ITO镀膜教材.doc

1、ITO 玻 璃 教 育 訓 練 教 材1第 一 章 簡 介第 二 章 玻 璃 玻 璃 簡 介 玻 璃 製 造 流 程 玻 璃 生 產 管 理第 三 章 切 割 及 裂 片 作 業 說 明 製 程 簡 介 治 具 規 格 說 明 製 程 操 作 說 明 及 製 程 條 件 設 定 機 台 故 障 排 除 停 電 處 理 程 序 品 質 自 主 檢 查 其 它 注 意 事 項第 四 章 磨 邊 及 倒 角 作 業 說 明 製 程 簡 介 治 具 規 格 說 明 製 程 條 件 機 台 操 作 及 故 障 排 除 品 質 自 主 檢 查 其 它 注 意 事 項第 五 章 清 洗 作 業 說 明 製

2、程 簡 介 洗 淨 配 藥 方 法 製 程 條 件 機 台 操 作 及 故 障 排 除 品 質 自 主 檢 查 其 它 意 事 項ITO 玻 璃 教 育 訓 練 教 材2第 六 章 拋 光 作 業 說 明2.1 拋 光 玻 璃 作 業 流 程 簡 介2.2 拋 光 原 理2.3 拋 光 玻 璃 之 規 格第 七 章 機 台 簡 介 與 製 程 條 件 設 定2.1 拋 光 機 台 簡 介2.2 製 程 條 件 設 說 明第 八 章 拋 光 五 大 控 制 因 素3.1 P.P 的 管 理3.2 Pad 的 管 理3.3 template 的 管 理3.4 研 磨 劑 的 管 理3.5 振 幅

3、的 管 理第 九 章 機 台 操 作 與 拋 光 作 業 注 意 事 項4.1 作 業 前 之 確 認 事 項4.2 機 台 操 作4.3 拋 光 作 業 注 意 事 項4.4 破 片 處 理 程 序第 十 章 研 磨 劑 測 量 及 Pad 修 正6.1 研 磨 劑 測 量6.2 Pad 的 修 正第 十 一 章 品 質 檢 驗 作 業 程 序 及 標 準5.1 抽 檢 作 業5.2 品 質 檢 驗 作 業ITO 玻 璃 教 育 訓 練 教 材3第 一 章 前 言1.1 LCD 簡 介 ： 液 晶 螢 幕 顯 示 器 (Liquid Crystal Display)。 ： 液 晶 ， 遇 電

4、 場 會 使 液 晶 分 子 從 平 躺 狀 態 旋 轉 成 站 立 情 況 ， 使 光 線 從 無 法 穿透 變 成 可 穿 透 ， 進 而 產 生 明 暗 對 比 的 情 形 。 依 其 扭 轉 的 程 度 可 分 為 ： (1) 型 (2) 型 (3) 型 ， 目前 公 司 主 要 生 產 的 為 型 及 型 。 以 圖 型 來 區 分 可 分 為 ： (1)七 段 式 （ 適 用 於 計 算 機 、 電 子 錶 等 ） (2)點矩 陣 式 （ 適 用 於 電 子 字 典 、 電 腦 等 ） 。 作 動 的 原 理 為 ： 組 合 兩 片 導 電 玻 璃 ， 之 間 灌 入 液 晶 ，

5、當 導 電 玻 璃 通電 時 ， 上 下 兩 片 圖 形 、 線 路 有 重 疊 部 分 就 會 產 生 電 場 ， 改 變 液 晶 分 子 方 向 ， 即 會顥 示 。 玻 璃 基 板 ：一 般 顯 示 器 是 使 用 鹼 石 灰 玻 璃 作 為 基 板 ， 即 俗 稱 的 鈉 玻 璃 。 此 平 板玻 璃 是 採 用 浮 法 方 法 製 成 ， 所 以 又 稱 浮 法 玻 璃 。 所 謂 的 浮 法 製 程 (Floating Process)就 是 熔 融 的 玻 璃 抽 出 後 先 經 過 錫 爐 ， 然 後 回 溫 至 室 溫 ， 此 種 方 式 產 出 的 玻 璃稱 之 為 浮 法

6、 玻 璃 。 玻 璃 基 板 的 一 些 特 性 ， 如 表 面 凹 凸 、 冷 熱 沖 擊 性 、 鈉 離 子 釋 出 量 等 特 性 ， 對 產 品 品 質 或 製 程 加 工 性 都 有 重 要 影 響 。EITO 玻 璃 教 育 訓 練 教 材4 玻 璃 基 板 規 格 ：1. 厚 度 ：一 般 為 1.1mm、 0.7mm、 0.55mm、 0.4mm 等 等 。2. 外 形 尺 寸 ：目 前 廠 內 比 較 常 生 產 之 尺 寸 為 300*350、 370*480。3. 表 面 的 傷 痕 、 氣 泡 及 雜 物 ：有 些 矩 陣 圖 形 ， 布 線 最 小 圖 形 為 5-1

7、0um， 因 此 在 璃 基 皮 上 的 缺 陷 也 應 小於 5um， 最 近 圖 形 越 來 越 細 ， 有 時 50um 以 下 的 傷 痕 和 雜 物 都 成 了 問 題 。4. 玻 璃 表 面 的 凹 凸 ：(A) 表 面 粗 糙 度 ：在 1-2um 的 範 圍 內 多 次 重 覆 出 的 凹 凸 ， 其 變 化 通 常 比 人 眼 的 分 辨 率 還 小 ，這 種 微 小 的 凹 凸 影 響 塗 覆 膜 的 特 性 、 液 晶 取 向 和 圖 形 邊 緣 的 平 整(B) 表 面 波 紋 ：是 週 期 在 1mm 以 上 的 表 面 凹 凸 ， 通 常 有 5-20mm 的 週

8、期 ， 這 有 可 能成 為 不 均 勻 顯 示 的 背 景 。(C) 翹 曲 ：通 常 是 在 基 板 內 出 現 1-2 次 的 凹 凸 ， 翹 曲 過 大 的 表 面 波 紋 在 顥 示 製 造過 程 中 的 約 是 ， 在 操 作 機 台 上 真 空 吸 附 基 板 時 不 得 產 生 模 糊 現 象 ；在 有 矩 陣 型 時 ， 在 實 施 微 細 圖 形 的 光 刻 工 程 中 不 得 產 生 漏 氣 現 象 ；不 得 出 現 干 涉 條 紋 背 景 等 不 均 勻 顯 示 對 於 上 述 各 項 ， 各 種 液 晶 顯 示 器 所對 應 容 估 計 值 如 下 表 ：有 源 矩

9、陣 TN STN表 面 粗 糙 度 Ra 100150 200-300 200-300平 整 度 0.2um/20mm 0.05um/20mm波 紋 型 0.5um 0.3um 0.05um翹 曲 度 100um 500um 500umITO 玻 璃 教 育 訓 練 教 材5第 二 章 玻 璃 玻 璃 簡 介 是 Indium Tin Oxide 三 個 字 的 縮 寫 ， 中 文 為 氧 化 銦 錫 ； 玻 璃 是在 清 潔 的 絕 緣 素 玻 璃 表 面 上 ， 以 真 空 鍍 膜 的 方 法 依 序 鍍 上 層 (二 氧 化 矽 )及 層 (氧 化 銦 錫 )； 膜 乃 作 為 阻 擋

10、層 ， 因 玻 璃 基 板 中 的 鹼 性 成 分 會 微 量釋 出 ， 並 滲 入 液 晶 中 ， 進 而 造 成 液 晶 電 阻 率 不 降 ， 另 鈉 離 子 會 導 電 造 成 字 肥 現 象 ， 或使 密 封 膠 黏 力 下 降 等 ， 故 須 先 鍍 上 一 層 做 為 阻 隔 。 薄 膜 的 特 性 是在 可 見 光 區 具 有 高 度 的 穿 透 性 與 極 佳 的 導 電 性 ， 非 常 商 合 作 為 顯 示 器 的 透 明 導電 極 。 玻 璃 結 構 如 下 圖 所 示 ： 膜 的 特 性 ：1. 在 常 溫 下 具 有 良 好 的 導 性 。2. 禁 帶 較 寬 ，

11、主 要 吸 收 在 紫 外 光 區 ， 因 而 對 可 見 光 有 良 好 的 透 過 率 。3. 膜 耐 鹼 不 耐 酸 ， 用 鹽 酸 和 硝 酸 的 混 合 液 極 易 蝕 刻 。4. 導 電 膜 愈 厚 ， 則 面 阻 抗 值 愈 低 ； 穿 透 率 郤 會 因 膜 厚 不 同 而 有 極 小 值 和極 大 值 ， 膜 厚 約 在 1370 處 會 出 現 穿 透 率 的 極 大 值 。 膜在顏色上的區分：無色：無色：淡黃色：紫色素玻璃ITO 膜 : 2x10-5mmSiO2 膜: 2.5x10 -5mmITO 玻 璃 教 育 訓 練 教 材6玻璃的應用： 導 電 玻 璃 的 應 用

12、範 圍 很 廣 泛 ， 雖 然 在 製 作 方 法 上 有 所 差 異 ， 但 都 是 作 為 顯示 器 的 透 明 電 極 用 ， 而 顯 示 器 應 用 於 下 游 產 業 更 是 不 勝 枚 舉 ， 以 表 說 明 其 應 用 範圍 ：產 品 面 阻 值 產 品 類 別 應 用 範 圍30040 sq.多 用 於 型 ， 尤 其是 字 型 符 號 和 小 型 點 陣 電 子 手 錶 、 鬧 鐘 掌 上 型 計 算 機 家 用 電 器 上 的 顥 示 器 儀 表 顯 示 電 子 帳 簿 攜 帶 型 遊 戲 機 太 陽 能 電 池4015 sq.多 用 於 型 ， 可製 作 小 型 或 大

13、型 點 陣 膝 上 型 電 腦 攝 影 機 小 型 液 晶 彩 色 電 視 機 筆 記 型 電 腦10 以 下 sq.多 用 於 大 面 積 型 ， 以 及 其 它 平 面 顯 示器 膝 上 型 電 腦 筆 記 型 電 腦 液 晶 彩 色 電 視 導 航 顯 示ITO 玻 璃 教 育 訓 練 教 材7 玻璃製造流程： 流 程 流 程 將 大 片 玻 璃 切 割 成 300X350mm尺 寸 將 切 割 完 之 玻 璃 倒 角 ， 並 清 除 所產 生 之 微 粒 產 品 之 玻 璃 表 面 須 經 過 研磨 處 理 以 高 精 密 洗 淨 法 完 全 洗 淨 玻 璃 於 真 空 系 統 內 ，

14、 依 序 鍍 上 SiO2與 ITO 膜 檢 查 並 記 錄 產 品 之 穿 透 率 及 阻 抗特 性 檢 驗 合 格 之 產 品 以 包 裝 機 包 裝大 片 玻 璃 切割 、 裂 片磨 邊 、 倒 角研 磨 拋 光玻 璃 清 洗包 裝品 檢SiO2 及 ITO鍍 膜ITO 玻 璃 教 育 訓 練 教 材8第 三 章 切 割 及 裂 片 作 業 說 明 製 程 簡 介開 箱 ： 利 用 拔 釘 器 及 氣 動 工 將 木 箱 、 釘 子 及 螺 絲 鬆 開素 玻 璃 ： 拿 取 素 玻 璃 置 於 切 割 平 台切 割 ： 利 用 鎢 鋼 刀 輪 將 由 國 外 買 入 之 浮 法 玻 璃

15、用 切 割 機 切 割 成 所 需 之 尺 寸 ， 如 購入 之 素 玻 璃 尺 寸 為 1225*1075， 將 它 切 割 成 12 片 350*300 尺 寸 之 玻 璃 供磨 邊 加 工 。裂 片 ： 依 據 鎢 鋼 刀 輪 在 玻 璃 做 表 面 X 及 Y 軸 上 之 切 割 刀 痕 ， 以 人 工 方 式 施 以 一橫 向 力 量 使 玻 璃 順 著 切 割 刀 痕 分 離 。針 式 輸 送 帶 ： 將 裂 片 完 成 之 玻 璃 放 置 於 針 式 輸 送 帶 ， 準 備 進 行 磨 邊 、 倒 角 作 業 。 玻 璃 規 格 說 明目 前 公 司 生 產 之 玻 璃 可 依

16、下 列 方 式 分 類 ：依 產 品 類 別 ：1. 2. 依 玻 璃 尺 寸 可 分 為 ：1. 2. 3. 依 玻 璃 厚 度 可 分 為 ：1. 2. 3. 4. 素 玻 璃 因 供 應 廠 商 不 同 可 分 割 的 數 量 亦 不 相 同 ， 有 4 切 、 6 切 、 9 切 及 12切 等 區 分 ， 其 外 箱 皆 標 示 厚 度 、 尺 寸 及 開 箱 方 向 ， 玻 璃 由 倉 庫 調 撥 進 來 時 ， 須 依 規 格 、尺 寸 確 實 清 點 。開 箱 素玻璃 切 割 裂 片 磨 邊針式輸送帶ITO 玻 璃 教 育 訓 練 教 材9 製 程 條 件 設 定 、 作 業

17、程 序 說 明 切 割 機 各 部 位 說 明 ：操 作 盤 ：電 控 箱 ：計數器X-Y 運動 手-自動玻璃尺寸設定X刀座上升刀座下降刀輪使用鈕鼓風原 點 燈急 停速 度 控 制X-Y 軸 手 動 進 退電源ON電源 OFFTIMER急停ITO 玻 璃 教 育 訓 練 教 材10 切 割 機 參 數 設 定 ：1. 空 氣 壓 力 總 表 ： kgf cm2 。2. 刀 頭 分 壓 表 ： kgf cm2 。3. 切 割 速 度 ： 。 切 割 前 檢 查 步 驟 ：1. 打 開 總 電 源 之 漏 電 斷 器 。2. 開 啟 電 控 箱 電 源 ON。3. 切 換 至 手 動 模 式 。4

18、. 檢 查 X、 Y 軸 是 否 位 於 機 械 原 點 。5. 檢 查 各 空 氣 壓 力 表 。6. 按 下 切 割 台 輸 送 運 轉 、 刷 毛 運 轉 和 割 台 運 轉 ， 使 平 台 清 潔 並 確 認 運 轉 是 否 順暢 。7. 設 定 玻 璃 尺 寸 。8. 下 刀 號 數 選 擇 。9. 調 整 刀 座 之 切 割 尺 寸 。 (參 考 切 割 尺 寸 設 定 步 驟 )10. 調 整 刀 輪 高 度 。 (參 考 刀 輪 更 換 、 調 整 作 業 說 明 )11. 刀 輪 高 度 調 好 後 ， 按 刀 上 上 降 鈕 ， 使 刀 頭 全 部 上 升 。 操 作 說

19、明 ：1. 電 控 箱 電 源 ON。2. 切 換 至 手 動 模 式 。3. 手 動 狀 態 下 做 原 點 復 歸 。4. 確 認 原 點 軸 、 軸 、 X/Y 連 動 燈 亮 。5. 切 換 至 自 動 模 式 。6. 切 割 計 數 器 歸 。7. 起 動 切 割 台 、 裂 片 台 之 鼓 風 機 。8. 踏 下 切 割 鼓 風 機 踏 板 ， 使 桌 面 浮 起 。9. 將 刀 頭 切 至 使 用 位 置 。10. 將 大 玻 璃 放 置 於 切 割 台 上 緊 靠 藍 色 PIN 點 ， 位 置 確 認 後 踩 下 鼓 風 機 踏 板 使玻 璃 吸 附 。11. 刀 頭 確 認 後 ， 踩 下 切 割 踏 板 即 可 自 動 切 割 。12. 切 割 完 成 後 踩 下 裂 片 台 側 之 傳 送 踏 板 ， 即 可 將 玻 璃 傳 送 至 裂 片 台 。13. 裂 片 。14. 將 裂 片 完 成 之 玻 璃 放 至 針 式 傳 送 機 上 。15. 重 覆 上 述 步 驟 進 行 生 產 。16. 關 機 時 將 電 控 箱 之 電 源 Off。