1要 点 u 气体分子运动论的基本概念气体分子运动论的基本概念u 真空获得的手段真空获得的手段u 真空度的测量真空度的测量2 几乎所有的现代薄膜材料都是在几乎所有的现代薄膜材料都是在真空或是在较低的气体压力下制备的，真空或是在较低的气体压力下制备的，都涉及到都涉及到气相的产生、输运以及气相气相的产生、输运以及气相反应的过程反应的过程。薄膜材料与真空技术薄膜材料与真空技术3u 大气压:atm,kg/cm2,baru Pa:N/m2u Torr:mmHg气体压力的单位与换算1atm=1000mbar =0.1MPa1Torr=133Pa薄膜技术领域：从薄膜技术领域：从10-7Pa到到105Pa，覆盖了，覆盖了12个数量级个数量级4l在薄膜技术领域，人为地将真空在薄膜技术领域，人为地将真空环境粗略地划分为环境粗略地划分为:l低真空低真空 102 Pal中真空中真空 102 10-1 Pal高真空高真空 10-1 10-5 Pal超高真空超高真空 50m，每个空气分子每个空气分子每秒钟内只经历每秒钟内只经历1010次碰撞；次碰撞；气体分子气体分子间的碰撞几率已很小，气体分子的碰撞将主要是其与容
