”，这一称谓仍在分析领域内广泛使用。随着科学技术的发展，XPS也在不断地完善。目前，已开发出的小面积X射线光电子能谱，大大提高了XPS的空间分辨能力。外壳层 内壳层 光电过程示意图e-h 光电效应Ek=hEbWX X射线光电子能谱的基本原理射线光电子能谱的基本原理光电子产生过程中能量分配示意图X X射线光电子能谱的基本原理射线光电子能谱的基本原理光电子产生过程中被吸收光子的那份能量分配在以下几个方面：h=Eb+Ws-e（VI-Vs）
