1、-_材料射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例例：将剂量为 1107ions/cm2，能量为 45KeV的碳离子注入单晶硅中，然后在1100C退火 2h进行热处理。对单晶硅试样进行 XPS测试，试对其中的 C1s高分辨扫瞄谱进行解析，以确定各种可能存在的官能团。分析过程：1、在 Origin中处理数据图 1将实验数据用记事本打开，其中 C1s表示的是 C1s电子，299.4885 表示起始结合能，-0.2500 表示结合能递减步长，81 表示数据个数。从 15842开始表示是光电子强度。从 15842以下数据选中 Copy到 Excel软件 B列中，为光电子强度数据列。同时将 299.4885
2、Copy到 Excel软件 A列中，并按照步长及个数生成结合能数据，见图 2-_图 2将生成的数据导入 Origin软件中，见图 3。-_图 3此时以结合能作为横坐标，光电子强度作为纵坐标，绘出 C1s谱图，检查谱图是否有尖峰，如果有，那是脉冲，应把它们去掉，方法为点 Origin 软件中的 Data-Move Data Points，然后按键盘上的或箭头去除脉冲。本例中的实验数据没有脉冲，无需进行此项工作。将 column A和 B中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘，见图4。图 42、打开 XPS Peak，引入数据：点 Data-Import
3、 (ASCII)，引入所存数据，则出现相应的 XPS谱图，见图 5、图 6-_3、选择本底：点 Background，因软件问题， High BE 和 Low BE的位置最好不改，否则无法再回到 Origin，此时本底将连接这两点，Type 可据实际情况选择，一般选择 Shirley 类型，见图 7。-_图 74、加峰：点 Add peak，出现小框，在 Peak Type处选择 s、p、d、f 等峰类型（一般选 s），在 Position处选择希望的峰位，需固定时则点 fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。各项中的 constraints可用来固定此峰与另一峰的关系。点 D
4、elete peak可去掉此峰。然后再点 Add peak选第二个峰，如此重复。 在选择初始峰位时，如果有前人做过相似的实验，可以查到相应价键对应的峰位最好。但是如果这种实验方法比较新，前人没有做过相似的，就先用标准的峰位为初始值。最优化所有的峰位，然后看峰位位置的变化。本例中加了三个峰，C 元素注入单晶硅后可能形成 C-C、C-Si 和 C-H三个价键。根据这三个价键对应的结合能确定其初始峰位，然后添加。具体过程见图 8、9、10。-_图 8图 9-_图 105、拟合。选好所需拟合的峰个数及大致参数后，点 Optimise region进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可以
5、多次点 Optimise region。最终拟合结果见图 11。图 11-_6、参数查看。拟合完成后，分别点另一个窗口中的 Rigion Peaks下方的0、1、 2等可看每个峰的参数，此时 XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不 region满意，可改变这些峰的参数，然后再点 Optimise。7、点击 Save XPS存图，下回要打开时点 Open XPS就可以打开这副图继续进行处理。8、数据输出。点击 DataPrint with peak parameters，可打印带各峰参数的谱图，通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。点击 DataExport to clipbo
6、ard，则将图和数据都复制到了剪贴板上，打开文档（如 Word文档），点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。点击 DataExport （spectrum），则将拟合好的数据存盘，然后在Origin中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在 Origin中作出拟合后的图。XPS 能谱数据处理王 博 吕 晋 军 齐 尚 奎能谱数据转化成 ASC 码文件后可以用 EXCEL、ORIGIN 等软件进行处理。这篇文章的目的是向大家介绍用 ORIGIN 软件如何处理能谱数据，以及它的优势所在。下面将分三部分介绍如何用 ORIGIN 软件处理能谱数据：1、多元素谱图数据处理 2、剖面分析数据处理 3、复杂谱图的解叠一、多元素谱图的处理： 1、将 ASC 码文件用 NOTEPAD 打开： Y 轴数值X 轴起始点X 轴步长采集的数据点总数元素名称-_2、复制 Y 轴数值。打开 ORIGIN，将 Y 轴数据粘贴到 B（Y）：3、如图：点击工具栏 plot，选择 line-_4、出现下图：点击 B（Y） ，再点击Y，使 B（Y）成为 Y 轴数据。然后在“set X values”中输入起始值和步长。5、点击 OK，得到下图：
