1、技术指标确认书设 备 名 称数量功 能 及 技 术 参 数场发射高分辨透射电子显微镜1一、必要功能：材料的形貌、结构、缺陷和界面的微观分析； 二、辅助功能：1、成分的定性和半定量分析； 2、元素的点、线和面分析三、仪器工作条件1、电源：220 V10 %，50 Hz1%，单相；380V (10%)，50Hz1%，三相；2、配备相应的断电保护设备；3、环境条件： 10 30，相对湿度：70 %；4、直流磁场：水平 80 nT；垂直100 nT；5、安装条件：独立地线：4 欧姆；6、可不间断连续运行。四、主要技术指标：1、电子枪：肖特基场发射电子枪2、点分辨率： 0.19 nm3、线分辨率： 0.
2、102 nm4、加速电压： 80, 100, 120, 160, 200 kV （100 V/步可调）5、加速电压稳定度： 2ppm/min (峰峰值)6、物镜最小聚焦步长： 1.8nm7、物镜球差系数： 1.2mm8、色差系数： 1.4mm9、物镜电流稳定性： 2 ppm/min10、最小束斑尺寸：透射模式 (TEM)：2 nm；微区分析模式(EDS/NBD/CBD 模式) ： 0.5 nm11、电子衍射：最大会聚角 (CBED) 100mrad (全角)12、扫描透射(STEM)1). 探头：高角环形暗场探头（HAADF）2). 分辨率： 0.2 nm3). 最大 HAADF STEM 接
3、收角：134). 亮度： 4107A/cm2/sr5). 束流：1nm 束斑电流 0.5nA6). 能量分辨率：加速电压 200kV 下为 0.7eV 或更低7). 束斑漂移：1nm/min8). 放大倍数：优于 50 100 万倍；放大倍数重复性： 10%9). 相机长度：802,000mm10).相机长度和放大倍数误差小于 5%13、样品室1). 5 轴全自动马达台 (X/Y/Z/Tilt X/Tilt Y)2). 样品漂移： 1 nm/min3). 样品复位精度：具有记忆模式功能，将样品从一个位置移动到另一个位置，且 X、Y 方向复位精度由于 200 nm4). 更换样品及电镜底片时，更
4、换样品时间小于 15 分钟，更换底片时间小于 30 分钟5). 样品台移动尺寸：X 2mm，Y 2mm，Z 0.1mm6). 样品台倾斜角度： X 25，Y 257). 样品台移动步长精度：优于 3nm/步8). 取出角： 2014、真空系统1). 离子泵、油扩散泵2). 前级机械泵3). 最优真空度：电子枪室：优于 0.910-8Pa；样品室：优于 210-5Pa15、电镜安全保护：1). 可以连续使用（电子枪可以连续工作不自动熄灭）2). 断电、断水、失真空警报及保护，分子泵、离子泵、高压放电、变压器过热保护16、计算机系统1). 电镜控制专用高速计算机和 EDX 配套使用计算机应等于或优
5、于以下配置(要求均为品牌配件)2). CPU：Intel Core 2 Duo 2GHz 以上3). 内存：DDR 2G 以上4). 独立显存：256MB 以上5). 硬盘：300GB 以上6). 显示器：19 英寸以上液晶纯平彩显 (LCD，标准屏)7). 刻录机：DVD-刻录机8). 打印机：彩色激光打印机一台(HP Color LaserJet CP1215n) 或 HP 相等型号9). 操作系统：微软 Windows 系统17、CCD 系统及软件（注：传统的底片拍照选件保留）1). 底插式 CCD 相机2). 具有抗炫功能，可直接拍摄电子衍射3). 像素：像素：优于 4000 2600
6、4). 有效像素尺寸：优于 9m 9m5). 读取速度：优于 12 幅 /秒6). 耦合方式：1:1 光纤耦合7). CCD 机头采用可伸缩设计，有效保护探头，并且便于今后仪器的扩展8). CCD 有效面积：36mm 24mm9). 曝光时间：1ms100s10).操作电压：最高达 200 Kev11).动态范围：14 位12).闪烁器：高分辨多晶体磷13).相机具有自动保护功能，便于今后仪器的扩展14).免费提供 CCD 图像采集和图像处理软件15).图像存储模式：可与 tiff 格式、jpg 格式、emf 格式、bmp格式、gif 格式等转换16).具备电子衍射花样分析及其它必要的配套软件
7、，可进行动态原位实验观察和记录17).配有 19”液晶显示器及其通讯接口的专用品牌电脑一台，内存不低于 2G，硬盘不低于 300G18).有自动聚焦，自动消像散，图像拼接功能18、能谱仪19).探头类型：电制冷硅漂移 (SDD) 探测器，FET 和 SDD芯片一体化，无需其他辅助制冷，无震动20).在中国有 TEM 电制冷能谱用户且连续正常工作三年以上21).能够对元素进行点、线、面成份的定性和定量分析22).分辨率：Mn Ka 保证优于 127eV(100,000cps 时测量)，峰背比优于 20,000:123).探测器自动伸缩设计，避免高能杂散信号的攻击，保护能谱探测器24).系统稳定性
8、：100,000cps 以内输入计数谱峰偏移不超过1eV25).探测芯片有效探测面积：30mm226).元素探测范围：优于 B(5)Am(95)27).最大输入计数：优于 1,000,000cps，最大输出计数：优于400,000cps28).窗口类型：超薄轻元素探测窗口29).探测器制冷方式及工作温度：两级帕尔贴效应制冷，工作温度不低于-30 度30).全谱元素面分布分辨率：优于 2048204831).自动马达控制探测器进出无需手动操作32).通过处理器自动扣除和峰(非软件扣除)，自动选择最佳处理时间33).宽范围电压适配可适用 (85265 VAC)电压34).所有校准数据均保存与信号处
9、理器中，用户能够自行矫正系统，重装或者升级电脑可由用户自己完成35).具备零峰修正功能, 可以快速稳定谱峰, 开机 5 分钟内能得到稳定的定量结果36).可自动标识谱峰，并增强对轻元素的修正37).配有 19”液晶显示器及通讯接口的专用品牌电脑一台，内存不低于 2G，硬盘不低于 300G19、主动式防震台1). 主动式调节自由度 2). 主动式调节范围(含 FFF) Hz3). 共振频率（被动式） Hz 以下4). 共振倍率 B （B）5). 减震倍率（20） - B （ B）6). 能明显提高图像质量，尤其高分辨像和 STEM 像五、包含主要部件：1、 Electron Microscope
10、 Basic Unit 电镜基本单元（含普通单倾样品杆、双倾样品杆各一支、场发射灯丝一根）2、 Field Emission Gun 场发射电子枪3、 Illumination Astigmatism Corrector Unit 照明系统消象散单元4、 CM Lens Unit 聚光镜单元5、 Ultra High Resolution Polepiece 超高分辨极靴6、 High Contrast Objective Aperture 高反差物镜光阑7、 SIP Vacuum Pump Unit 离子泵真空系统单元8、 Imaging Astigmatism Correction Uni
11、t 成像系统消象散单元9、 Computer Unit 计算机操作单元10、 DP Rough Pump Unit 扩散泵初级真空系统单元11、 Main Monitor 主显示屏12、 Digital Hour Meter 计数器13、 Lift Pole 升降机14、 选区电子衍射光阑15、 Gas charge tool 充气工具16、 Water chiller 循环冷却水箱(一体式，水-空气散热交换 )17、 Automatic voltage regulator 自动稳压电源18、 UPS power supporter 不间断电源19、 Beam stopper 束流遮挡器20、
12、 Swing mouse unit 划动鼠标21、 Electro short switch 电极短路开关22、 Color laser printer 激光打印机23、 照相底片夹 一套24、 循环冷却水箱使用的降压变压器25、 TEM 必须的备品备件26、 空压机27、 保证设备正常运行和保养所需的全套标准备品备件专用工具一套28、 提供 CCD、EDS 所必需的通信接口29、 预留可扩展 EELS 功能所需的接口30、 备用光阑两套31、 扫描透射 STEM32、 数字化 STEM 软件包1). Scanning image observation devise 扫描透射单元2). Im
13、age acquisition unit 扫描透射图象采集单元3). Dark field image observation device 高角环形暗场探头（HAADF）33、 能谱仪(EDS)系统34、 底插式 CCD 相机系统备 品 备 件 及耗 材1、 备用场发射灯丝 1 根2、 主动式防震台 1 套，有以下组成部分：1). 气垫减震器 （TCN-75X 型气垫,驱动器嵌入 ）2). 控制器 3). 传感器 4). 电缆（传感器用） 根5). 电缆（驱动器用） 根6). 电缆（电源用） 根质 保 期提供至少 2 年以上免费保修，保修期自验收签字之日起计算。另外，双倾台提供至少 3 年以
14、上免费保修售 后 服 务 及培 训 要 求1、 要求供货厂家在中国至少设立一家以上的固定维修站2、 设备安装调试：免费负责设备安装场地的工作环境测试。仪器到达用户所在地后，在接到用户通知后 1 周内执行安装调试。仪器安装调试应于一个月内一次性完成3、 现场技术培训（2 次） ，厂家负责电镜合轴预设置，终身提供技术支持4、 仪器安装调试完成后，随即在用户现场进行不少于 7 个工作日系统培训，培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、样品制备、设备维护和保养等5、 仪器验收完毕后半年内，免费安排用户在国内 demo 实验室进行12 人次为期 3 个工作日的设备应用、维护和保养系统培训6、 仪器安装验收后一年内，应用户要求，进行为期 5 个工作日的现场免费高级应用培训和技术指导，包括仪器操作和维护、数据处理和软硬件故障排除、设备全面的维护和保养等7、 如有其他培训要求，另行商定交 货 时 间 及地 点合同签订后 6 个月内，温州大学其 他 要 求1、 备用配件如电子枪，更换时免一切费用2、 配备设备正常运行的其他耗材如真空脂 1 支，真空泵油 4L 和密封像胶圈 2 套3、 所有设备及其附件，均应原装进口，并出具原厂合格证明确认人： 日 期：
