1、 激光精密 刻蚀机 技术 参数 1.用途说明： 设备加工对象主要包括聚酰亚胺等聚合物材料、陶瓷（氧化铝、氮化铝、氧化锆、氮化硼等）、玻璃、石英、磷化铟等非金属材料，以及不锈钢、铸铁、钨铜等各种金属及合金材料； 设备可对平面及曲面施行精细微加工； 设备各部件高效集成，可实现高精度钻孔、切割及表面材料刻蚀等加工工艺。 2. 系统概述 : 主要构成 序号 配件 数量 1 紫外激光器 1 台 2 五轴运动机构 1 套 3 振镜光学模组 1 套 4 CCD 影像系统 1 套 5 光路传输系统 1 套 6 防尘系统 1 套 7 软件控制系统 1 套 3. 主要技术规格及要求 : 部件规格型号 1) 紫外激
2、光器 型号： Belin 生产厂家：美国技术 参数 技术指标 输出功率 7W 30kHz 激光波长 355nm 冷却方式 水冷 模式 TEM00 重复频率 20100KHz 脉宽 25ns 30KHz 平均脉冲稳定性 2% 100kHz 2) 运动机构型号：非标定制生产厂家：德龙激光 设备配备有 X/Y/Z轴 与 A/B旋转轴，用于工件位置移动与调焦，其中旋转轴用于工件向心加工。 X 轴线性机构 加工幅面： 250mm 最大速度： 200mm/s 重复精度： 2um 定位精度： 3um 分 辨 率： 0.1um Y 轴线性机构 加工幅面： 250mm 最大速度： 200mm/s 重复精度： 2
3、um 定位精度： 3um 分 辨 率： 0.1um A 轴旋转模组 旋转角度： 360 定位精度： 1arcmin B 轴旋转模组 旋转角度： 360 定位精度： 1arcmin Z 轴调焦机构 最大速度： 25mm/s 运动行程 ： 100mm *注：以上精度数据参考 JIS 标准。 3) 振镜光学模组 型号： Intelliscan 生产厂家：德国 SCANLAB AG 项目 规格 /功能 扫描速度 3000mm/s 跳转速度 14000mm/s 单次扫描范围 45mm 45mm 场镜焦距 100mm A 轴 -精密 旋转 台 安装 板 B 轴 -精密 旋转 台 4) CCD影像相关 旁轴
4、影像系统（旁轴安装，用于定位） 项目 规格 /说明 视野 大于 0.4mm 0.4mm 像素 30 万 5) 光路传输系统 项目 说明 /规格 备注 光闸 气缸驱动 非标定制 扩束镜 355nm 2-10 倍连续可调 发散角可 调 四维调节功能 6) 防尘系统 项目 说明 光 学 腔入 光口 增加紫外保护镜片 光学腔密封 机械配合橡胶密封条 实现完全密封 光 学 腔出 光口 与 Z 轴光学部分密封连接 聚焦镜防尘 安装紫外保护镜片 设备集尘 吹、吸结合 提供专业风机，保证集尘风量 平台防尘 X-Y 轴独立叠加 从内到位，提供三层防尘设计 7) 软件相关 功能 详述 多级管理 安全操作 软件支持
5、多级权限管理设置 可按需设置为工程师模式、操作员模式，保证设备安全稳定的操作 图档导入、存储 与 导出 功能 软件支持 CAD 软件 DXF、 DWG 等 格式的文档直接导入、存储或导出； 图 形 在线 编辑 操作界面具备加工图形的编辑窗口，可对导入的图纸进行在线的增删或修改； 对于用于工艺试样的图纸，软件提供基本的绘图功能，可在软件中做直接绘图 工 艺 专家 数据库 软件可根据加工要求，对图纸不同图层的加工元素编辑不同的加工参数； 对加工工艺参数具备编辑、存档、导入功能； 加工参数保存与图纸名称保持一致，做到一一对应 加 工 演示 功能 针对新品、新工艺开发，软件提供加工演示功能，即在激光器
6、不出光的情况下，控制设备各部件参照设定参数加工，以便操作人员确定加工可能性 端 口监测 错误诊断 设备开机软件执行初始化，对设备激光器、平台及各 I/O 端口执行初检； 加工过程，对平台及 I/O 端口执行实时监测，保证运行稳定无故障； 在发现运行故障时，对应在界面“信息输出区”显示错误信息，便于排查 半 自 动寻 焦功能 软件提供半自动寻焦，即自动在材料上加工数个单元图形，由操作人员参照最佳加工效果设定对应焦点位置，该功能亦可用于离焦加工工艺确认 振 镜 矫正 功能 软件提供振镜矫正功能，可按需在设备维护、点检期间，提供振镜矫正 识 别 与精 确定位 配合 CCD 影像系统对图像进行识别，实
7、现精确的定位功能 各 部 件独 立控制 软件可实现对平台、振镜、 I/O 端口做独立控制，从而实现多种加工模式 简 易 测量 功能 配合 CCD 影像系统，软件可实现对加工工件进行简易的尺寸测量 4. 设备关键部件品牌及产品 序号 名称 产地 品牌 1 激光器 中国 Bellin 2 X-Y轴 导轨 日本 IKO 3 X-Y轴电机 荷兰 TECNOTION 4 X-Y轴 驱动器 以色列 ELMO 5 X-Y轴 光栅尺 德国 Jena 6 X-Y轴读数头 德国 Jena 7 振镜光学模组 德国 SCANLAB AG 10 影像 镜头 日本 慕藤光 11 影像 CCD 韩国 Balser 12 扩
8、束镜 德国 jenoptik 13 聚焦镜 德国 SCANLAB AG定制 14 工控机 台湾 研华 15 运动控制卡 美国 Galil 16 PLC控制器 日本 MITSUBISHI 5. 设备工作环境 1) 设备安装空间： 3000mm（ W） 3000mm（ L） 2500mm（ H） 2) 电力需求： 380V/20A 50HZ ，整机功率 5000W 3) 空气需求：除油除水的压缩空气 4) 环境温度： 20-25 5) 环境湿度： 湿度 40% 60%， 变异量 小于 5%/8Hrs 6) 其他： 机房附近无强烈震动，强磁场，强电场等干扰源 7) 洁净度： 10万级或 10万级以上
9、无尘环境 6. 附 件与其它要求 随设备提供中文资料一套，资料清单见下表。 序号 资料名称 数量（套） 1 货物装箱清单 1 2 出厂验收报告 1 3 设备使用说明书 1 4 激光器操作、维护保养手册 1 5 合格证明书 1 7. 技术服务要求 1) 设备整体自最终验收签字之日起保质期为 12个月。 2) 机床的维修保障应及时有效，在接到用户故障报告后，卖方应在 12小时内响应 24小时到达现场，五个工作日内恢 复机床工作。 3) 若设备在保质期内发生故障，卖方不能在五个工作日内恢复生产，卖方负责免费为买方完成相关的紧急加工任务。 4) 保修期内卖方应在设备交付后每季度前往买方现场进行巡检，检查设备运行情况，更换需要更换的部件，所产生的费用由卖方负责。 8. 设备安装调试及技术培训 1) 卖方派有经验的机械、电气、操作人员到买方工厂负责设备的安装、调试；设备到达买方现场后，买方负责设备的卸车及就位，卖方在买方现场安装、调试，买方可以提供必要的帮助。 在设备集成生产地进行不少于 6天的培训，在用户现场进行不少于 5天的培训，卖方应对用户 的工艺、操作、维修等人员进行培训。所有费用（包含往返机票、食宿、交通、保险）由卖方负责。
