1、第二讲 透射电子显微镜2011年 2月 18日美国总统奥巴马在访问某公司透射电镜实验室，在系统的显示器上检查图片时， “ 我看到了一些原子， ” 他说， “ 请别碰我的原子。 ”日本电子公司生产的JEM-2010FEI公司生产的TECNAI-F302.1透射电子显微镜发展简史l 1897年 J.J. Thompson发现了电子。l1924年 L. De Broglie发现运动电子具有波粒二象性。l 1926年 Busch发现在轴对称的电磁场中运动的电子有会聚现象。l1931年，在德国柏林第一台电镜诞生（ Max Knoll and Ernst Ruska）。l1934年电镜的分辨率可达 50n
2、m。l1939年德国西门子公司第一台电镜投放市场，分辨率优于 10nm。（Ruska, von Borries）l1940 电子光学和电子透镜的基本理论研究 (W. Glaser, O. Scherzer) l1951 X射线谱 (R. Castaing)l1956 第一张晶格像产生 (J. Menter)l1957 多层法的提出 (J. Cowley, A. Moodie)l1970 分辨率小于 4 的高分辨电子显微镜诞生。l1986 E.Ruska获得了诺贝尔物理学奖 (together with G. Binning and H. Rohrer, who developed the Sc
3、anning Tunneling Microscope)Louis de Broglie1892-1987Ernst Ruska 1906-1988电子显微镜之父 E.Ruska, 1986年诺贝尔物理学奖ERNST RUSKA I was born on 25 December 1906 in Heidelberg as the fifth of seven children of Professor Julius Ruska and his wife Elisbeth. After graduating from grammar school in Heidelberg I studied
4、 electronics at the Technical College in Munich, studies which I began in the autumn of 1925 and continued two years later in Berlin. I received my practical training from Brown-Boveri & Co in Mannheim and Siemens & Halske Ltd in Berlin. Whilst still a student at the Technical College in Berlin I be
5、gan my involvement with high voltage and vacuum technology at the Institute of High Voltage, whose director was Professor Adolf Matthias. Under the direct tutelage of Dr Max Knoll and together with other doctoral students I worked on the development of a high performance cathode ray oscilloscope. 。1
6、959年 9月长春光机所自行设计研制成功我国第一台大型电子显微镜，分辨本领优于 2.5nm，放大倍数 10万倍。在天安门前举行国庆十周年中科院游行队伍前就是这台电子显微镜的巨大模型。此成果作为我国四十年重大科学技术成果，并列入了记载古今中外自然科学大事的 自然科学大事年表 。中国透射电子显微镜的发展史1958年 8月中科院长春光学精密机械研究所研制成我国第一台电子显微镜， 50KV，分辨率为 10nm。 1958年国庆节前夕在北京中关村中国科学院举办的展览会上展出。毛主席参观了展览会。上海精密医疗器械厂，在长春光学精密机械研究所第一台大型电子显微镜的基础上经历了 DXA1-10(100kV，
7、5nm)， DXA2-8(80kV，2nm)，至 1965年 7月制成 DXA3-8型一级电子显微镜，分辨本领提高到 0.7nm，放大倍数为 20万倍。通过了国家鉴定。1993年江南光学仪器厂完成 DXT-100G普及型透射电镜 (100kV，1nm)，具有适应性、方便性好和价格低等特点。获南京市科技进步奖二等奖。1977年上海电子光学技术研究所完成多功能 DXB2-12型 80万倍透射电镜，分辨本领保证 0.2nm，可达 0.14nm (晶格 )。配有侧插式大角度旋转倾斜台， X 射线能谱装置 (EDS)，可进行微区成分分析。获 1978年全国科学大会奖，并列为我国四十年重大科学技术成果1993年江南光学仪器厂完成日本 H-600A电镜国产化。分辨本领TEM时达 0.2nm， SEM时达 3nm。投入生产。获南京市科技进步一等奖。1958 我国第一台透射电子显微镜 1977 DXB2-12型透射电子显微镜
