第第二二章章 元素半导体材料元素半导体材料 本章介绍以锗、硅为代表的元素半导体材料。本章介绍以锗、硅为代表的元素半导体材料。因目前国内外，各种类型的半导体器件，如晶体因目前国内外，各种类型的半导体器件，如晶体管、集成电路，大规模集成电路等多采用硅单晶管、集成电路，大规模集成电路等多采用硅单晶制成。所以这里制成。所以这里重点讨论硅单晶材料。重点讨论硅单晶材料。至于化合至于化合物半导体材料将在物半导体材料将在后面后面讲述。讲述。单晶硅棒材料单晶硅棒材料(见见硅材料硅材料图图1 1、图图2 2）加工成硅片可用来制作各种类型的半导体器件加工成硅片可用来制作各种类型的半导体器件 (图图3 3、图图4 4)单晶单晶 多晶多晶 多晶硅是生产制备单晶硅的原材料，多晶硅多晶硅是生产制备单晶硅的原材料，多晶硅经提纯后，纯度可高达经提纯后，纯度可高达9个个“9”，甚至更纯，甚至更纯（见多晶硅图）。现在首先介绍高纯多晶硅的制（见多晶硅图）。现在首先介绍高纯多晶硅的制备。备。2-1 多晶硅的制备多晶硅的制备 多晶硅制备方法及工艺流程，如图多晶硅制备方法及工艺流程，如图4-1所示。所示。一、一、工业硅的制备工业硅
