1、内容回顾：电子光学基础n 光学显微镜的 分辨率分辨率 极限（极限（ 200nm)n 原因？原因？ 受可见光波长限制受可见光波长限制 n 电子波电子波 比可见光短十万倍比可见光短十万倍n 光学透镜、电磁透镜的 成像原理成像原理n 电磁透镜的 像差与分辨本领像差与分辨本领n 电磁透镜的 景深和焦长景深和焦长1第九章第九章 透射电子透射电子显微镜显微镜透射电镜结构与工作原理透射电镜结构与工作原理2 9-1 透射电子显微镜的结构和成像透射电子显微镜的结构和成像机理机理透射电子显微镜透射电子显微镜 Transmission Electron Microscope, TEM是以 波长极短的电子束波长极短的
2、电子束 作为照明源、用 电磁透镜电磁透镜 聚焦成像的一种 高分辨本领、高放大倍数高分辨本领、高放大倍数 的电子光学仪器，是观察分析材料的形貌、组织和结构的有效工具。3分析透射分析透射 电电 子子 显显 微微 镜镜 JEM200CX4分析透射 电 子 显 微 镜 JEM20105分析型透射电子显微镜6超高压电镜7TEM发展简史n 1924年 de Broglie提出波粒二象性假说 n 1926 Busch指出 “ 具有轴对称性的磁场对电子束起着透镜的作用，有可能使电子束聚焦成像 ”。n 1927 Davisson & Germer, Thompson and Reid 进行了电子衍射实验。n 1
3、933年柏林大学的 Knoll和 Ruska研制出第一台电镜（点分辨率 50nm, 比光学显微镜高 4倍 )， Ruska 为此获得了 Nobel Prize（ 1986）。n 1949年 Heidenreich观察了用电解减薄的铝试样；8近代 TEM发展史上三个重要阶段n 像衍理论 (50 60年代 )：英国牛津大学材料系 P.B.Hirsch, M.J.Whelan；英国剑桥大学物理系 A.Howie（建立了直接观察薄晶体缺陷和结构的实验技术及电子衍射衬度理论）n 高分辨像理论（ 70年代初）：美国阿利桑那州立大学物理系 J.M.Cowley， 70年代发展了高分辨电子显微像的理论与技术。n 高空间分辨分析电子显微学（ 70年代末， 80年代初）采用高分辨分析电子显微镜（ HREM， NED，EELS, EDS）对很小范围（ 5）的区域进行电子显微研究（像，晶体结构，电子结构，化学成分） 9各国代表人物n 美国伯克莱加州大学 G.Thomas将 TEM第一个用到材料研究上。n 日本岗山大学 H. Hashimoto日本电镜研究的代表人。n 中国：钱临照、郭可信、李方华、叶恒强、朱静。n 国内电镜做得好的有：北京电镜室（物理所）、沈阳金属所、清华大学。10
