1、青岛赛瑞达设备制造有限公司1目录扩散炉软件使用说明 .11 启动 .11.1 启动 .12 .进程管理 .12.1 温度实时显示 .32.2 运行信息 .32.3 报警显示功能 .42.4 阀门及流量控制功能 .52.5 推拉舟(机械手)及炉门状态显示 .62.6 调试窗口 .62.7 工艺控制 .73 .工艺管理 .93.1 窗口介绍 .93.2 工具栏介绍 .103.4 工艺（RECIPE）编写步骤 .114工艺表 .194.1 控制温度表 .194.2 Profiles 修正表 .204.3 工艺信息表 .215. 实时曲线 .225.1 曲线查看 .225.2 工具栏 .236 历史记
2、录 .246.1 查询历史数据 .246.2 数据操作 .257事件日志 .257.1 基本操作 .258.用户管理 .268.1 添加和删除用户 .268.2 修改用户权限 .279 串口配置 .289.1 串口 .2810 扩散炉参数配置 .2910.1 舟位调整 .2910.2 流量计 .3010.3 报警参数设定 .3110.4 炉管名称修改 .3210.5 风压补偿控制 .3211 窗口排列 .3312 软件注册 .35青岛赛瑞达设备制造有限公司1扩散炉软件使用说明1 启动1.1 启动将计算机电源打开，启动计算机。点击桌面“计算机工艺自动化管理系统”快捷图标，出现登陆画面(如图1.1
3、)。输入正确的用户名和密码，点击“确定”按钮即可登录到系统。（提示：第一次登陆默认的管理员用户名为“admin”,密码为空。登陆系统后管理员可以更改密码，添加其它用户。）下次登陆时，用户名栏中会自动填入本次登陆的用户名。图1.1 登录2 .进程管理软件登录后，自动打开进程管理窗口。“进程管理”窗口显示设备所有的实际数据，包括：工艺信息、通讯状况、报警信息、温度、阀门状态、气体流量、推拉舟(机械手)状态位置、工艺状态。如图 2.1。青岛赛瑞达设备制造有限公司2图 a. 运行 Profile 工艺自动拉温区图 b.运行 Nomal 工艺生产青岛赛瑞达设备制造有限公司3图 c.用调试窗口调整炉门和机
4、械手图 2.1 进程管理 2.1 温度实时显示 Sp：Spike，外控温仪表温度测量值，外控温仪表用来控温。Pf：Profile，内控温仪表温度测量值，显示石英管内部温度。 Pf 和 sp 可以构成串级控制自动拉温区(自动温度分布)。SV：实时显示温度设定值。SV 分五段分别控温，可以实现梯度温区。待机状态下，单击文本框，弹出待机温度设定窗口，可以设定待机温度值。2.2 运行信息状态：显示当前设备运行情况：“手动”状态或者“工艺运行”状态。步号：显示当前运行的工艺步。步名称：显示当前步的名称。即“工艺编辑”窗口“步列表”步信息的内容，需要用户编辑。工艺名称：当前运行工艺的名称，与工艺管理中相应
5、工艺文件对应。产品批号：每运行一次工艺会产品批次自动加 1，同时在历史记录中有相应记录，便于青岛赛瑞达设备制造有限公司4按批次查询。本步运行时间：显示本工艺步的已运行时间。本步剩余时间：显示本工艺步的剩余时间。已运行时间：工艺启动开始到目前的时间间隔。预计结束时间：计算工艺曲线预计结束的时刻。工艺保持或跳步，时间会重新自动计算。2.3 报警显示功能1).PLC通讯异常：计算机与PLC通讯过程中，计算机端口设置错误、PLC未上电，PLC无应答或者报文出错，指示灯亮；2）工艺正常结束：一个工艺运行结束，蜂鸣器响三次，工艺结束指示灯亮，提示用户。3）超温跳闸：炉体温度超过1100度，加热器空开自动跳
6、闸；要调整超温脱扣的设定值，需要手动更改报警温控表的报警参数“AL1”。4）流量计通讯报警：流量计直接受计算机控制，通讯报警，系统将无法正常工作。流量计报警后，计算机自动弹出文本框，显示产生报警的可能原因，帮助调试人员和用户排除故障。多数情况是串口设置错误。5）流量偏差报警：待机状态或工艺中，流量计设定值不为零，对应气动阀门打开，流量偏差值(测量值与设定值的差的绝对值)大于报警设定值，并且在15秒内没有恢复，产生报警，蜂鸣器响，提示用户。便于用户提早发现断气或手动阀没有开等故障，保证产品质量。6).报警一旦产生，就会有相应的报警信息以文本形式记录，打开“事件日志”窗口可以察看到。7）无报警时，
7、指示灯为绿色，报警发生，指示灯变为红色，并且蜂鸣器响。青岛赛瑞达设备制造有限公司52.4 阀门及流量控制功能气路图中的阀门和流量计实时显示气路的真实状态，并且可以通过单击阀门图标开关阀门。原来为开的阀门，单击后关闭；原来为关的阀门，单击后打开。工艺运行结束返回待机（手动状态），所有阀门后流量状态也返回工艺运行前的状态。通过单击流量计图标，弹出流量设定窗口，可以设置待机状态下的流量。小N2的流量设定后不会马上到达设定值，大约需要8秒时间缓慢到达（缓启动），避免源瓶爆炸或三氯氧磷沸腾，从出气管排出。图2.4.1操作提示：在自动运行状态下，手动操作被禁止。操作提示：手动输入时，系统会自动检查输入数值
8、是否在规定范围内，如果不是规定数值则弹出提示框。 图2.4.1青岛赛瑞达设备制造有限公司62.5 推拉舟(机械手)及炉门状态显示图2.5.1 机械手机械手：水平位置、垂直位置、手动进速、手动退速、进限位、退限位、升限位、降限位、抬头限位、低头限位、极限位。炉门：旋开限位、旋关限位、开门限位 、关门限位手动进速、手动退速：实时显示舟水平运行时的速度，单位 mm/min；单击显示栏弹出舟速设定窗口，可以随时修改舟速，通常设为 500，不易过快。过快容易产生振动，或快速受热或冷却，造成硅片破碎。水平舟位：实时显示舟水平位移，零点为舟的进限位(炉门侧)；垂直舟位：实时显示舟垂直位移，零点为下限位开关处
9、。舟状态：实时显示舟的运动状态：停止，取舟，放舟；闭管软着陆扩散炉，机械手结构复杂，调试不易掌握。通过检查限位开关的状态可以快速诊断故障。2.6 调试窗口放舟：启动一个完整的放舟动作。启动条件：机械手在后限位，上下位置在高位，抬头限位被接触，炉门关闭（关门限位，旋关限位被接触） 。取舟: 启动一个完整的取舟动作。启动条件：机械手在后限位，上下位置在低位，低头青岛赛瑞达设备制造有限公司7限位被接触，炉门关闭（关门限位，旋关限位被接触） 。上升：机械手上升。启动条件：炉门打开（开门限位，旋开限位被接触）下降：机械手下降。启动条件：炉门打开（开门限位，旋开限位被接触）前进：机械手前进。启动条件：炉门
10、打开（开门限位，旋开限位被接触） ；后退：机械手后退。启动条件：炉门打开（开门限位，旋开限位被接触） ；停止：停止所有机械手动作；抬头：SiC 浆抬头。启动条件：炉门打开（开门限位，旋开限位被接触）低头：SiC 浆低头。启动条件：炉门打开（开门限位，旋开限位被接触）旋开、旋关：炉门在垂直石英管的平面运动。启动条件：机械手后限位被接触，水平舟位大于 2300。开门、关门：打开石英门和关闭石英门。启动条件：旋关限位被接触，机械手后限位被接触，水平舟位大于 23002.7 工艺控制右侧界面显示有“启动工艺” 、 “结束工艺” 、 “工艺保持” 、 “工艺跳转” 、 “工艺保持” 、 “发送工艺”几个
11、按钮。1) “启动工艺”：单击“启动工艺” ，进入如图 2.7.1 所示的界面，选择“是”进入 2.7.2 所示界面。修改工艺启动步号（工艺从第几步开始执行，跳过前面几步执行 ） ，输入产品批号（默认情况下，批次自动加 1） ，然后单击“确定”退出即可开始执行工艺。图 2.7.1青岛赛瑞达设备制造有限公司8图 2.7.22) “结束工艺” ：单击“结束工艺” ，系统会提示是否确定要结束工艺，选择“是”后将结束工艺的执行，不管工艺有没有执行完毕。3) “工艺保持” ：单击“工艺保持” ，控制系统会停留在当前步，保持当前的状态。 “工艺保持”按钮显示绿色，要继续工艺再次单击。4) “工艺跳转”： 单击“工艺跳转” ，弹出工艺跳转对话框，选择要跳转的步号，然后“确定”即可跳转到选择的工艺步，也可点取消放弃跳步。图 2.7.3青岛赛瑞达设备制造有限公司95） “工艺发送” ：单击“工艺发送” ，弹出工艺文件选择对话框，如图 2.7.4.单击要发送的工艺名称，然后单击“发送”按钮，也可点击“取消”按钮放弃操作。 注意：当工艺修改后，需要重新编译，然后“发送”到下位机。图 2.7.43 .工艺管理3.1 窗口介绍“工艺管理”窗口可显示、编辑各炉管的工艺(Recipe)。
