1、 透射电子显微镜是以波长很短的电子束做照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种具有高分辨本领，高放大倍数的电子光学仪器。测试的样品要求厚度极薄（几十纳米），以便使电子束透过样品。 第 8讲 透射电子显微分析2011年 11月 4日Transmission Electron MicroscopeTEM 发展历史 在电子光学微观分析仪器中，透射电镜历史久，发展快，应用范围也最广泛1932-1933 ， Ruska等制备第一台透射电子显微镜后，透射电镜就已初步定型生产，并已达到分辨率优于 2nm的水平 到 40年代末， 透射电镜的主体己基本定型。 由电子枪和两个聚光镜组成照明系统，产生一束聚焦很细、亮度高、
2、发散度小的电子束；由物镜、中间镜和投影镜三个透镜组成三级放大的成像系统； 给出分辨率优于 lnm放大几十万倍的电子像。透射电镜的发展带动了电子光学仪器和技术的发展，在此基础上发展越来越多的高精尖仪器一、仪器结构介绍v 透射电子显微镜由三大部分组成：v 电子光学系统，v 真空系统v 供电控制系统。v 电子光学系统，又称镜筒，是电子显微镜的主体。 1、电子枪 2、聚光镜 3、物镜、中间镜和投影镜v 4、消像散 5、荧光屏、照相系统 6、样品室v 电子光学系统，又称镜筒，是电子显微镜的主体。、电子枪 、聚光镜 、物镜、中间镜和投影镜、消像散 、荧光屏、照相系统 、样品室电子光学系统，又称镜筒，是电子
3、显微镜的主体。、电子枪 、聚光镜 、物镜、中间镜和投影镜、消像散 、荧光屏、照相系统 、样品室CM200-FEG场发 射 枪电镜JEM-2010透射 电镜加速 电压 200KVLaB6灯 丝点分辨率 1.94加速 电压 20KV、 40KV、 80KV、160KV、 200KV可 连续设 置加速 电压热场发 射 枪晶格分辨率 1.4点分辨率 2.4最小 电 子束直径 1nm能量分辨率 约 1ev倾转 角度 =20度=25度JEM-2010透射 电镜加速 电压200KVLaB6灯 丝点分辨率 1.94EM420透射电子显微镜加速 电压 20KV、 40KV、 60KV、80KV、 100KV、
4、120KV晶格分辨率 2.04点分辨率 3.4最小 电 子束直径 约 2nm倾转 角度 =60度=30度Philips CM12透射电镜加速 电压 20KV、 40KV、 60KV、 80KV、 100KV、 120KVLaB6或 W灯 丝晶格分辨率 2.04点分辨率 3.4最小 电 子束直径 约 2nm；倾转 角度 =20度=25度CEISS902电镜加速 电压 50KV、 80KVW灯 丝顶 插式 样 品台能量分辨率 1.5ev倾转 角度 =60度转动 40001）电子光学部分 整个电子光学部分完全置于镜筒之内，自上而下顺序排列着电子枪、聚光镜、样品室、 物镜、中间镜、投影镜、观察室、荧光屏、照相机构等装置 根据这些装置的功能不同又可 将电子光学部分分为照明系统、样品室、成像系统及图像观察和记录系统（ 1）照明系统 照明系统由电子枪、聚光镜和相应的平移对中及倾斜调节装置组成。它的作用是为成像系统提供 一束亮度高、相干性好的照明光源。为满足暗场成像的需要照明电子束可在 2-3度范围内倾斜 电子枪。它由阴极、栅极和阳极构成。 在真空中通电加热后使从阴极发射的电子获得较高的动能形成定向高速电子流 聚光镜。聚光镜的作用是会聚从电子枪发射出来的电子束，控制照明孔径角、电流密度和光斑尺寸
