1、原子力显微镜及其实验（ AFM）浙江大学 理学院 物理系陈老师 严老师 1 宇宙直径 nm 1.1 背景简介 从宏观尺度到纳米世界10 352 成人身高 10 25 亿 nm 3 头 发丝直径 70,000 nm 血红细胞直径 8,000 nm 可见光波长 380 780 nm 集成电路线宽 130 nm 氢原子直径 0.10 nm0.1 100 nm ?换算成纳米尺度 半导体集成芯片 线宽 已达到 极限！纳米技术4 18世纪， 第 1次产业革命（毫米技术） 20世纪， 第 2次产业革命（微米技术） 21世纪， 第 3次产业革命（纳米技术）蒸气机技术微电子技术纳 米 技 术纳米技术 下一次产业
2、革命浪潮5纳米物理学纳米技术纳米化学纳米材料学纳米生物学纳米电子学纳米量测学 纳米技术的分支学科6 扫描隧道显微镜Binnig & Rohrer，1982年， Scanning tunneling microscope， STM。1986年，诺贝尔物理学奖。 原子力显微镜及其广泛应用Binnig & Quate，1986年， Atomic force microscope, AFM。 (1986年，诺贝尔物理学奖 )1.2 扫描探针显微镜 纳米技术发展之基础 7 STM扫描获得的 Si（ 111） 原子图象 8 STM在 Cu表面上用 101个 Fe原子写出的 汉字 “原子 ” 。9STM 仅适用于导体半导体AFM广泛适用10
