1、 玻璃基板簡介玻璃基板的結構玻璃基板的制造流程簡介玻璃基板的具體流程簡介制程DEFECT發展趨勢一.玻璃基板的結構玻璃基板由CF和TFT兩部分組成,如圖:上偏光板上玻璃顏色區保護膜ITO共用極ITO顯示電極液晶補價電容下偏光板反射板棱鏡板導光板光擴散板間隙粒子電晶體框膠區異方性導電膜驅動ICTAB印刷電路板 黑 色框罩背光燈管二,.玻璃基板的制造流程簡 介TFT-LCD的整個制程一般可分為三個階段即TFT陣列基板形成階段,TFT-LCD之 形成階段及LCD模組形成階段,如圖,而我們最主要講的是玻璃基板形成之階段 薄膜制程 RGB膜涂布 鍍BM膜 T 5-7 R CF 道 黃光制程 G RGB
2、圖樣 黃光制程 FT 光 B 制制 罩 蝕刻制程 RGB顯影 蝕刻制程 程程 TFT測試 檢 視配向膜涂布及刷磨TFT及CF封准組合切割裂片液晶注入上下偏光板 合LCD電測 檢LCD制程FPC 封膠及背光 組 LCM檢測LCM制程三.玻璃基板的具體流程 TFT陣列 基板形成階段TFT array之制程主要 ,成膜,而 黃光制板, 蝕刻制程形成 要的圖樣, 光罩 而 制程, 制程 要 的玻璃基板 鍍 鍍上一 , 用黃光及蝕刻制程形成極,區圖樣, 玻璃基板 光 , currency1薄膜區電“fifl 形成用 主動區, 一列的 . currency1薄膜區fifl 上形成TFT區保護 ,”, 鍍上
3、一 膜(ITO), 用黃光及蝕刻區制程形成 區圖樣而 制程 currency1 TFT蝕刻制程為主要.TFT的結構 , ,極fl 的 ,可分為 ,如圖, TFT是currency1反 結構為主,而 構造簡 及制程容 TFT制造 用, 由 制程 異分為:1)道蝕刻TFT,2) 護TFT 為三 結構TFT.TFT的制 流程 是蝕刻 道 的N 晶.currency1形成極可制的道, 一般是蝕刻 ,而造成 電流的 可 道 容 造成 .的TFT結構示圖共 反 gatesourcedraindrain sourcegatedrain sourcegatedrain sourcegateTFT-LCD玻璃
4、成 制程 , 配合上 一擤具 紅,綠,藍彩色濾光膜的玻璃, 配向膜刷,配向處理,間隔 的涂布及上框膠之 行兩片玻璃上下封組,切割裂片磨邊導, , 行液晶注入及封口,最 檢及電測,其 最重要的如下:1)配向處理 用的配全處理方 是刷磨處理,主要是currency1捲 滾軸的絨布刷磨燒制 的配向膜,使液晶分子 預 朝一定方向的方 .2)間隔 的洒布的是為了獲 均勻的液晶厚度, 分散的密度高的話可currency1 到較均勻的CELL GAP,若間隔 光 會降低品質,反之,間隔 分散度越低 便無均勻的CELL GAP,”會影響品質. 此適均勻的間隔 洒布重要, currency1洒 散布 較容 制密
5、度, 要 做好洒上間隔 ,固上框膠 才可currency1 行CF及TFT的封准組合.TFT-LCD之形成階段3) 板切割currency1TFT與CF的封准組合 currency1超硬質鋼刀滾輪切割 裂的方 到每一片 板.currency1 外 ,小及模組外 的狹框,薄 的發展,currency1超硬質鋼刀無 潢足要求,currency1 currency1雷射切割的方 .4)液晶注入I 玻璃 上用外框固定好,用直下 的方 注入液晶注入液晶 ,應注避免造成spacer broken及spacer聚集.)II 讓CELL內部真空 , CELL的液晶注放口浸入液晶槽 , currency1氮 破真空的動 ,內外 力與毛細現會使液晶注入CELL內部當液晶注入 的形狀及排列方 液晶分子CFTFT 電 候液晶的排列方 :液晶分子TFTCFSpacer broken:是注入液晶 ,液晶顆粒,兩片玻璃 合 生破裂.Spacer聚集:注入液晶 ,液晶 顆的” 小顆,由 液晶太小 槽 會滾動,幾顆碰到一起就形成了Spacer聚集.5) 檢及電測液晶CELL工程主要的檢查是液晶注入 的配向檢查,初期點燈檢查與最終檢查而 些檢查都是currency1 視 行.LCD模組形成階段模組制程包括戲動晶片玻璃基板的連,可燒 印刷電路, ,封膠, 與背光 組 及檢測.
