盛美半导体设备（上海）股份有限公司审计报告及财务报表二O二二年度信会师报字2023第ZI10026号盛美半导体设备（上海）股份有限公司审计报告及财务报表（2022年1月1日至2022年12月31日止）目录页次审计报告1-5财务报表合并资产负债表和母公司资产负债表1-4合并利润表和母公司利润表5-6合并现金流量表和母公司现金流量表7-8合并所有者权益变动表和母公司所有者权益变动表9-12财务报表附注1-93事务所执业资质证明IBDO&立信会计师事务所（特殊普通合伙）泾BDO CHINA SHU LUN PAN CERTIFIED PUBLIC ACCOUNTANTS LLP审计报告信会师报字2023第ZH0026号盛美半导体设备（上海）股份有限公司全体股东：一、审计意见我们审计了盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称盛 美上海）财务报表，包括2022年12月31日的合并及母公司资产负 债表，2022年度的合并及母公司利润表、合并及母公司现金流量表、 合并及母公司所有
