半导体三讲下单晶硅生长技术课件.ppt

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单晶硅生长技术现状2022/12/231单晶硅简介硅(Si)材料是信息技术、电子技术和光伏技术最重要的基础材料。从某种意义上讲,硅是影响国家未来在高新技术和能源领域实力的战略资源。作为一种功能材料,其性能应该是各向异性的,因此半导体硅大都应该制备成硅单晶,并加工成抛光片,方可制造IC器件,超过98%的电子元件都是使用硅单晶2022/12/232单晶硅简介单晶硅属于立方晶系,金刚石结构,是一种性能优良的半导体材料。自上世纪 40 年代起开始使用多晶硅至今,硅材料的生长技术已趋于完善,并广泛的应用于红外光谱频率光学元件、红外及 射线探测器、集成电路、太阳能电池等。此外,硅没有毒性,且它的原材料石英(SiO2)构成了大约60%的地壳成分,其原料供给可得到充分保障。硅材料的优点及用途决定了它是目前最重要、产量最大、发展最快、用途最广泛的一种半导体材料。2022/12/233应用简介2022/12/2342022/12/235单晶硅生长的原材料:多晶硅原料的制备技术2022/12/23 地球上Si材料的含量丰富,它以硅砂的Sia:状态存在于地球表面。从硅砂中融熔还原形成低纯度的Si是制造高纯度S

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