1、中国科学技术大学力学与机械工程系材料现代测试技术扫描电子显微镜的结构和工作原理龚 明中国科学技术大学力学与机械工程系材料现代测试技术扫描电镜 成像原理一 .成像原理 ： 利用 细 聚焦电子束 在样品 表面扫描时激发出来的各种 物理信号调制成像 。类似电视摄影显像的方式。 电子束经三个电磁透镜 聚焦 后，成直径为几个纳米的电子束； 末级透镜上部的扫描线圈能使电子束在试样表面上做 光栅扫描 。试样在电子束作用下， 激发出各种信号 ，信号的强度取决于试样表面的形貌、受激发区域的成分和晶体取向。 在试样附近的探测器把激发出的电子信号接受下来，经信号处理放大系统后，输送到显像管栅极以调制显像管的亮度。中
2、国科学技术大学力学与机械工程系材料现代测试技术扫描电镜 成像原理SEM的样品室附近可以装入多个探测器，例如： SED、 BED、 GSED、 EDS、WDS、 EBSD等。目前的扫描电子显微镜可以进行形貌、微区成分和晶体结构等多种微观组织结构信息的同位分析。 显像管中的电子束和镜筒中的电子束同步扫描 ，且显像管上各点的亮度由试样上各点激发出的电子信号强度来调制，因此从试样表面上任一点所收集来的 信号强度 与显像管屏上相应点亮度 一一对应。所以，试样各点状态不同，显像管各点相应的亮度也必不同，由此得到反映试样状态的图像。 GSED样 品入射电子束SEDBEDEDS/WDSEBSD中国科学技术大学
3、力学与机械工程系材料现代测试技术扫描电镜的结构和工作原理1. 电子光学系统 (镜筒 )（ 1）电子枪（ 2）电磁透镜 汇聚镜（ 3）扫描线圈 光栅扫描、角光栅扫描（ 4）样品室各级光阑、消像散器2. 信号探测放大系统（ 1）各种探头（闪烁计数器） SE、 BSE、 TE、 EDS、 GSED、 EDS/WDS（ 2） 光电倍增器（ 3）视频放大器3. 真空系统机械泵、各级分子泵和扩散泵P = 10-4 10-5 Torr(mmHg)4. 其他系统图象显示和记录系统、冷却系统、电源系统二 . 扫描电镜的结构中国科学技术大学力学与机械工程系材料现代测试技术电子枪与灯丝钨灯丝电子枪场发射电子枪场发射
4、电子枪外观中国科学技术大学力学与机械工程系材料现代测试技术电子枪与灯丝六硼化镧灯丝钨灯丝 场发射灯丝中国科学技术大学力学与机械工程系材料现代测试技术 常用的是热阴极三极 电子枪 。它由发夹形钨丝阴极、栅极帽和阳极组成。按照偏压方式可分为 自偏压 和 他偏压 枪。自偏压式枪的负高压直接加到栅极上，通过一个自偏压回路（偏压电阻）起到限制和稳定束流的作用。由于栅极电位比阴极更负，所以自阴极端点引出的等电位面在空间呈弯曲曲面，在阴极和阳极之间的某一地点，电子束会集成一个交叉点，交叉点处电子束直径约几十微米。这就是所谓的电子源，又称为虚光源。热阴极电子枪中国科学技术大学力学与机械工程系材料现代测试技术场发射电子枪灯丝帽阳极电 子束V0电 子束V0第一阳极第二阳极Flashing 电压V1V0: 加速 电压V1: 拔出 电压偏 压 控制器热场发热场发 射射 枪枪 冷冷 场发场发 射射 枪枪( 6.5kV)灯 丝电 流控制器灯 丝中国科学技术大学力学与机械工程系材料现代测试技术VF=Flashing VoltageV01VVFCFE “Flashing” CircuitCFE“除气除气 ”电电 路路“Flash”中国科学技术大学力学与机械工程系材料现代测试技术VF=Flashing VoltageV01VVFCFE “Flashing” Circuit-e-e-e -ee
