目录一、概述 3二、首次环境影响评价信息公开情况 4三、征求意见稿公示情况 53.1 公示内容及时限 53.2 公示方式 53.2.1 网络 53.2.2 报纸 63.2.3 张贴公告 103.3 查阅情况 103.4 公众提出意见情况 11四、其他公众参与情况 11五、公众意见处理情况 115.1 公众意见概述和分析 115.2 公众意见采纳情况 115.3 公众意见未采纳情况 11六、其他 11七、报批前公开情况 11八、诚信承诺 错误！未定义书签。一、概述目前广东省作为光电半导体产业大省，已初步形成了以广州、佛山、深圳、 汕尾、东莞等城市为主的 LCD 和 OLED 产业基地，CVD 技术是半导体和显示 面板产业的核心工艺。随着半导体和显示面板产业的发展壮大，CVD 技术的使 用将会得到急速发展。但是，在半导体领域的化学气相沉积工序往往会使用到硅 烷（SiH4 ）、硼烷（B2H6 ）、正硅酸乙酯、N2O 、NH3 、C2F6 、NF3 、H2 等各种 物
