第九章第九章 扫描电子显微分析与电子探针扫描电子显微分析与电子探针p第一节第一节 扫描电子显微镜工作原理及构造扫描电子显微镜工作原理及构造p第二节第二节 像衬原理与应用像衬原理与应用 p第三节第三节 电子探针电子探针X射线显微分析射线显微分析西南科技大学西南科技大学 张宝述张宝述1第一节第一节 扫描电子显微镜工作原理及构造扫描电子显微镜工作原理及构造 一、工作原理一、工作原理SEM原理示意图原理示意图目前的扫描电子显微镜可以进行目前的扫描电子显微镜可以进行形貌形貌、微区成分微区成分和和晶体结构晶体结构等多种微观组织等多种微观组织结构信息的结构信息的同位分析同位分析。成像原理成像原理：利用细聚焦电子束在样：利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理品表面扫描时激发出来的各种物理信号调制成像。信号调制成像。类似电视摄影显像类似电视摄影显像的方式的方式。SEM的样品室附近可以装入多个探测器。的样品室附近可以装入多个探测器。扫描电子显微镜扫描电子显微镜(简称简称扫描电镜，扫描电镜，SEM)scanning electron microscope2二、构造与主要性能二、构造与主要性能 电
