1、LED 的封装使用环氧树脂。半导体封装业占据了国内集成电路产业的主体地位，如何选择电子封装材料的问题显得更加重要。根据资料显示，90以上的晶体管及 7080的集成电路已使用塑料封装材料，而环氧树脂封装塑粉是最常见的塑料封装材料。本文将对环氧树脂封装塑粉的成分、特性、使用材料加以介绍，希望对 IC 封装工程师们在选择材料、分析封装机理方面有所帮助1 封装的目的 半导体封装使诸如二极管、晶体管、IC 等为了维护本身的气密性，并保护不受周围环境中湿度与温度的影响，以及防止电子组件受到机械振动、冲击产生破损而造成组件特性的变化。因此，封装的目的有下列几点：(1)防止湿气等由外部侵入；(2)以机械方式支
2、持导线；(3)有效地将内部产生的热排出；(4)提供能够手持的形体。 以陶瓷、金属材料封装的半导体组件的气密性较佳，成本较高，适用于可靠性要求较高的使用场合。以塑料封装的半导体组件的气密性较差，但是成本低，因此成为电视机、电话机、计算机、收音机等民用品的主流。 2 封装所使用的塑料材料 半导体产品的封装大部分都采用环氧树脂。它具有的一般特性包括：成形性、耐热性、良好的机械强度及电器绝缘性。同时为防止对封装产品的特性劣化，树脂的热膨胀系数要小，水蒸气的透过性要小，不含对元件有影响的不纯物，引线脚(LEAD)的接着性要良好。单纯的一种树脂要能完全满足上述特性是很困难的，因此大多数树脂中均加入填充剂、
3、偶合剂、硬化剂等而成为复合材料来使用。一般说来环氧树脂比其它树脂更具有优越的电气性、接着性及良好的低压成形流动性，并且价格便宜，因此成为最常用的半导体塑封材料。 3 环氧树脂胶粉的组成 一般使用的封装胶粉中除了环氧树脂之外，还含有硬化剂、促进剂、抗燃剂、偶合剂、脱模剂、填充料、颜料、润滑剂等成分，现分别介绍如下： 31 环氧树脂(EPOXY RESIN) 使用在封装塑粉中的环氧树脂种类有双酚 A 系(BISPHENOL-A)、NOVOLAC EPOXY、环状脂肪族环氧树脂(CYCLICALIPHATIC EPOXY)、环氧化的丁二烯等。封装塑粉所选用的环氧树脂必须含有较低的离子含量，以降低对半
4、导体芯片表面铝条的腐蚀，同时要具有高的热变形温度，良好的耐热及耐化学性，以及对硬化剂具有良好的反应性。可选用单一树脂，也可以二种以上的树脂混合使用。 32 硬化剂(HARDENER) 在封装塑粉中用来与环氧树脂起交联(CROSSLINKING)作用的硬化剂可大致分成两类:(1)酸酐类(ANHYDRIDES);(2)酚树脂(PHENOLICNOVOLAC)。以酚树脂硬化和酸酐硬化的环氧树脂系统有如下的特性比较： 弗以酚树脂硬化的系统的溢胶量少，脱模较易，抗湿性及稳定性均较酸酐硬化者为佳； 以酸酐硬化者需要较长的硬化时间及较高温度的后硬化(POSTCURE)； 弗以酸酐硬化者对表面漏电流敏感的元件
5、具有较佳的相容性； 费以酚树脂硬化者在 150-175C 之间有较佳的热稳定性，但温度高于 175(2 则以酸酐硬化者为佳。 硬化剂的选择除了电气性质之外，尚要考虑作业性、耐湿性、保存性、价格、对人体安全性等因素。 33 促进剂(ACCELERATO OR CATALYST) 环氧树脂封装塑粉的硬化周期(CURING CYCLE)约在 90-180 秒之间，必须能够在短时间内硬化，因此在塑粉中添加促进剂以缩短硬化时间是必要的。 现在大量使用的环氧树脂塑粉，由于内含硬化剂、促进剂，在混合加工(COMPOUNDING)后已成为部分交联的 B-STAGE 树脂。在封装使用完毕之前塑粉本身会不断的进行
6、交联硬化反应，因此必须将塑粉贮存于5以下的冰柜中，以抑制塑粉的硬化速率，并且塑粉也有保存的期限。如果想制得不用低温保存，且具有长的保存期限(LNOG SHELFLIFE)的塑粉，则一定要选用潜在性促进剂(LATENT CATALYST)，这种促进剂在室温中不会加速硬化反应，只有在高温时才会产牛促进硬化反应的效果。目前日本已有生产不必低温贮存的环氧树脂胶粉，其关键乃在潜在性促进剂的选用。 34 抗燃剂(FLAME RETARDANT) 环氧树脂胶粉中的抗燃剂可分成有机与无机两种。有机系为溴化的环氧树脂或四溴化双酚A(TETRABROMOBISPHENOL A)。无机系则为三氧化二锑(Sb203)
7、的粉末。二者可分开单独使用，也可合并使用，而以合并使用的抗燃剂效果为佳。 35 填充料(LILLER) 在封装塑粉中，填充料所占的比例最多，约在 70左右，因此填充料在封装朔粉中扮演着十分重要的角色。 351 在塑粉中加入适量适质的填充料，具有下列几个目的： 1)减少塑粉硬化后的收缩；2)降低环氧树脂的热膨胀系数；3)改善热传导；4)吸收反应热；5)改善硬化树脂的机械性质与电学性质；6)降低塑粉成本。 352 填充料的种类 使用于环氧树脂塑粉中的填充料，除了要能改善电绝缘性、电介质特性之外，尚须具有化学安定性及低吸湿性。一般常用的填充料有以下几种： (1)石英；(2)高纯度二氧化硅(使用最为广
8、泛)；(3)氢氧化铝4)氧化铝；(5)云母粉末；(6)碳化硅。 353 二氧化硅(SiO2,Silica) 环氧树脂的热膨胀系数平均约为 6510-6mcm；，比对封装树脂中的金属埋人件的热膨胀系数大很多。半导体所用的框架(LEAD FRAME)与环氧树脂相差甚远。若以纯树脂来封装半导体元件，由于彼此间热膨胀系数的差异及元件工作时所产生的热，将会产生内应力及热应力而造成封装材料的龟裂。因此加入塑粉中的填充料，除了要能减少树脂与金属埋入件间的热膨胀系数外，也要具有良好的导热功能。 二氧化硅粉末可分成结晶性二氧化硅及熔融二氧化硅。结晶性二氧化砖具有较佳的导热性但热膨胀系数较大，对热冲击的抵抗性差。
9、熔融二氧化硅的导热性质较差，但却拥有较小的热膨胀系数，对热冲击的抵抗性较佳。表 2 是熔融性与结晶性二氧化硅充填的环氧树脂胶粉的性质比较，可看出熔融性二氧化硅除了导热性质较差外，挠曲强度及耐湿性均低于结晶性二氧化硅。 此外，填充料用量的多少以及粒子的大小、形状、粒度分布等对于塑粉在移送成形(Transfermolding)时的流动性，以及封装后成品的电气性质均会造成影响，这些因素在选用填充料时均要加以考虑。 36 偶合剂(COUPLIUNG AGENT) 在环氧树脂中添加少量的偶合剂，能产生下列作用： 增加填充料与树脂之间的相容性与亲和力;增加胶粉与埋人元件间的接着力;减少吸水性;提高挠曲强度
10、；降低成形中塑粉的粘度，改善流动性;改善胶粉的热消散因子(THERMALDUSSIPATION FACTOR)、损失因子(LOSS FAC-TOR)及漏电流(LEAKAGE CURRENT)。 37 脱模剂(日 ELEASE AGENT) 环氧树脂的粘着性良好，对模具也会产生接着力，而影响加工封装完毕后的脱模，因此加入脱模剂来改善胶粉与模具之间的脱模能力。一般常用的脱模剂有：腊、硬脂酸、硬脂酸锌、硬脂酸钙等。脱模剂的种类与用量要视塑粉配方(树脂、硬化剂、填充料)而定。脱模剂的用量要适当，如果用量太少会使脱模不易；相反，如果用量过多，不但容易污染模具，更会降低胶粉与埋入框架、引线间的粘着力，直接
11、影响到元件的耐湿性及可靠性。下图为脱模剂添加量与接着力的关系，脱模剂添加愈多，胶粉与埋人件间的接着力下降也愈多。 38 颜料(PIGMENT) 通常视成品的颜色来添加颜料。一般的封装胶粉均以碳黑为颜料，因此成品具有黑色的外观。 39 润滑剂(LUBRICANT) 为了增加胶粉在加工成形中的流动性，有时可加入部分润滑剂来降低粘度。但是此举往往会造成胶粉的玻璃转移温度(Tg GLASS TRANSISTION TEMPERATURE)的降低及电气特性的劣化，因此若有需要加入润滑剂，最好选用反应性稀释剂(RE-ACTIVE DILUENT)，使稀释剂分子能与树脂产生化学结合，以避免 T2 及电气特性
12、的劣化。 4 环氧树脂塑粉的基本特性 前面我们已提到一些塑粉所要具备的特性，下面将进一步探讨这些特性。 41 耐热性 411 玻璃转移温度，Tg 如果以热劣化性为耐热性的考虑要点，则可以 Tg 来当做参考值。塑粉的 Tg 值主要决定于塑粉的交联密度： Tgl=Tg0+knc Tgi：交联后的 Tg Tg0：未交联前的 Tg K：实验常数 nc：两交联点前的平均原子数。 交联密度愈高，其 Tg 值也愈高；耐热性愈佳，热变形温度也愈高。一般封装塑粉的 Tg 值约在160左右，过高的 Ts 会使成品过硬呈脆性，降低对热冲击的抵抗性。 412 Tg 的测定 测定 Tg 的方法很多,目前本所使用热膨胀计
13、(DIALTOMETER)DSC(DIFFERENTIAL CANNING CALORIMETRY)、流变仪(RHEOMETRIC)、TBA(TORSIONAL BRAID ANALYZER)等仪器来测定 Tg 值。 42 耐腐蚀性 由从事塑胶封装电路的故障分析者所提出的故障成因中，以铝条腐蚀(CORROSION OF ALUMINUN METALLIZATION)所占比例最高，因此耐腐蚀性实为封装塑粉的首要考虑因素。 421 腐蚀的成因 就环氧树脂塑粉而言，造成铝条腐蚀的主因为塑粉中所含的氯离子及可水解性氯(HYDROLYZABLE CHLORIDE)。当大气中的湿气经由树脂本身及其与引线脚
14、(LEAD)间的界面，扩散进入半导体的内部，这些侵入的水气会与树脂中的离子性不纯物结合，特别是 C1-，而增加不纯物的游动性(MOBILITY)。当这些不纯物到达晶片表面时，即与铝条形成腐蚀反应，破坏极薄的铝层，造成半导体的故障。 422 腐蚀的防止 (1)降低不纯物含量 对半导体封装业者而言，选择低氯离子含量的封装胶粉是必要的。目前一般塑粉中离子性不纯物的含量均在 10ppm 以下。环氧脂由于在合成过程中使用 EPICHLOROHYDRIN，因此无法避免有氯离子的存在，因此树脂要经纯化去除大部分氯离子后，再用来生产封装塑粉。表 3 为日本厂家的环氧树脂封装胶粉的离子含量及电导度。 (2)添加
15、腐蚀抑制剂(CORROSION INHIBITOR) 在胶粉添加腐蚀抑制剂能减低铝条的腐蚀速率，干扰阳极或阴极的腐蚀反应，因而降低腐蚀全反应(OVERALL REACTION)的速率。所选用的抑制剂要具有如下的性质： 抑制剂中不能含有对电路工作有害的离子； 加入抑制剂后所增加的离子电导度不能产生有害于电路的副反应； 抑制剂需能形成错合物(COMPLEX)； 对有机系抑制剂而言，不能与环氧树脂发生反应，在移送面形成硬化过程中具有安定性； 对无机系抑制剂而言，其所产生的离子不可渗入 Si 或 SiO：绝缘层中，以免影响电路的工作。 一般以无机系腐蚀抑制剂的效果最佳。其中以钨酸铵(AMMONIUM
16、TUNGSTATE)、柠檬酸钙(CALCIUM CITRATE)为常用。 43 低的热膨胀系数(CTE，COEFFICTENT OF THERMAL EXPANSION) 在前面我们已经提过由于树脂与埋人件 CTE 的不同而产生内应力，造成成品破裂的原因。在此我们将详细介绍 CTE 对胶粉影响。 431 GTE 与内应力的关系 内应力可用 DANNENBERGS 方程式表示： ：内应力(internal stress) O：热膨胀系数(CTE) E：弹性模数(elastic modulus) S：截面积(cross section area) R：树脂(resin)：埋人件，框架，晶片口 ns
17、ert component，leadframe,chip) 由方程式(4)中，我们可清楚的看出树脂与埋人件之间的 CTE 差愈大，所产生的内应力也就愈大。由内应力所引起的龟裂(CRACK)将成为外部湿气及污染侵入的通路，进一步造成元件的故障，因此环氧树脂胶粉必须具有低的 CTE 值。目前也有人从降低弹性模数来使内应力变小。 432 影响 CTE 的因素 CTE 值可由 Tg 或交联密度来加以控制。此外，以下各因素也会影响 CTE： 1)湿气污染；2)可塑剂或润滑剂的流失；3)应力的消失；4)未反应的化学品；5)后硬化的时间与温度。 对环氧树脂塑粉而言，要拥有低 CTE 值必须从填充料上面来着手
18、。一个塑粉配方工程师必须将 Tg 及CTE 常记在心，作为参考及寻找问题的工具，因为低的 CTE 及高的 Tg 对热冲击抵抗性而言是十分重要的。44 成形性 广义的成形性包括半导体封装后的尺寸安定性、离型性(脱模)、加工成形时的流动性等等。 441流动性与漩流试验(SPIRAL FlOW TEST) 由于胶粉本身是部分交联的 B-STAGE 树脂，若贮存不当或贮存过久会增加胶粉交联硬化的程度，而造成流动性的降低，此时即该丢弃此流动性变差的胶粉。一般以漩流实验所得漩流值的大小来判断流动性的好坏，目前封装采用的规格是 25-35 寸。漩流值过低表示胶粉的流动性差，成形时将无法灌满模子；漩流值过高表
19、示胶粉的流动性太大，容易将埋人件的金属细线冲断并会产生溢胶现象。 442 DSC 与塑粉流动性 除了漩流试验之外，我们也可利用微差扫瞄式卡计(DSC)来测知胶粉是否仍然具有好的流动性。 第一个放热峰为胶粉硬化时所放出的聚合反应热，此放热峰愈高表示胶粉的反应热愈多，也代表胶粉贮存时硬化的程度少，因此具有良好的流动性。放热峰愈低表示胶粉已大部分硬化，只能放出少量反应热，代表胶粉已失去流动性。利用以上原理，我们可以找出放热峰高度与漩流值之间的对应关系。 如果所贮存的胶粉经 DSC 分析后发现放热峰高度减少 10以上，表示胶粉已失去良好流动性，宜丢弃不再使用。 45 电气特性 电气性对环氧树脂胶粉而言
20、是一种相当重要的性质，而介电特性(DIELECTRIC PROPERTY)为考虑重点。对封装材料而言，介电常数(DIELECTRIC CONSTANT)愈小其电绝缘性愈佳。介电常数会受频率的改变、温度、湿度的影响。介电常数的变化远比介电常数的起始值来得重要。 此外，成品的密闭封装是很重要的，将直接影响到电学性质。若成品封装不全有空隙存在，除了提供湿气污染的通路外，在接受电压时会发生电晕(CORONA)，使电场集中在空隙前端，引起内部放电而造成绝缘破坏。 46 耐湿性 湿气侵入半导体元件中与离子性不纯物作用，降低绝缘性，使漏电流增加并腐蚀铝路，此为信赖度降低的主因。湿气侵入封装成品中的路径有两条
21、： 由树脂整体(BULK OF PLASTIC)的表面扩散进入； 经由树脂与 IC 脚架间的界面，以毛细现象侵入。 取一个 14 脚的 DIP(DUAl+IN LINE PACKAGE)，在上方打开一个孔洞，孔底可达晶片表面，再将一个设有气体出入口的容器接在 DIP 的孔洞之上并密封之，然后将此装置浸在 100RH 的水蒸气或水中，容器内通人干燥的氮气(0RH)，水气即会依上述两种途径侵入而进入容器中，我们利用侦测器测出流出氮气中所含有的水气，而得到全部(两种水气渗透速率之和)的水气渗透率 Pt。Pt 是经由树脂整体侵入的水气渗透速率 Pb 及经由界面毛细侵入的水气渗透速率 P1 之和，及 P
22、t=Pb+P1。我们可取相同材料的树脂封住容器的底部，以同样方法测 出 Pb，再将Pt 与 Pb 相减即可求出 Pl 之值。 利用上述方法对塑粉进行评估。根据 HARRISON 的说法，元件若要具有 10 年的动作寿命保证，则 Pl值应该在 70 以下。我们不妨利用此方法来对环氧树脂胶粉进行耐湿性评估。 47 硬化时的放热 塑粉在硬化时会放出聚合反应热，如果配方调配不当发热量太大时会造成龟裂并给予元件应力。因此化学工程师在进行塑粉配方研究时应考虑硬化放热量不可过大。 事实上塑粉的交联可分成两个阶段。先胶化，再硬化。低分子量的树脂胶化的速度比高分子量者快。促进剂的浓度小，则胶化时间由热或动力决定
23、；如果促进剂的浓度大，则胶化时间由分子扩散至正确的反应位置决定： 欲快速胶化则增加热量，所得材料具有低交联密度、高 CTE、热收缩性大。 欲慢速胶化，则减少热量，所得材料具有较高交联密度、低 CTE 及较小的热收缩。 48 抗燃性 在 UL 规格中是以 94 V-O 为标准的环氧树脂塑粉均能满足此一规格。 49 接着性与脱模性 前面已经提过脱模剂的用量增加，树脂的接着力会降低。若是脱模剂的添加量减少，虽然可使树脂与脚架引线的接着力提高，但是模具和成形品间的接着力也增加，造成脱模的困难。因此脱模剂的添加量要选择接着性与脱模性兼顾者为宜。410 低 粒子效应 (LOW-PARTICLE EFFEC
24、) 环氧树脂胶粉中采用二氧化硅为填充料，而二氧化硅是自然界的矿物，含有微量的铀、钍等放射性元素。这些放射性元素在蜕变过程中会放出 粒子。DYNAMIC RAMS 及 CCDS 等牛导体元件会受 粒子的影响而发生软性错误(SOFF ERROR)。STATIC RAMS、ROMS、PROMS 及 EPROMS 等元件则不受。粒子的影响。 当 粒子经过活性元件区域(ACTIVE DEVICE REGIONS)时，会在电子与空穴重新结合之 前，使 N-区域收集电子 P-区域收集空穴。如果在一特定的区域收集到足够的电荷，将会扰乱所贮存的资料或逻辑状态(LOGIC STATES)。如果所收集和产生的电子数
25、超过临界电荷的话，即造成所谓的软性错误。 除了填充料之外，基板(SUBSTRATE)、铝条(METALLIZATION)也会放出 粒子，但是以填充料为 。粒子的主要产生来源。为了避免 粒子效应除了可用聚亚酸胺(POLYIMIDE)作为保护涂膜之外，可采用低放射性元素含量的二氧化硅当做填充料。日本已有生产放射性元素含量在 1ppb 以下的二氧化硅，这些二氧化硅是经过纯化精炼的，价格也较高。对高可靠度牛导体元件而言，必须设法避免 粒子效应。 411 长期保存性 目前大多数胶粉的胶化时间约在 30 秒左右，硬化成形后通常需要后硬化，并且又需冷藏贮存。若要发展出能快速硬化，又能在室温(MAX40-45)保存六个月以上而不失胶粉的流动性，则一定要在潜在性促进剂上加以研究与改良。本文仅对环氧树脂封装胶粉的组成、选用材料及胶粉的基本特性做一简单的介绍，但愿能使半导体业界对塑粉的组成有一概括性的了解，更期望为同行们在选择环氧树脂塑粉、研究封装机理方面有所启发。
