1、 河南科技大学机电工程学院采购 “ UDP-700/4溅射镀膜系统” 单一来源采购文件 采购编号：豫财单一采购 -2017- 采购人： 河南科技大学 采购代理：河南省机电设备招标股份有限公司 二 O一七年十二月编制 河南科技大学机电工程学院采购“ UDP-700/4 溅射镀膜系统”单一来源采购文件 2 第一章单一来源采贩公告 河南省机电设备招标股份有限公司受河南科技大学的委托，就河南科技大学机电工程学院采购“ UDP-700/4 溅射镀膜系统”项目进行单一来源采购。现公告如下： 一、项目名称及编号 1.项目名称：河南科技大学机电工程学院采购“ UDP-700/4 溅射镀 膜系统”； 2.招标编
2、号：豫财单一采购 -2017- 二、项目基本情况 1. 采购内容： UDP-700/4 溅射镀膜系统采购、安装调试及售后服务。 序号 设备名称 数量 是否可投进口 产品 技术 参数 1 UDP-700/4 溅射镀膜系统 1 套 是 详见采购文件 采购预算： 320 万元人民币 2. 拟采购供应商名称： 米巴集团英国 TEER镀层有限公司 (代理公司：甘肃泓泽实验装备与技术有限责任公司） 三、采购文件发售 1.采购文件出售时间： 2017 年月日起至 2017 年月日止 (法定公休日和节假日除外 )。登录“河南省公共资源交易中心（ http:/）”网，凭领取的企业身份认证锁（ CA 密钥）登陆会
3、员专区并按网上提示自行购买、下载本项目所含格式 (.hnzf)的文件及资料。 2、企业身份认证锁（ CA 密钥）办理：投标人（供应商）应首先完成诚信库入库登记（具体办理事宜请查询河南省公共资源交易中心网站 -办事指南 -河南省公共资源电子交易平台诚信库入库登记指南（工程建设、政府采购）；诚信库入库登记通过后，方可办理 CA 数字证书及电子签章（具体办理事宜请查询河南省公共资源交易中心网站 -办事指南 -公共资源项目 CA 办理流程）。 2.采购文件售价： 300 元人民币 /份，售后不退。 四、谈判时间及地点 1. 单一来源采购谈判时间： 2017 年月日上午 9:00 分 河南科技大学机电工
4、程学院采购“ UDP-700/4 溅射镀膜系统”单一来源采购文件 3 2. 单一来源采购谈判地点：河南省公共资源交易中心开标室（经一路与农业路交叉口西南角投资大厦 A 座 13 楼）。 五、本次采购联系事项 1. 采购人：河南科技大学 地址：洛阳市开元大道 263 号 联系人：孙老师 联系电话： 0379-65627735 2. 采购代理机构：河南省机电设备招标股份有限公司 联系人：赵女士李女士 联系电话： 0371 65928013 65928010 联系地址：郑东新区商务外环路 23 号中科大厦 8 楼 809 室（商务外环与九如路交叉口 南 150 米 ） 河南科技大学 河南省机电设备招
5、标股份有限公司 二 O 一七年月日 河南科技大学机电工程学院采购“ UDP-700/4 溅射镀膜系统”单一来源采购文件 4 第二章单一来源采贩须知 一、货物需求及要求 UDP-700/4 溅射镀膜系统一套， 具体技术要求及参数详见第四章。 二、竞标人资格要求 1. 提供 2016 年度财务状况报告或银行资信证明、缴纳税收和社会保障资金的证明、投标人参加政府采购活动前 3 年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明。 2. 投标人提 供的设备产品须是符合国家质量标准的全新现货，软件产品应具有知识产权。 3.所投产品为进口产品时投标人需提供对外贸易经营者备案登记证书和中华人民共和国海关报关单位注册
6、登记证书。 三、竞标总报价 1. 竞标总报价： 目的地交货价，报价应包括现场勘查及相关差旅费、全部货物、辅助材料、工程和服务的价格及相关税费、运输到指定地点的装运费用、安装调试、施工、培训、售后服务、测试、布线、验收以及其他有关的交付使用前的所有费用。对采购项目履行过程中所需的而招标文件中未列出的相关辅助材料和费用，也应包括在报价中。（采购 人具有国家免税资格，请投标人于投标前自行与海关确认所投进口产品是否能免关税。如果所投产品按照国家相关政策允许免关税的，则报免关税后人民币价，同时由甲方提供相关证明材料协助中标人办理免关税手续。投标报价应为目的地交货价，项目交付使用前产生的一切费用均由中标人
7、承担）。 相关费用：由中标人承担的费用，包括中标服务费、税费、清关、银行手续费、安装、调试、运保、装卸费、培训、售后服务等相关费用 。 2. 竞标人须对所投包中所有设备和服务进行完整报价，不得只对部分设备和服务进行报价。如报价小写与大写不符的，以大写为准。单 价金额与总价金额不符的，以单价金额为准。 3. 竞标报价不得超出采购预算，本项目采购总预算为： 320 万元。 4. 采购代理服务费：中标人按国家发展和改革委员会计价 20021980招标代理服务收费管理暂行办法规定的收费标准，向采购代理机构支付中标服务费。 河南科技大学机电工程学院采购“ UDP-700/4 溅射镀膜系统”单一来源采购文
8、件 5 四、采贩小组组成 采购小组成员由采购人代表和商务、技术等方面的专家组成，成员人数为 3 人。 五、竞标人实质性审核 实质上没有响应单一来源采购文件要求的竞标将被拒绝。竞标人不得通过修正或撤销不符合要求的偏离或保留，从而使其竞标成为实质上响应的竞标 。如发现下列情况之一的，其竞标将被拒绝： 1.竞标报价函没有法定代表人或授权代表签字和加盖公章； 2.工期不响应本单一来源采购文件要求的； 3.不满足本单一来源采购文件中质量保证期规定要求的； 4.竞标文件附有采购人不能接受的其它条件的； 5.不符合单一来源采购文件中规定的其他实质性要求。 六、采贩程序及方法 1.采购小组对竞标人递交的竞标文
9、件进行初审； 2.采购小组对竞标人递交的竞标文件进行技术参数评审。 3.采购小组推荐实质性响应采购文件要求、竞标产品质量、技术性能满足本单一来源采购文件的技术要求的有效 竞标人为侯选中标人。 七、授标 采购人原则上按采购小组依法推荐的中标候选人确定中标人。 八、付款方法和条件 全部货物验收合格后支付货款 90，其余 10作为履约保证金，自验收合格之日起一年后一次性无息支付。 九、 竞标有效期 竞标有效期：自开标之日起 90 天；在特殊情况下，采购人可与竞标人协商延长竞标文件的有效期。 十 无条件退货协议 用户一旦发现本次采购货物在验收之日起一年内出现所购系统硬件故障或不匹配、软件无法运行等恶性
10、事故，用户有权无条件退货。 河南科技大学机电工程学院采购“ UDP-700/4 溅射镀膜系统”单一来源采购文件 6 第三章竞标文件的编制、密封和递交 一、竞标文件的编制 竞标文件应包含但不限于以下文件： 1. 资格证明文件： 1）竞标人企业营业执照复印件； 2） 法定代表人证书或法定代表人授权书，被授权人的身份证复印件； 3）依据本文件中的要求提供相应的资格证明文件； 4）竞标人人认为其他需要提交的资料 2. 货物技术证明文件： 1）竞标人必须提供生产商详细描述货物性能及特点的技术文件、产品说明资料供评标参考，并保证这些技术证明材料与投标货物的真实功能、性能参数的一致性； 2）货物所配的特殊工
11、具及备品、备件清单； 3）竞标人认为应对其投标货物的性能特点、优越性等有必要进行补充 说明的内容。 3. 本单一来源采购文件要求填写的报价一览表和投标货物报价表（格式见附表）、制造厂商的售后服务承诺书。 二、竞标文件的密封 1. 竞标文件应装订成册，正本 1 份，副本 3 份（正本与副本内容必须一致，如不一致，引起的所有责任，由竞标人承担）。 2. 竞标人应将竞标文件正本、副本分别密封在不透明的包装内，并在包封上正确标明 “ 正本 ” 、 “ 副本 ” 。 3. 包封上都应写明： 采购人：河南科技大学 编号： 豫财单一采购 -2017- 河南科技大学机电工程学院采购“ UDP-700/4 溅射
12、镀膜系统” 单一来源 竞标文件 竞标单位名称，并加盖企业公章及法定代表人或授权代理人印章或签字。 2017 年月日 9 时 00 分（北京时间）前不得启封。 三、竞标文件的递交 河南科技大学机电工程学院采购“ UDP-700/4 溅射镀膜系统”单一来源采购文件 7 1. 竞标文件必须在竞标截止时间以前递交至 河南省公共资源交易中心开标室（经一路与农业路交叉口西南角投资大厦 A 座 13 楼） ； 2. 竞标截止时间： 2017 年月日时 00 分 采购代理机构将拒绝接受竞标截止时间以后递交的竞标文件。 四、竞标保证金 保证金形式：支票、汇票、本票、网上银行支付、保函（提交保证金时请简要写明项目
13、名称） 保证金金额：肆万元人民币。 保证金提交截止时间：提交 竞标文件截止时间前 单位名称： 开户行： 账号： 河南科技大学机电工程学院采购“ UDP-700/4 溅射镀膜系统”单一来源采购文件 8 第四章技术要求 一、总则 1.本章所述技术规格及要求是采购人提供的最基本的技术要求，供应商应保证提供符合本技术规格及要求和有关标准的优质产品。 2.本技术规格及要求如与供应商所执行的标准发生矛盾时，按较高标准执行。 3.采购人保留在对本技术规格及要求补充和修改的权利，供应商应承诺予以配合，如提出修改，具体事项由中标人与采购人另行商定。 4. 供应商所提供的货物，如若发生侵犯知识产权的行为时，其侵权
14、责任与采购人无关，应由供应商承担相应的责任，并不 得损害采购人的利益。 二、投标要求 1. 供应商提供的所有货物，其制造商应有完善的质量检测手段和质量保证体系，制造、检验和安全标准应符合中华人民共和国现行国家标准、规范和相应的国际标准。 2. 供应商所提供货物的设计、制造、产品性能、材料的选择和材料的检验及产品的测试等，都应按国内外通行的现行标准和相应的技术规范执行。而这些标准和技术规范应为合同签字日为止最新发布发行的标准和技术规范。 3. 供应商必须按本次招标范围投标，不得拆包投标。拆包投标将视为漏项或非实质性响应予以废标。 4. 供应商必须提供与所投货 物名称、型号一致的产品说明资料。 5
15、. 供应商提供货物的技术规格及性能应与招标文件货物要求相符。 6. 中标人对合同范围内货物的质量、使用性能及售后服务全面负责；对与采购人供货货物的交接及验收全面负责。 三、工期（交货期） 工期指货物交付用户使用的期限，本次招标项目工期为合同签订后 365 天交付使用。 四、技术参数及要求 1. 货物名称及要求： 河南科技大学机电工程学院采购“ UDP-700/4 溅射镀膜系统”单一来源采购文件 9 进口品牌（国际知名品牌），米巴集团 英国 TEER镀层有限公司 UDP-700/4溅射镀膜系统 2. 用途说明： 用于制备高性能二硫化钼基、类石墨碳基和硬质氮化物基三类薄膜。 3. 系统概述 ： 3
16、.1 概述 UDP700/4 是专门设计用于沉积 Graphit-iC/MoST/CrN 涂层的的溅射离子镀系统，膜层厚度 2.5m， 要求所制备薄膜达到如下关键性能要求： MoS2 基镀层： Hv 硬度 900；划痕结合力大于 60N；摩擦系数小于 0.10。 类石墨碳基镀层： Hv 硬度高于 1200；划痕结合力大于 60N；摩擦系数小于 0.10。 氮化物基镀层： Hv 硬度高于 2000；划痕结合力大于 60N。 该设备具有良好的性能及可靠性，技术先进， 拥有并使用具有封闭场非平衡磁控溅射离子镀（ CFUBMSIP）系统 的专利技术， 操作、使用、维修方便，具有良好的人机界面及用户后续
17、开发权力。 3.2 系统组成 1、真空腔体及抽真空系统 2、溅射阴极及电源系统 3、样品工装系统 4、气体控制系统 5、镀膜工艺计算机控制系统 3.3 系统主要特点 1、 使用高密度低能量轰击离子进行沉积镀膜。 2、 镀层致密度好，低柱状晶结构，内应力低。 3、 可在低温环境下沉积致密结构的镀层。 4、 高效率等离子清理以提供高的镀层结合强度。 5、 可方便沉积不同成份的镀层。 6、 自动运行控制，涂层菜单适用性广。 7、 使用专门设计的 plasmag 溅射源及提供高密度的 等离子以保证镀层品质。 4. 主要技术规格及要求 : 4.1 真空腔体及抽真空系统 1、 真空腔为可水冷双重壁，不锈钢
18、材质 2、 真空室尺寸： 700mm 700mm，被镀工件均匀区高度范围大于 250mm。 3、 具有可开合的前门体和观察窗，能全面观察腔体内工作情况 4、 包含两套可替换挡板，以减少清理等待时间 5、 主腔泵为涡轮分子泵，抽吸能力不低于 2000L/秒，具有过热保护装置以防冷却失效 河南科技大学机电工程学院采购“ UDP-700/4 溅射镀膜系统”单一来源采购文件 10 6、 前级泵为机械泵，具有过载保护 7、 所有真空阀为电磁气动阀，由计算机进行逻辑控制 8、 配备三段可调高真空截止阀，应选用相当于德 国 VAT 公司的截止阀 9、 腔体的真空度： 4 小时内可抽到极限真空优于 6.67
19、10-4 Pa，在 60 分钟内抽到小于 4.0 10-3 Pa。 10、 真空规测试精确 , 均应选用相当于英国 Edwards 公司或 MKS 公司的原厂产品 11、 转动系统采用磁流体密封并施加冷却 12、 所有真空泵应选用相当于英国 Edwards 或德国 Pfeiffer 公司的产品 4.2 溅射阴极及电源系统 1、配备 4 个孪生矩形非平衡磁控溅射靶，采用封闭场设计，工件离子流密度不低于 7mA/cm2，要求供方具有自主的非平衡封闭场专利权。 2、溅射靶尺 寸 350 175 mm。 3、配备至少两台双通道直流溅射阴极电源，四个磁控溅射管由两套美国 Advanced Energy
20、直流电单元控制 ，电流控制精度为 0.1A。 4、配备脉冲偏压电源一台，电压控制精度为 1V, 实现 0-1000V 可调。 4.3 样品工装系统 1、工件架可作行星式公转、自转，变频调速，并可实现样件自身的三维运动。 2、配备台式推车，方便样品的安置与拆卸 4.4 气体控制系统 1、所有气体管道均为不锈钢材质。 2、配备至少 4 路气体通路，均采用相当于 MSK 质量的流量计控制，其中两路适用 于活性反应气体控制，并且配有自动电子关闭阀。 3、具有等离子体光学谱动态监测和动态控制功能，能精确控制反应气体的流量和镀层成份，实现梯度膜、多层膜的制备。 4.5 镀膜工艺计算机控制系统 1、镀层工艺
21、控制完全由计算机系统控制，镀层工艺开放，客户有后序开发的权利。 2、提供二硫化钼基、类石墨碳基和硬质氮化物基三类镀层的工艺包。要求达到如下镀层关键性能要求： MoS2 镀层： Hv 硬度高于 900；划痕结合力大于 60N；摩擦系数小于 0.10。类石墨碳镀层： Hv 硬度高于 1200；划痕结合力大于 60N；摩擦系数小于 0.10。氮化物镀层： Hv 硬度高于2000；划痕结合力大于 60N。 3、标准工业国际品牌 PLC/工控机控制，显示器： 21 寸。 4、具备安全报警系统：出现短路、过热、漏水等异常情况，设备可以在声光电报警的同时，自动实现断电保护。 5. 技术及维修服务，培训要求及其它
