1、安全教育,安全教育,目的,增强安全知识提高安全意识防止意外发生,应急逃生,工厂内会在墙壁底部,贴装有紧急出口指示牌，或在通道上方悬挂紧急出口指示牌，当发生紧急状况的时候，应按照指示牌，寻找最近的出口逃生。（紧急出口指示牌一般是荧光的，或自带点亮电源的，防止突然停电后，在无照明的情况下，可以引导人员撤离）现场发生紧急状况需要撤离时,应以最快速度通过最近的安全出口,不必跑回二次更衣室更换衣服.撤离出净化室后,到公司安全应急演练时集中的安全地带集合,清点人员,以确定是否还有同事滞留在净化室内.,EMO,EMERGENCY OFF,非常停止开关,现场设备上面有很多类似于右侧照片中的开关按钮，该开关在突
2、发状况时（如设备线路老化冒烟、起火，设备水管大量漏水、设备传片异常即将造成碎片等）按下，可导致整个机台断电、所有气动阀关闭，给设备和人员以最快速度的安全保护。,洗眼器,眼睛进入化学品，应立即进行冲洗，特别是碱性药品比酸性药品还要可怕，所以，必须争分夺秒！洗脸要用大量的水，冲洗15分钟左右，洗眼睛时，要用手撑开眼皮冲洗。绝对不能使用中和剂，同时注意水压不要过高。,冲淋器,灭火器,二氧化碳灭火器主要用于扑救贵重设备、档案资料、仪器仪表、600伏以下电气设备及油类的初起火灾。在使用时，应首先将灭火器提到起火地点，放下灭火器，拔出保险销，一只手握住喇叭筒根部的手柄，另一只手紧握启闭阀的压把。对没有喷射
3、软管的二氧化碳灭火器，应把喇叭筒往上扳7090度。使用时，不能直接用手抓住喇叭筒外壁或金属连接管，防止手被冻伤。在使用二氧化碳灭火器时，在室外使用的，应选择上风方向喷射；在室内窄小空间使用的，灭火后操作者应迅速离开，以防窒息。,灭火器使用方法,1、手提式1211灭火器使用方法： 使用手提式1211灭火器时，应首先拔出安全销，一手紧握压把，压杆即能 将封闭阀打开，1211灭火剂就能通过弘吸管，由喷嘴喷出。松开压把，喷 嘴封闭，停止喷射。使用时应注意保持直立位置，不可水平或颠倒使用， 还应注意将药剂喷向火焰根部，由近及远，快速向前推进；要防止回火复 燃，零星小火则可采用点射。如遇可燃液体在容器内燃
4、烧时，可使1211灭 火剂的射流由上而下向容器的内侧壁喷射。如果扑救固体物质表面火灾， 应将喷嘴对准燃烧最猛烈处，左右喷射。同时人应站在上风口。2、推车式1211灭火器使用方法： 使用推车式1211灭火器时，应取出喷枪，放开胶管，拔出安全销，开启钢 瓶阀门，拉出伸缩杆的导管，握紧手握开关压把，药剂即能喷出灭火。放开 开关压把，药剂就停止喷射！,二氧化灭火器碳使用方法,二氧化碳灭火器主要用于扑救贵重设备、档案资料、仪器仪表、600伏以下电气设备及油类的初起火灾。在使用时，应首先将灭火器提到起火地点，放下灭火器，拔出保险销，一只手握住喇叭筒根部的手柄，另一只手紧握启闭阀的压把。对没有喷射软管的二氧
5、化碳灭火器，应把喇叭筒往上扳7090度。使用时，不能直接用手抓住喇叭筒外壁或金属连接管，防止手被冻伤。在使用二氧化碳灭火器时，在室外使用的，应选择上风方向喷射；在室内窄小空间使用的，灭火后操作者应迅速离开，以防窒息。,耐腐蚀橡胶手套,耐腐蚀胶靴,耐腐蚀围裙,空气呼吸器,防尘面罩,防溅面罩,石棉手套,常用的防护用品,警告标志,警告标志,警告标志,警告标志,警告标志,警告标志,警告标志,警告标志,警告标志,警告标志,易燃气体,腐蚀品,当 心 微 波,当 心 触 电,触电危险维修前应关闭电源，否则接触可能导致严重的伤害或死亡,化学品-国际标识（菱形图标签）,安全注意事项,1、严格遵守设备操作规范，避
6、免误操作引起不必要的异常。2、认真学习部门安全文件，以便在紧急状况下遇事不忙乱。3、保持设备通道特别是消防通道畅通，熟悉环境，正确使用防护用品。4、使用化学试剂应严格执行化学品安全管理规定，避免皮肤接触、吸入造成伤 害。5、在设备维修时应集中注意力，胆大心细，牢记安全第一，尽力排除故障。6、修理电气故障时应切断电源，不准带电插拔线路板，必须带电测量时，应注 意安全，在修理中应特别注意大于36V的不安全电压触及会伤害生命。7、电气部件的替换应符合替代原则，如耐压、功率等因素，避免电气火灾发生。8、维修时涉及到机械传动部分，应避免轧伤手指或传动部件运动中有异物进入 而损坏传动部件。9、清洗备件时应
7、戴好保护用品。10、设备出现故障后应分析原因，在作出判断后确定修理方案，避免急于盲目 动手而损坏设备。11、设备报警后，应彻底查明原因，修理后，再开动设备。注意设备的各种危 险标志，了解各机台的EMO位置，紧急情况下按下EMO。12、设备修理部件组装中，避免导电部件落入电气控制箱中，或电气接口部位。 引起短路，损坏电气部件。,安全电压,安全电压，是指不致使人直接致死或致残的电压。常说的安全电压，是指36伏以下的电压。因为人触电时，电流是造成伤害的直接因素，电流越大，伤害越严重。 经验证明，通过人体的电流超过50毫安时，触电伤害会危及人的生命，并且触电人不容易自己脱离电源。 人体的电阻一般在80
8、0欧姆到10000欧姆之间。按800欧姆计算人体的电阻，通过50毫安的电流，要在人体上加40伏的电压。因此，在一般情况下规定36伏以下的电压为安全电压。 但应该注意的是，人体的电阻在某些情况下会急剧下降。如工作场所非常潮湿或有腐蚀性气体；人流汗或被导电溶液溅湿；有导电灰尘等。这时36伏也并不是安全电压，而规定加在人体的电压不超过12伏，所以12伏电压称为绝对安全电压。,硅片清洗,氧化,离子注入,光刻,刻蚀去胶,扩散,CVD,CMP抛光，溅射减薄,酸废气、氟废水,尾气,有机废液,有机废水、尾气,酸废气、氟废水、尾气,尾气、氟废水,碱废水，氨废水,HF、NH4 O H 、HCl、有机溶剂、纯水,O
9、2 、N2 、H2 、C2H2Cl2,BF3 、PH3 、AsH3,光刻胶、EBR、HMDS、显影液,湿法：BHF 、HF H3PO4、 H2SO4、H2O2、干法：CF4、CHF3、SF6 、N2 Cl2、HBr、Ar、C2F6、O2、BCl3、NH3 、H2O、丙酮、HCl、HNO3、CO2,B2H6、PH3、AsH3等,O2、SiH4 、N2、WF6、TMB、TMP、TEOS、C2F6、HF,SLURRY、NH4OH,生产工艺流程,厦 门 集 顺 半 导 体 有 限 公 司,化学试剂安全使用方法,1、工作中涉及到化学品、有毒有害物品的都应穿戴好防护用品。防护用品穿戴 前一定要仔细检查，合
10、格后方可穿戴。 2、大瓶化学试剂，不能用手直接抱，以免化学试剂容器翻掉打碎。 3、大瓶浓酸必须放在专用的柜子内。用过化学试剂的瓶子，应立即将盖子盖紧。4、放酸的柜子内，严禁放有机试剂及其它易燃易爆、相互抵触的化学试剂。 5、易燃有机试剂不得与热源放在一起，或存放在同房间内，应保存在封闭的专 用金属箱内。,化学试剂安全使用方法,6、工作间内，只允许有限于当班次使用的有机试剂量，多余的有机试剂一律放 在规定的储存柜内。7、有机试剂严禁明火加热，使用热板电炉加热，应事先向公司安环卫报告、备 案，落实安全措施后，才可实施。8、严禁在同一通风柜内操作与有机试剂相互抵触的其它化学试剂，以免引起燃 烧爆炸。
11、9、严禁两人同时在有机试剂柜内操作，严禁操作有机试剂时擅自离开工作岗位。10、处理大量易燃有机试剂（超过500毫升）时，应在没有热源房间内，同时 需打开排风。,化学试剂安全使用方法,11、有机试剂一律进行分类回收，回收应在远离热源、通风良好处进行，严禁 在热源附近回收，严禁把有机试剂倒入下水道。 12、用有机试剂脱水的物品，在进烘箱前必须在无火源的通风柜内，将有机试 剂挥发干净，才能放入烘箱，并开动烘箱风扇。13、严禁有机溶剂与酸碱强氧化剂抵触，以免引起剧烈的化学反应而造成爆炸 和火灾。14、有机试剂使用后，必须将瓶盖盖紧，以免室内浓度过高而发生中毒、爆炸 事故。 15、在有机试剂加热处，应备
12、有消防器材，如1211灭火器等。,化学试剂安全使用方法,16、打开酸碱包装时，容器开口不准对准面部，也不准对准他人，以免液体溅 出，受到伤害。17、稀释酸时，应将酸倒入水中，而且要边倒边搅，以免热量过分集中，溅出 伤人，严禁将水倒入酸中。18、在用酸碱清洗或配制酸及酸腐蚀液时，必须在通风良好的通风柜内进行。29、若有酸碱溅在皮肤或衣服上，应立即用大量水冲洗。在厂房外，酸碱流到 地上，应用干砂或吸液棉吸收，然后收集到指定地点，用中和物中和后废 弃。20、热废酸碱不应立即倒入冷水槽中，更不应该倒入含有有机试剂的水槽中， 特别是硫酸、硝酸，应冷至室温后，才能倒入水槽中，并边道边用大量自 来水冲洗干净
13、。,易燃物品泄漏处理方法,1、如泄漏的药品是乙醇、甲醇、丙酮等时，可以使用纤维纸、抹布吸收擦拭干 净，然后用适量的水冲洗一下，擦干净。严禁将废弃的易燃液体倒入下水道 中。2、所有液体都能挥发，而易燃液体还具有流散的特性，其气与空气混合能形成 爆炸性混合物，从而造成重大事故。此类事情绝对禁止发生。3、易燃性废物（如浸有易燃物的纤维纸、抹布等）不能随意丢弃，应收集后放 在指定位置，集中处理。（CVD氮化硅腔体管道粉尘遇水会燃烧，该粉尘不 能随便乱丢）,酸类泄漏时处理方法,1、可以先用化学吸液棉吸收，然后用中和剂（如苏打水）进行擦洗，打扫干净。 或者将中和剂直接投入泄漏的酸液中进行反应，使其变成酸盐
14、成分，再打扫 干净，最后用适量的水擦洗干净。（带好防护用品）2、如果是容器破裂，首先应将破裂的容器进行处理，防止试剂从容器中继续流 出。如果是设备出现泄漏时，应及时报修。3、浸有酸的废弃物应及时放入指定垃圾袋中，扎好袋口，做好标识，及时送出 净化间处理！,碱类泄漏时处理方法,1、可直接用化学吸液棉擦干净，然后用醋酸中和后擦拭干净。（注意带好防护 用品）2、如果容器破裂，首先将破裂的容器进行处理，防止试剂从容器中继续流出， 如果是设备泄漏，应及时报修。3、浸有碱的废弃物应及时放入指定垃圾袋中，扎好袋口，做好标识，及时送出 进化间处理！,沾染到药品时的处理方法,1、药品沾到手、脚等皮肤上时，应立即
15、用大量的水冲洗15分钟左右，即使沾到 衣服或头发上时，也必须迅速用水冲洗。穿尼龙长筒袜时，不要脱下，直接 用水冲洗。应急处理后，要接受医生的治疗。2、整个身体沾上药品时，应立即脱下衣服，通过淋浴，用大量的水冲洗，穿尼 龙长筒袜时，不要脱下，直接用水冲洗。应急处理后，要接受医生的治疗。3、进入眼睛时，应立即冲洗。特别是碱性药品比酸还要可怕，所以必须争分夺 秒，洗脸要用大量的水冲洗15分钟左右，在洗脸时，要用手撑开眼皮冲洗。 洗脸时绝对不能使用中和剂，同时还要注意水压不要太高,应急处理后,要接 受医生的治疗。4、手脚烧伤时，要用水冲洗冷却，产生水疱时，不要弄破，用冷水降温后，请 医生治疗。穿尼龙长筒袜时，不要脱下，直接用水冲洗。应急处理后，要接 受医生的治疗。,应变要求,1、必须知道逃生应急门在哪里!2、必须知道设备EMO确切位置！3、必须知道洗眼器和冲淋器在哪里、怎么使用、冲淋过后的后续处理！4、必须知道空气呼吸器在那里、如何使用！5、必须知道灭火器在哪里、如何使用？6、必须知道如何和消防队联系，火警电话是什么！7、必须知道防护用具在哪里！如何使用！8、必须知道疏散路线图！及疏散后集合地点!,THANKS!,
