Thin Film Materials&Technologies薄膜材料与技术材料科学与工程学院西安理工大学Xian University of Technology-1-薄膜材料与技术Thin Film Materials&Technologies武涛武涛 副教授副教授20182018年年 秋季学期秋季学期Thin Film Materials&Technologies薄膜材料与技术材料科学与工程学院西安理工大学Xian University of Technology-2-4 薄膜的形核与生长本章主要教学内容1 1、薄膜形成初期实验现象及基本规律，薄膜的不同生长模式及其控制因素和规律薄膜形成初期实验现象及基本规律，薄膜的不同生长模式及其控制因素和规律。2 2、凝聚生长薄膜时气固相变的自发、凝聚生长薄膜时气固相变的自发/非自发形核理论，薄膜连续形成的主要生长机制非自发形核理论，薄膜连续形成的主要生长机制。3 3、非外延薄膜生长非外延薄膜生长 SZM SZM 模型模型；薄膜组织结构与沉积条件的关系及内在机制；薄膜组织结构与沉积条件的关系及内在机制；低温抑制型低温抑制型/高温热激活型薄膜
