1、设备配置及技术规格要求包 A: 场发射扫描电子显微镜 1 套1. 工作条件1.1 环境温度 2051.2 相对湿度 65%1.3 电源 220V(10%), 50Hz1.4 连续工作时间 连续操作2. 技术说明2.1 该仪器由真空系统、电子光学系统、二次电子探测器、背散射电子探头、能量过滤器(r-filter)、电子束减速装置(GB) 、X 射线能谱等、附件和零部件组成。2.2 技术参数*2.2.1 分辨率 1.0nm (at 15 kV)1.4 nm (at 1 kV)2.2.2 加速电压 ：0.1kv 30 kV SEM 模式：0.5kv 30kv GB 减速模式：0.1kv3.5kv*2
2、.2.3 电子束流 最小束流1pA ；最大束流1.7nA*2.2.4 放大倍数 x25 x1,000,000低放大模式：x25 x19,000普通放大模式：x100 x1,000,0002.3 电子光学系统 2.3.1 电子枪 场发射2.3.2 对中 自动*2.3.3 光栏孔径角最优控制镜 标配2.3.4 物镜 强励磁圆锥形物镜2.3.5 像散器 自动消像散记忆功能2.3.6 r-过滤器：标配（利用二次电子探头可以得到二次电子像和二次电子与背散射像的不同比例的混合像）2.3.7 电子束减速装置（GB）：标配（可以保证低电压下的 1.4nm 的分辨率）2.4 样品室和样品台2.4.1 样品台 全
3、对中样品台*2.4.2 类型 五轴（X ；Y ；R；T ；Z）马达驱动样品台*2.4.3 行程 X60mm; Y48mm; Z25mm2.4.4 倾斜 -57002.4.5 旋转 3600 连续2.4.6 样品更换 快速气锁更换样品2.4.7 真空系统2.4.7.1 自动真空抽气及诊断系统2.4.7.2 真空度：10 -7Pa (电子枪)；10 -4Pa (样品室)*2.4.7.3 真空泵：分子泵（磁悬浮型）296L/S；机械泵 130L/Min；离子泵3台2.4.7.4 保护：断电、漏电、真空保护2.4.7.5 带有冷阱减小样品污染*2.4.8 主动式减震系统标配2.5 探测器*2.5.1
4、二次电子探头：提供高位二次电子探头和低位二次电子探头（两个探测器）*2.5.2背散射电子探头：提供高灵敏半导体背散射电子探头2.6 X 射线能谱仪性能指标2.6.1 高效高分辨能谱仪探测器 (电制冷，即开即用)2.6.1.1 元素分析范围: Be-Am(95)2.6.1.2 探测器晶体面积: 30 平方毫米*2.6.1.3 分辨率: 优于 129 eV，MnKa 线,（2000cps 100000cps 分辨率保持不变） 。C 元素分辨率优于 55eV*2.6.1.4 晶体类型：第五代水滴形 SDD 晶体，低噪音嵌入式场效应管2.6.1.5 封闭式真空系统，无需借助 SEM 抽放真空。2.6.
5、1.6 开机时间：即开即用，开机 30 秒即可达到正常工作状态。*2.6.1.7 致冷方式：电致冷，无需液氮，无需离子泵，水冷，压缩机等附属致冷设备2.6.1.8 工作温度：零下 25-30 度。2.6.1.9 日常维护：完全免维护，无任何消耗品*2.6.2.0 最大输入计数:1,000,000cps，最大输出计数:400,000cps2.6.3 X射线分析系统 2.6.3.1 采用具有自动选择最佳时间常数的数模混合处理器2.6.3.1.1 独立的零峰设计，自动和手动的能谱校正，处理器硬件过滤“和”峰*2.6.3.1.2 数字电子束控制系统:可与任意型号的扫描电镜连接，保证图像质量与电镜图像一
6、致。2.6.4 能谱仪分析软件*1)方便快捷的 Windows XP 操作系统，中英文软件界面2)分析数据及参数采用项目文件统一管理；3)智能化的自动定性分析工具；自动谱峰鉴定；自动背底修正；4)定量分析系统，进行自动实时的背底扣除,重叠峰剥离和得到定量分析结果；5)加强的 Phi-Rho-Z 用于最新矩阵修正计算；6)可视化的谱峰拟合剥离，有效鉴别重叠峰；7)谱图和分析数据可一键转换为 Word 格式文档或 PDF 文档格式2.6.5 数字图象处理软件:1)分辨率不低于 40963072 的图像采集和显示，元素面分布分辨率不低于 4096*30722)自动调节对比度，亮度；3)图像数据库，并
7、可同时显示图像及其样品信息。*2.6.6 X射线面分布软件可采集任意数量幅的 X-射线元素面分布图；元素面分布分辨率不低于 4096*30722.6.7 附属设备1）主流计算机一台2）用户手册、相关图纸一套2.6.8 设备的验收及售后1）设备到货后，卖方应在接到买方电话邀请后一周内派专业技术人员到买方现场负责仪器的安装，调试。设备最终验收在买方现场进行。设备安装调试最终验收后，由卖方专业技术人员进行现场免费培训，并提供完整的中英文技术资料，包括操作使用说明手册、维护维修手册和电路图等。2）仪器在买方现场且通过最终验收合格后进入质保期。质保期一年。3) 如在使用过程中出现问题时，卖方在二十四小时
8、内进行回应，并在两个工作日内提出解决问题方案，如需现场解决，则在三个工作日内派出工程师到达现场。2.7 电镜图像处理系统2.7.1 图像处理软件 进行图像的处理、测量和编排实验报告2.7.2 图像显示 128010242.7.3 图像存储 25602048，5120x3840 2.8 电镜电脑系统2.8.1 操作系统 WindowsXP2.8.2 CPU PIV 2.8G2.8.3 内存 2G2.8.5 硬盘 120 G2.8.6 光盘存储器 40 倍速 CD-RW 光盘读写器*2.8.7 显示器 LCD19（液晶显示器）2.9 附件和零部件组成*2.9.1 进口离子溅射仪（喷金）溅射电流:
9、10,20,30,40 mA靶铂(Pt): 标配样品台尺寸直径: 64mm样品台位置: 30-40mm 可调真空室尺寸: 120mm（直径） 100mm（高） ，玻璃制真空监测显示器: 皮拉尼规(同时监控溅射电流)计时器: 数字式（1 至 300 秒）*2.9.2 自动喷镀仪（喷碳）碳棒支架：1 套碳棒： 5mm 直径样品台尺寸直径: 64mm样品台位置: 30-40mm 可调真空室尺寸: 120mm（直径） 100mm（高） ，玻璃制3. 需要的附件、备件、特殊工具和消耗品3.1 提供二年成套备品备件（包括闪烁体 2 个、光栏、密封圈及相关消耗品等）3.2 提供备用场发射电子枪两支（含扫描电
10、镜自身携带的电子枪一支，合计 2 支）4. 手册分别提供维护操作手册和维修电路图5. 技术服务5.1 要求供货厂家在中国至少设立两家以上的固定维修站，并配备专业维修工程师，能提供及时有效的售后服务。*5.2 安装、调试和培训在仪器到货前厂家派遣工程师携带专用设备对用户方安装室的地面振动和环境杂散磁场进行免费的检测。仪器到货后，厂家提供免费安装及在用户方的免费培训。6. 购置总量 壹 套7. 交货地点 郑州大学8. 交货期 合同生效后 6 个月内交货9. 场发射扫描电镜配置清单1 场发射扫描电镜 数量1-1 场发射扫描电镜基本单元 11-2 5 轴马达驱动 1A 型样品台 11-3 样品交换气锁
11、装置（予抽室） 11-4 计算机控制单元 11-5 19 英寸液晶显示器 11-6 潘宁规真空计 12 液氮冷阱 13 图像管理及测量软件 14 标准工具箱 15 循环冷却水箱 16 保险丝（使用 CCA-1111BU 循环冷却水机时电镜主机需要）27 自动稳压电源 18 不间断电源控制器 19 备品备件 110 自动离子溅射仪 11 自动喷碳仪 10. 场发射扫描电镜备品备件序号 名称 数量 序号 名称 数量1 机械泵油 1 14 硅真空脂 12 过滤塞 1 15 标准工具 13 橡胶管 2 16 保险丝 704 皮拉尼规 1 17 集成块 85 氧化铝(吸水剂) 1 18 碳导电胶带 66
12、 高压电缆插头 8 19 发射体 27 垫圈 4 20 光电断路器 38 加热器 2 21 旋转编码器 19 O 形密封圈 21 22 铝箔 210 物镜光阑 2 23 竹签 111 闪烁体头 2 24 手套 112 开关 5 25 真空脂 113 微动开关 411.功能要求：一、场发射扫描电镜：（1）分辨率分辨率指标如下：1.0nm (加速电压：15kV) ；1.4nm (加速电压：1kV)。 特别在低加速电压下能够观察样品表面超微信息，应对导电性差的样品和极表信息的观察。（2）放大倍数保证放大倍数最高达到 100 万倍。高放大倍数应能观察纳米级精细结构。（3）加速电压的范围保证在 100V 至 30KV 之间联系变化。（4）探测器提供三个探测器，其中两个二次电子探测器、一个背散射电子探测器。（5）真空系统配备维护涡轮分子泵和离子泵等。（6）样品室和样品台提供五轴马达驱动装置，样品行程尽可能大，样品台设计为全对中样品台；要求能够分析大尺寸样品。（7）电子光学系统*多种工作模式，实现高分辨、大束流、大工作距离及磁性样品观测；具备电子束减震装置。二、X 射线能谱仪（1）探测器 电制冷，即开即用型；晶体面积: 30 平方毫米；（2）分辨率
