1、 扫描电子显微镜和能谱分析技术(Scanning Electron Microscopy/Energy Dispersive Spectrometer)（ SEM/EDS）安泰科技研发中心郭金花主 要 内 容扫描电镜（ SEM）n 扫描电镜的作用n 扫描电镜的工作原理n 扫描电镜的主要构造n 扫描电镜对样品的作用能谱仪（ EDS）n 能谱的 工作原理n 能谱 的结构n 能谱 的特点n JEOL-6380SEM和 EDAX EDS的主要功能n 样品的制备1 扫描电镜的作用：显微形貌分析：应用于材料、医药以及生物等领域。成分的常规微区分析：元素定性、半定量成分分析2 扫描电镜的工作原理电子源电磁透
2、镜聚焦扫 描电子信号探测信号屏幕显像阴极控制极阳极电子束聚光镜试样样品表面激发的电子信号特征 X射线二次电子、背散射电子和特征 X射线SEM: 二次电子背散射电子二次电子二次电子它是被入射电子轰击出来的样品核外电子它是被入射电子轰击出来的样品核外电子 .背散射电子背散射电子它是被固体样品中原子反射回来的一部分它是被固体样品中原子反射回来的一部分入射电子。入射电子。特征 X射线它是原子的内层电子受到激发之后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波辐射EDS: 特征 X射线背反射电子 ： 产生范围在 100nm-1m深度 能量较高，小于和等于入射电子能量 E0二次电子 ： 产生范
3、围在 5-50nm的区域 能量较低，约 50 eV特征 X射线 ： 在试样的 500nm-5 m深度能量随元素种类不同而不同原子序数产率3扫描电镜的主要构造扫描电镜由六个系统组成(1) 电子光学系统（镜筒）(2) 扫描系统 (3) 信号收集系统(4) 图像显示和记录系统(5) 真空系统 (6) 电源系统3收集 二次电子 时，为了提高收集有效立体角，常在收集器前端栅网上加上 +250V偏压，使离开样品的二次电子走弯曲轨道，到达收集器。这样就提高了收集效率。收集 背散射电子 时， 背散射电子仍沿出射直线方向运动，收集器只能收集直接沿直线到达栅网上的那些电子。信号收集4 扫描电镜对样品的作用加速电压、电子束与样品之间的关系
