1、编号：FM-67-005 版次:1.0XX 公司安全关键作业及对应作业文件一览序号部门场所 关键作业 对应主要危害因素 参考措施 文件名 文件编号 负责部门1. 外延区 未按规定配备灭火器 按规定定点配置与管理灭火器 消防安全管理制度 安全主任2. 外延区 电线短路 及时更换老化破损电线穿墙、接缝处使用套管 电气管理制度、 动力部3. 外延区 外延岗位 石英件破损 定期更换石英件使用前检查 外延车间安全操作要求 WI-91-007 外延工艺4. 外延区 外延岗位 有毒特气的泄漏 安装特气检测仪设置抽风指示标识 外延设备安全配置与要求 WI-91-007 外延工艺5. 外延区 外延岗位 冷却水接
2、头未接好或阀门未开引起炉子超温 定期检查接头、阀门安装冷却水报警装置 外延设备安全配置与要求 外延工艺6. 外延区 外延岗位 密封圈损坏 定期更换密封圈；安装负压检测开关 外延设备安全配置与要求 外延工艺7. 外延区 外延岗位 镀金板烧熔溅到钟罩 定期检查及时更换有黑点的镀金板 外延安全生产操作规程 外延工艺8. 外延区 外延岗位 氢气大量泄露装氢气报警装置设立浓度超标排风连动使用防爆电器使用非铁器工具外延设备安全配置与要求外延安全生产操作规程 外延工艺9. 外延区 配液及外延清洗 酸液溅出 配备防酸手套、眼镜规范操作 外延车间安全操作要求 WI-91-007 外延工艺10. 仓库。 危化品储
3、存风扇通风口没有遮蔽罩或遮蔽罩孔太大包装物或容器被老鼠咬破溶液逸出按规格装好遮蔽罩 仓库安全管理制度 WI-91-004 管理部11. 仓库。 危化品储存 危化品禁忌物同库存放 按危化品配伍表执行 仓库安全管理制度 WI-91-004 管理部12. 仓库 特气储存 特殊气候雨水进入特气库与遇水反应的化学品接触 关门窗遇特殊气候调整危化品位置 仓库安全管理制度 WI-91-004 管理部13. 仓库 化学试剂:运送 危化品禁忌物混合运输 运输装车时按危化品配伍表执行 仓库安全管理制度 WI-91-004 管理部编号：FM-67-005 版次:1.0序号部门场所 关键作业 对应主要危害因素 参考措
4、施 文件名 文件编号 负责部门14. 仓库 特种气体储存 阀门或密封圈损坏泄露A. 强制通风B. 定期检查阀门有无泄漏.C. 不允许使用铁制工具；D. 气瓶带防护帽仓库安全管理制度 WI-91-004 管理部15. 仓库 特种气体储存 阀门未带防护帽 A、气瓶带防护帽 仓库安全管理制度 WI-91-004 管理部16. 仓库 特种气体储存 气瓶承压不够 A.定期检定钢瓶；B 入库时检查钢瓶的有效期限。 仓库安全管理制度 WI-91-004 管理部17. 仓库 特种气体储存 库内气温高引起过压 定期检查库内温度；采取降温措施。 仓库安全管理制度 WI-91-004 管理部18. 仓库 特种气体:
5、到货卸车 跌落或不规范卸车 按规定卸车,使用搬运工具19. 仓库 特种气体:空瓶储存 空瓶气压低于标称值 空瓶回收,拧紧阀门,盖好防护帽；空瓶标称压力大于 0.05Mpa。 仓库安全管理制度 WI-91-004 管理部20. 送料 特种气体:运送 钢瓶运送时坠落 专用搬运工具、限制、捆扎、固定 危化品运送安全管理规定 管理部21. 送料 特种气体:运送 钢瓶运送时无保护套 带保护套（目前没有）固定运输 危化品运送安全管理规定 管理部22. 送料 特种气体:运送 遇水反应的特气雨天运送时沾水 避免雨天运送若雨天运送时用防护罩密封防水处理 危化品运送安全管理规定 管理部23. 设备部 机械维修 试
6、机时触电 在插座前安装一个漏电保护器 设备维修安全管理规定 设备部24. 设备部 手电钻、冲击钻 无漏电保护器设置额定漏电动作电流不大于毫安、动作时间不大于.秒的漏电保护器移动式手动电动工具安全管理规定 设备部25. 设备部 手电钻、冲击钻 手电钻/冲击钻漏电 定期测绝缘电阻：大于 1 兆欧 移动式手动电动工具安全管理规定 设备部26. 设备部 手电钻、冲击钻 电线破损 更换破损接线 移动式手动电动工具安全管理规定 设备部27. 设备部 设备开关更换 更换时未断电 操作前进线电源处用电笔测试做好防护措施或使用绝缘垫 设备维修安全管理规定 设备部编号：FM-67-005 版次:1.0序号部门场所
7、 关键作业 对应主要危害因素 参考措施 文件名 文件编号 负责部门28. 设备部 设备开关更换 在前级电源开关处未挂标志牌 按规定悬挂表识牌 设备维修安全管理规定 设备部29. 设备部 真空设备高压维修 断电维修时未对高压设备放电 设置警示标志高压部位悬挂放电棒 高压设备维修安全管理规定 设备部30. 设备部 真空设备高压维修 维修时未断电，进入高压区 做好防护措施或使用绝缘垫 高压设备维修安全管理规定 设备部31. 设备部 真空设备高压维修 试机或恢复时门未关试机或恢复时人在门外按规定设定监护人在明显位置设置警示标志高压设备维修安全管理规定 设备部32. 设备部 真空设备高压维修 试机或恢复
8、时无监护人 按规定设定监护人 高压设备维修安全管理规定 设备部33. 设备部 真空设备高压维修 未查明高压状态进入维修 操作人查明高压状态，监护人确认后方可进入维修 高压设备维修安全管理规定 设备部34. 设备部 维修溅射台 未关闭射频电源 高压设备维修安全管理规定 设备部35. 设备部 干刻设备高压测试 高压测试时人太靠近测试点测试时人必须在门外；测试仪器接线时确认高压已断电和已放电高压设备维修安全管理规定 设备部36. 设备部 干刻设备高压维修 维修时未对高压设备放电 设置警示标志高压部位悬挂放电棒 高压设备维修安全管理规定 设备部37. 设备部 干刻设备高压维修 维修时未断电 做好防护措
9、施或使用绝缘垫 高压设备维修安全管理规定 设备部38. 设备部 干刻设备高压维修 试机或恢复时门未关试机或恢复人在门外按规定设定监护人在明显位置设置警示标志高压设备维修安全管理规定 设备部39. 设备部 干刻设备高压维修 试机或恢复时无监护人 按规定设定监护人 高压设备维修安全管理规定 设备部40. 设备部 干刻设备高压维修 未查明高压状态进入维修 操作人查明高压状态，监护人确认后方可进入维修 高压设备维修安全管理规定 设备部41. 设备部 干刻电磁阀维修 拆卸前未断电 测试时人必须在门外；测试仪器接线时确认高压已断电和已放电 特殊设备装置检修规定 设备部编号：FM-67-005 版次:1.0
10、序号部门场所 关键作业 对应主要危害因素 参考措施 文件名 文件编号 负责部门42. 设备部 干刻 RF 电源维修 拆卸时未断电 在电源开关处挂牌、操作前先关空开，拔下插头、监护人再确认 特殊设备装置检修规定 设备部43. 设备部 干刻 RF 电源维修 试机或恢复时，外壳未装人员触电 先装好外壳再开机监护人再确认 特殊设备装置检修规定 设备部44. 设备部 光刻维修 拆激光发生器时未关机 规范操作关电源后开机盖监护人再确认 特殊设备装置检修规定 设备部45. 腐蚀清洗间 腐蚀清洗岗位 配液时酸液溅出 操作时沿槽壁缓慢倒入；佩戴耐酸手套，围裙，防护眼镜，袖套 湿法工艺化学试剂规格及使用管理规定
11、WI-75-709 湿法工艺46. 腐蚀清洗间 腐蚀清洗岗位 放片时酸液溅起 佩戴围裙，防护眼镜，袖套 湿法工艺化学试剂规格及使用管理规定 WI-75-709 湿法工艺47. 腐蚀清洗间 腐蚀清洗岗位 有机物与无机物，酸与碱、氧化剂混放 分类别隔离存放 湿法工艺化学试剂规格及使用管理规定 WI-75-709 湿法工艺48. 扩散区 换源 大量 BBr3 接触水保持换源柜清洁干燥；缓缓倾倒、源溅出时，将源转移到干燥的强抽风处，人员撤离换源作业指导书 WI-75-108 扩散工艺49. 扩散区 换源 抽风停止源气挥发戴自给式防护面罩、关紧操作窗口，停止作业、通知空调班恢复抽风、紧急疏散人员换源作业
12、指导书 WI-75-108 扩散工艺50. 扩散区 换源 换源未戴防护用具 配自给式防护面罩按规定换源时须两人在场； 换源作业指导书 WI-75-108 扩散工艺51. 扩散区 换源 开关阀门失误特气误排 一人操作一人确认、气柜设置管路图设置阀门开关标识 换源作业指导书 WI-75-108 扩散工艺52. 扩散区 扩散炉 氢气泄漏 H/O 比例保护、点火温度保护、通氮气保护、炉口强制排风 扩散设备异常处置预案 扩散工艺53. 扩散区 扩散炉 扩散炉超温 设置温度报警、设置超温报警并有连锁装置、定期守炉巡视 扩散设备异常处置预案 扩散工艺54. 干刻区 换源 更换过程误操作导致源气泄漏 制定操作
13、规范，对操作培训做到熟练上岗 待定 干刻工艺编号：FM-67-005 版次:1.0序号部门场所 关键作业 对应主要危害因素 参考措施 文件名 文件编号 负责部门55. 真空区 换源 阀门误操作源气大量泄漏1、 对阀门进行标识和编号2、 阀门开启方向和限位标识3、 一人操作一人监护4、 设置排风装置NV3204 注入设备维护规范NV1080 注入设备维护规范NV3206 注入工艺操作与设备维护规范WI-75-302WI-75-304WI-75-306真空工艺56. 真空区 注入过程开设备门 开启设备门，人进设备区1、 规范操作2、 设置高压连锁装置3、 设置警示标志NV3204 注入设备维护规范
14、NV1080 注入设备维护规范NV3206 注入工艺操作与设备维护规范WI-75-302WI-75-304WI-75-306真空工艺57. 真空区 注入后开设备门 未对高压部位放电 设置高压放电棒；设置放电警示标志NV3204 注入设备维护规范NV1080 注入设备维护规范NV3206 注入工艺操作与设备维护规范WI-75-302WI-75-304WI-75-306真空工艺58. 真空区 配酸、碱溶液操作 配置酸液时酸液溅出 佩戴耐酸手套，围裙，防护眼镜，袖套 背洗工艺作业规范 WI-75-313 真空工艺59. 动力机房 空压设备 储气罐腐蚀变薄 每 5 年探伤检测每年除锈涂防锈漆 压力设备
15、与压力容器管理制度、 动力部60. 动力机房 储气罐超压运行 安装安全阀并定期放气检查；压力表定期检查 压力设备与压力容器管理制度、 动力部61. 动力机房 安全阀锈蚀或损坏 定期送检或更换 压力设备与压力容器管理制度、 动力部62. 动力机房 电机漏电机壳带电 做好双接地；定期检查电机绝缘 电气管理制度、 动力部63. 运行时的噪声 A、减少现场停留时间；B、戴耳塞。64. 动力机房 真空泵 电机漏电机壳带电 做好双接地；定期检查电机绝缘 电气管理制度、 动力部65. 动力机房 空调柜 电机漏电机壳带电 做好双接地；定期检查电机绝缘 电气管理制度、 动力部编号：FM-67-005 版次:1.
16、0序号部门场所 关键作业 对应主要危害因素 参考措施 文件名 文件编号 负责部门66. 动力机房 电加热系统超温 安装超温报警传感器并连锁加热装置；定期检查超温报警传感器 待定 动力部67. 动力机房 水泵及其系统 电机漏电机壳带电 做好双接地；定期检查电机绝缘 电气管理制度、 动力部68. 动力机房 安全阀门损坏 定期送检69. 动力机房 电机漏电机壳带电 做好双接地；定期检查电机绝缘 电气管理制度、 动力部70. 制水车间 制水设备 氢氧化钠、酸溶液倾倒时的飞溅 佩戴护目镜和防酸手套；规范操作 超纯水制备反掺透系统作业指导书 WI-63-101 动力部71. 制水车间 设备控制柜 触电/起
17、火 关好配电箱门；定期检查配电箱 电气管理制度、 动力部72. 制水车间 电机 电机漏电 接地保护 电气管理制度、 动力部73. 污水站 电机 电机漏电 接地保护 电气管理制度、 动力部74. 污水站 设备控制柜 触电/起火 关好配电箱门；定期检查配电箱 电气管理制度、 动力部75. 污水站 池边无防护栏 设置护栏 电气管理制度、 动力部76. 配电房 未配戴安全帽作业 配戴安全帽；作业时相互检查 电气管理制度、 动力部77. 配电房 操作时未使用绝缘用具及用品 配戴绝缘用具及用品作业时相互检查 电气管理制度、 动力部78. 配电房 绝缘用具及用品没有定检 按计划送检 电气管理制度、 动力部7
18、9. 配电房 配电房未设置警示标识 设置警示标识 电气管理制度、 动力部编号：FM-67-005 版次:1.0序号部门场所 关键作业 对应主要危害因素 参考措施 文件名 文件编号 负责部门80. 配电房 电工操作 带电作业时无措施 制定带电作业规范按规定设定监护人 电气管理制度、 动力部81. 全厂 汽车 汽车带故障运行 出车前例行检查、定期维护保养 交通安全管理规定 管理部82. 全厂 汽车 司机违章驾驶 定期交规学习、进行事故案例教育 交通安全管理规定 管理部83. 全厂 汽车 在危险路段行驶 车辆减速、谨慎驾驶 交通安全管理规定 管理部84. 全厂 汽车 在恶劣气候条件下驾驶 尽量减少出
19、车、减速谨慎驾驶 交通安全管理规定 管理部85. 全厂 上班途中 穿越道路 定期交规学习 交通安全管理规定 管理部86. 办公大楼 电梯 货梯人货混装 张贴警示标识 电梯安全管理规定 管理部87. 办公大楼 电梯 维修时门口没有围栏，人员误入坠落 设置围栏或张贴警示标识 电梯安全管理规定 管理部88. 福日股份 制氢 氢气爆炸 定期提醒安全检查 消防应急预案 管理部89. 全厂 保洁员 擦窗户高空坠落 使用擦窗器、身体不得伸出窗外 保洁员管理规定 管理部90. 全厂 办公室 电源插座损坏漏电 定期检查电源插座，更换损坏的插座，尽量少用移动性的电源插座 电气管理制度 动力部91. 全厂 雷击 设置避雷针（强电） 、设置隔离装置（弱电） 异常天气生产应急预案异常天气动力应急预案 生产部动力部92. 全厂 暴雨 关窗、停止户外作业、检查排水系统 异常天气生产应急预案异常天气动力应急预案 生产部动力部93. 全厂 台风 关窗、转移物资、加固危险设施、停止户外作业 异常天气生产应急预案异常天气动力应急预案 生产部动力部94. 数据中心 办公室 网络布线高空坠落 A、登高作业前对设施检查B、按规范作业 电气管理制度 动力部
