第五章-电子图像的成像理论.ppt

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1、第五章电子图像的成像理论 像管光阴极发出的电子图像是通过电子光学系统的作用聚焦成像到输出像面上并完成电子图像的能量增强。电子光学系统也称为电子透镜。 电子光学理论中,研究电子束聚焦成像和偏转,起电子透镜和电子棱镜作用的分支称为弱流细束电子光学,由于其分析聚焦成像方式同几何光学相似,故也称之为几何电子光学。 它的主要研究内容包括:解决电子光学系统中场的分布 (等价于几何光学中的折射率分布 )问题;研究电子的运动规律和运动轨迹;讨论理想成像和各类特殊类型的电子透镜等及其像差理论。 讨论和研究弱流细束电子光学条件如下: 所研究的场为静场,即场与时问无关或随时问变化甚慢,亦即静场只是空间坐标的函数;

2、在真空中; 忽略电子束本身的空间电荷 (或电流 )分布对场的影响; 电子速度远小于光速,即不考虑相对论修正。5.1 电子光学的基本方程 解释各种电子光学现象及进行电子光学系统的计算和设计,必须了解电子在电磁场中的运动规律。要研究电子在由电子光学系统确定的电、磁场中的运动规律,又必须知道电、磁场的具体分布,以求得电子光学折射率的分布,从而决定该系统的电子光学折射性质和聚焦成像性质。 电子光学系统中的场分布具有比较复杂的形式,是与空间坐标有关的非均匀场。求解电、磁场的场分布问题,在数学上归结为用电动力学和数学物理方法求解场所满足的偏微分方程的边值问题。但获得解析解的情况是有限的,大多数情况是应用计

3、算机进行数值计算或实验方法来确定场的分布。电磁场理论是以麦克斯韦方程为基础的,即:当所讨论的空间没有空间电荷和空间电流存在时,上面二式化为可见,静电和静磁现象是彼此独立的,可分别讨论。 从 (53) 式中的第一式可见, E是无旋场,因此可用电位函数 V来描述,这说明在没有空间电荷时 V满足拉普拉斯方程。 而由 (5-4)式的第二式可知 B是无源场。因此可引入矢量磁位函数 A, 其定义为 由电动力学可知,矢量磁位函数 A只是它的无源部分确定的,而其无旋部分可以任意选。为此,可令 A的无旋部分为零而只有无源部分,亦即 A满足下述附加条件此即在没有自由电流的静磁场中矢量磁位函数 A必须满足的二阶偏微分方程。

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