1、C.1.3 洁净室墙C.1.3.1 描述及地点 洁净室的墙壁将围绕第一阶段过程区域的周长在 TFT110 级装，TFT2 水平 40，CF60 级洁净室和 1 阶段支撑区域（10 级，20，40，60） 在这些地区的部分洁净室隔板应为回风竖井创造空间。 洁净室的墙壁应进一步分离的地区，不同的洁净室类。 洁净室的分区将是整个高度，气密模块化的墙壁。壁会附着在底部的活动地板和天花板更新系统在顶部。它们应包括跟在该固体和玻璃面板的安装水平和垂直分布的框架。分区应提供灵活的连接，以避免天花板网格，分区之间振动。 洁净室里面的隔板应容易拆卸和多变通过其模块化结构。所有这些面板应为可拆装不损坏建筑或材料。
2、 在外围分区应从系统的直板墙与铝蜂窝充填或单面洁净室钉墙系统来构建。 隔板应是稳定的和刚性的，而不受穿透。当拆卸面板，其余的分区的稳定性将不会受到影响。每个分区应适合为 600mm 的网格，或整数倍，以配合天花板和高架地板网格系统。 墙板将由涂层钢板 RAL 色（颜色 RAL9010，须经批准）制成，具有导电表面和或导电窗口面板。整个洁净室隔墙系统应接地。 墙壁和窗户的电阻值110 和110 ，所有表面的静电为 500V。 产品规格，设计数据和元件的描述将投标包的一部分。 对于 perimerter 洁净室墙壁允许制造商： TOPLINE / TENRYO / RITTERWAND对于内饰洁净
3、室墙壁允许制造商： TOPLINE / TENRYO / RITTERWANDC.1.3.2 组件说明C.1.3.2.1 组成部分周边洁净室墙壁的说明C.1.3.2.1.1 实心板详细描述： 1，钣金材料厚度：0.6 - 0.8 毫米 2，由铝蜂窝充填 3，表面处理粉末喷涂（RAL9010 色，待批准）上的导电涂层洁净室的一面。 4，表面处理必须平整，清洁的，不易燃，免维护，无颗粒产生。 5，面板宽度必须 900 毫米或者静态允许 1200 毫米。 6，面板厚度必须 50 毫米 7，间隙填充由无硅进行密封，并应在两侧墙上安装。 8，提供灵活的连接，以避免天花板网格，分区之间振动。9，隔板应是稳
4、定的和刚性的，而不受穿透。当拆卸板，其余的分区的稳定性将不会受到影响。 10，每个分区应适合为 600mm 的网格，或整数倍，以配合天花板，并提出地板网格系统。11，整个洁净室的隔断系统应接地。 12，墙壁电阻值110 和110 ，静电 500V 的所有表面。 13，规格，设计数据和元件的描述将投标包的一部分。对于 perimerter 洁净室墙壁允许制造商： TOPLINE / TENRYO / RITTERWANDC.1.3.2.1.2 洁净室墙类型 ：隔壁的类型，可分为以下几种类型：单面导电只能在洁净室侧，实心板C.1.3.2.1.3 周边洁净室墙施工细节：周边洁净室墙壁安装在混凝土或建
5、筑墙体门和百叶窗的连接：提供“管道”做干净的房间周边分区靠近门安装在混凝土或建筑墙体。设计管道不超过门间隙小于净间隙。停止与管道不超过安装在混凝土或建筑墙体门 100 毫米以内。从洁净室外围分区隧道四面提供间隙盖安装在混凝土或建筑墙体门框。使用 SUS 钣金缝隙覆盖。表面光洁度必须刷。提供 SUS 金属板材合适的材料厚度，但不低于 1.0mm 以上使用硅酮密封胶自由关闭 SUS 薄板金属板之间的间隙和外围洁净室分区和门的门框安装在混凝土或建筑墙体。围绕柱外围隔墙晶圆厂，并在所有洁净室技术支持建设的洁净室内 级别： 没有划分的要在无尘室中绕柱安装。 提供由橡胶或不锈钢薄板从地面至 2000mm
6、高度的边缘保护。 切高架地板面板的列匹配。 插入特殊天花板格栅相思收天花板网格和列之间的差距小于 10mm。 使用硅密封胶自由密封在绕柱轮廓天花板 10mm 的间隙。集成消火栓箱、火灾报警面板,火警推按电气插头或空气格栅变成周边隔断墙:提供切出为相关厂商做了分区标记。 由于切出由所有切割和当前洁净室施工阶段的工作规则。安装 u 型铝合金型材加强开放在开放。之后，相关的项目或应用程序安装密封用硅密封胶自由的差距。安装洁净室周边与无高架地板或建立天花板区域分区： 提供高度可调节调平装置在地板上，如果无尘室的围墙是无高架地板安装的地区。 提供高度可调节调平装置在天花板上，如果无尘室的围墙是不洁净室吊
7、顶安装领域。 密封洁净室周边壁以及建筑物的地板或天花板与墙壁的两侧无硅密封胶之间的差距。利用回风格栅： 洁净室地区无高架地板都需要使用回风格栅。 回风格栅不大于 3 米/秒表面速度。 提供格栅充足数量。 格栅 1100 x 500 毫米的最大尺寸。 为每个网格以及可调快门（缓冲器） 快门（缓冲器必须安装在格栅的背面侧，但必须从该前侧操作。 钢制格栅，所有表面必须涂上。C.1.3.2.2 洁净室墙壁的组成部分内饰说明C.1.3.2.2.1 实心板 详细描述： 1，钣金材料厚度：1 - 1.5mm 的 2，表面处理粉末喷涂或盘绕涂层（颜色 RAL9010，待批准）与该分区上的两侧导电涂层。 3，表
8、面处理必须平整，清洁的，不易燃，免维护，无颗粒产生。 4，面板宽度必须 1200 毫米。 5，面板厚度必须分钟。 50 毫米 6，框架由铝挤压型材，阳极氧化处理，具有垂直调平装置。7，提供灵活的连接，以避免天花板网格，分区之间振动。 8，隔板应是稳定的和刚性的，而不受穿透。当拆卸面板，其余的分区的稳定性将不会受到影响。 9。每个分区应适合为 600mm 的网格，或整数倍，以配合天花板和高架地板网格系统。 10，整个洁净室的隔断系统应接地。 11，墙壁电阻值110 和110 ，静电 500V 的所有表面。 12，洁净室内部的分区必须易于拆除和多变通过其模块化结构。所有这些板必须是可移动而不损坏结
9、构或材料。 13，规格，设计数据和元件的描述将投标包的一部分。 14，门或窗的导电板必须被集成在隔墙系统。对于内饰洁净室墙壁允许制造商：TOPLINE / TENRYO / RITTERWAND玻璃： 透明有机玻璃，导电性，黄色的有机玻璃，导电性所有玻璃面板必须具有对内饰隔墙板或接地系统釉电阻值110 和110 导电连接，静电荷 500V 在所有表面。 对于内饰洁净室墙面玻璃面板允许制造商：Sekisui / Staticon / Localc.1.3.2.2.3 洁净室壁类型：隔墙类型可分为以下类型：双面无玻璃，导电两侧，高度超过 3000mm 建立如下：达 2400mm 实心板2400mm
10、 到天花板的实心板双面导电玻璃，两侧的，建立一个如下：高达 1200 实心板1200mm 为 2400mm 丙烯酸玻璃面板2400mm 到天花板的实心板和以前一样，但黄色丙烯酸玻璃板双面，导电，固体板的高度低于 3000mm对于内饰洁净室墙壁允许制造商：TOPLINE / TENRYO / RITTERWANDC.1.3.2.2.4 内饰洁净室墙施工细节： 集成储料器，设备，外壳，FA/ AMHS 等进入内饰洁净室隔墙： 以不超过 20 毫米的间隙提供内饰洁净室隔壁周围收存器，设备，外壳， FA / AMHS 等。 收容器，设备，外壳，FA / AMHS 等之间的连接必须由聚氯乙烯板，SUS
11、板或其它合适材料的方法来实现。 由于切出由所有切割和当前洁净室施工阶段的工作规则。C.1.3.3 洁净室门 门将完成机构级液压关闭提供锁和关闭所有门除了风淋室 zylinder 门。关键系统由客户确认，并可以由区域和区域而有所不同。C.1.3.3.1 门类型 洁净室的门可以分为以下几种类型： C：单门翼 A：双门翼 E：单翼推拉门 G：双翼推拉门 MD：维护门玻璃的颜色和大小，防火等级的分区布局显示。玻璃必须在每个机翼提供。在门玻璃的位置和颜色应符合玻璃隔墙。允许制造商的洁净室的门：RITTERWAND / Tenryo / T oplineC.1.3.3.2 防火门防火门必须定义和规定。防火
12、等级将是 2 小时，根据 CNS 或 BS 在它的最新标准。防火门，尤其是在楼梯必须密闭与周围的叶片橡胶密封条。防火卷帘必须适合承受高风荷载为发生在极端天气条件下。 凡曾经防火门安装在 villaboard 墙壁或任何种类的墙比纯混凝土打火机，加固是必要的。 强化消防评价者门：提供 U 形加固通道，安装在所述门框架的所有三条边。 材料厚度不小于 3mm 通过在别墅板或轻质墙体连接的螺栓连接 使用镀锌钢或不锈钢材料防火卷帘式卷帘门在洁净室相关的布局安装分区。洁净室分区不足以确定的卷帘门负载。所以一个单独的结构已被提供以加载。提供坐落在水泥地上，并连接到建筑物的天花板结构列管式钢架。采用列管式钢不
13、小于 1001004 毫米。与在钢框架的工作槽螺栓连接安装卷帘门式快门。 使用镀锌或 SUS 材质。 洁净室的墙体全部施工细节，如本节前面所述，适用。为防火洁净室的开门允许制造商：RITTERWANDOptional to be quoted in addition Tenryo / Topline为防火楼梯的门允许制造商：HONLY/HOU CHANG对防火卷帘允许制造商：FU CHINC.1.3.4 分区设备机箱 更高的洁净室的指定区域，工艺步骤的污染敏感需要使用分区设备外壳。 如需详细的布局请参考价值的相关图纸。 两种不同的外壳都适用： 例正常外壳，从天花板到工具 高大的机箱，从天花板到
14、地板C.1.3.4.1 普通机箱 这个包准备估计的时间，因为外壳的确切高度是不确定的， 平均高度已被使用，以确定正常的机柜的总数量： 估计平均机箱高度 TFT1：2500 毫米 估计平均机箱高度 TFT2：2500 毫米 估计平均机箱高度 CF：2000 毫米详细描述:1。布局和最后的外壳必须得到客户确认。外壳必须遵循设备布局。2。提供铝框架由阳极电镀铝系统配置文件。3。使用标准的连接器连接外壳的上限。4。框架必须严格稳定在所有方向只有被附加到天花板,没有安装玻璃面板。5。外壳底部连接到设备或设备供应商提供的外壳。6。用玻璃制成透明 PVC 厚度不少于 3 毫米。7。玻璃电阻1 x10和1 x
15、10,表面静电 500 v。8。所有的玻璃面板必须有一个导电连接铝框架或接地系统。9。根据客户要求提供门和开口于正常机箱。10，正常的安装外壳被 EQ-move 后完成的。11，提供足够的安全预防措施，以避免在安装过程中有任何影响到所有的 EQ。 12，适用所有的洁净室的切割规则。13，提供最后的清洁 pior 给客户批准，performend 用紫外光。对于分区外壳玻璃面板允许制造商：SekisuiGriffin对于分区外壳铝框架的工作允许制造商：FormusRitterwandC.1.3.4.2 高机柜 高大的机柜达到从天花板到地板上。因此高度根据天花板的布局。精确的高度已被用来确定高机柜
16、的总数量。详细说明： 1，外壳的最终布局必须由客户确认。外壳必须遵循的设备布置。 2，充足的机柜标识由客户 pior 安装完成。 3，提供由阳极氧化铝系统正型材铝框架的工作。 4，使用标准的连接器连接到外壳在天花板和地板连接。 5，框架必须是刚性的，稳定的在所有方向。特别是考虑到的最大值高度 8600 毫米高大的外壳。6，对于 1200 毫米和 3600 毫米使用面积之间的玻璃由透明的 PVC 具有不小于 3mm 的厚度。7，所有剩下的区域可能使用实心板制成具有不小于 3mm 厚度的铝复合板材。 8，门窗玻璃和坚固的面板必须是导电的涂层。电阻应 110和110 ，静电 500V的所有表面。 9
17、，所有的玻璃和坚固的面板必须有铝框工作的导电连接或接地系统。 10，在根据客户要求高机柜提供门开放。11，允许设备控制中心的机架在高大的机箱内 integratetd。 12，安装在高大的外壳被后或 EQ-搬进去完成 13，提供足够的安全预防措施，以避免在安装过程中有任何影响到所有的 EQ。 14，适用所有的洁净室的切割规则。 15，提供最后的清洁 pior 给客户批准，performend 用紫外光。对于分区外壳玻璃面板允许制造商：SekisuiGriffin对于分区外壳铝框架的工作允许制造商：FormusRitterwandC.1.3.5 非洁净室隔墙 在机械室某些领域需要分区外壳。如需详
18、细的布局，请参阅相关图纸。 详细描述：1。Povide 隔墙制造聚氨酯面板中。2，厚度不小于 50mm。3，聚氨酯板，两侧涂铝盖片，面板厚度不小于 0.6mm 少4，安装 partititon 形式混凝土/高架地板的金属甲板天花板5，提供铝 u - 通道作为地面基地和天花板连接6，提供铝 L - 通道作为掩护的角落。7，提供切口对所有结构（特别是，但不限于天花板/建筑支撑梁） 。8，完成切出采用金属板盖，留下小于 10mm 的间隙穿透结构。9，提供在墙上两侧的金属板盖。 10，密封所有缝隙和关节用硅酮密封胶的费用。 11，提供加强结构取决于壁的高度。 12，如果 PU 墙的高度超过 5000
19、毫米。C.1.3.6 隔离墙第一期至未来阶段 无论洁净室系统很可能被延长到第 1 阶段区域划分为未来阶段提供了一个密闭的隔离墙沿着整个边界，以保护第一阶段工作在影响未来阶段。 提供隔离墙规格如下：1，密闭。 2，即使在地震条件 Latererally 稳定。 3，适用于阶段 1 和阶段的未来之间 80Pa 压差。 4，分离 - 从墙壁地板副厂到桁架的顶部。 5，为所有的渗透系统（机械和电气）提供切口。 6，根据密闭规范渗透后关闭所有的切口。分离壁由以下几部分组成：1，副厂楼到华夫表或 steelstructure 顶：按照章节 C.1.3.2.1.1 描述使用纸质或铝蜂窝分区从第一阶段到未来阶
20、段使用临时 PVC 门帘 devider 与加固施工期间。2 顶华夫表高架地板的底部：按照章节 C.1.2.2.6 描述使用空气屏障从第一阶段到未来阶段使用临时 PVC 门帘 devider 与加固施工期间。3，高架地板的洁净室天花板下方。： 使用蜂窝或内饰洁净室分区在 C.1.3.2.1.1 和 C.1.3.2.2.1 章描述了使用临时 PVC 幕 devider 钢筋框架分离阶段 1 和阶段未来的施工。4，顶部的洁净室吊顶上部结构梁的顶部。： 按照章节 C.1.3.2.1.1 描述使用纸质或铝蜂窝分区 按照章节 C.1.1.2.7 描述的替代空气阻隔可以使用了。C.1.3.7 相关图纸 A
21、L.LB1.411 洁净室墙系统，B1 级 AL.L10.411 洁净室墙系统，10 级 AL.L20.411 洁净室墙系统，20 级 AL.L30.411 洁净室墙系统，30 级 AL.L40.411 洁净室墙系统，40 级 AL.L50.411 洁净室墙系统，50 级 AL.L55.411 洁净室墙系统，55 级 AL.L60.411 洁净室墙系统，60 级 AL.L70.411 洁净室墙系统，70 级 AL.L10.311 FFU 布局，等级 10（用于机箱分区布局） AL.L40.311 FFU 布局，等级 40（用于机箱分区布局） AL.L60.311 FFU 布局，等级 60（用于机箱分区布局）AD.SXX.311 年典型空气隔离墙的细节
