1、X射线光电子能谱X射线光电子能谱能解决什么问题？X射线光电子能谱怎样识别？X射线光电子能谱要注意那些问题？内容 基本原理及谱的认识 定性、定量分析和深度分析 实验时应注意的问题 基本原理及谱的认识1.1 概述1.2 基本原理1.3 谱的认识1.4 非导电样品的荷电校正1.1 概述X射线光电子能谱 ( XPS )X-ray Photoelectron Spectroscopy化学分析电子能谱 ( ESCA )Electron Spectroscopy for Chemical Analysis表面元素化学成分和元素化学态分析的分析技术1.1 概述第一本论著 1967年 K. Siegbahn等著
2、1980年 K. Siegbahn获诺贝尔物理奖商品化仪器 七十年代中 是一门比较新的谱学优点及特点 ： 固体样品用量小，不需要进行样品前处理，从而避免了引入或丢失元素所造成的误分析 表面灵敏度高，一般信息深度 10nm 分析速度快，可多元素同时测定 可以给出原子序数 3-92的元素信息，以获得元素成分分析 可以给出元素化学态信息，进而可以分析出元素的化学态或官能团 样品不受导体、半导体、绝缘体的限制等 是非破坏性分析方法。结合离子溅射 ， 可作深度剖析 应用范围各种复合材料表面分析及界面分析各种固体材料表面的成分分析及元素化学态分析各种薄膜表面与界面分析器件、产品质量分析及剖析金属氧化与腐蚀各种固体表面化学问题的测定 ,等等。1.2 基本原理用一束具有一定能量的 X射线照射固体样品，入射光子同样品相互作用，光子被吸收而将其能量转移给原子的某一壳层上被束缚的电子，此时电子把所得能量的一部分用来克服结合能和功函数，余下的能量作为它的动能而发射出来，成为光电子，这个过程就是 光电效应。光电过程示意图 外壳层 内壳层Ek = h Eb e-h
