1、 真空泵：一、 概要：真空泵是获得真空的设备，根据自身极限真空的能力将真空泵分为低真空泵和高真空泵。表 1.对常用真空泵进行了分类归纳。表 1.常用真空泵的分类：分类 极限真空 应用卷泵（Scroll pump） 7.510-3Torr CD-SEM油回转泵（Oil sealed rotary pump）新闻中心 1、真空的定义 真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态。 2、真空度 处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。3、真空度单位 通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
2、1 托1/760 大气压1 毫米汞柱4、托与帕的转换 1 托133.322 帕 或 1 帕7.510-3 托5、平均自由程 作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“”表示。6、流量 单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕升/秒（PaL/s）或托升/秒（TorrL/s）。7、流导 表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。 UQ/(P2- P1)8、压力或压强 气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。9、标准大气压 压强为每平方厘米 101325 达因的气压，符号
3、：（Atm）。10、极限真空 真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经 12 小时炼气，再经 12 小时抽真空，最后一个小时每隔 10 分钟测量一次，取其 10 次的平均值为极限真空值。11、抽气速率 在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即 SpQ/（PP0）12、热偶真空计 利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。13、电离真空计（又收热阴极电离计） 由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。14、复合真空计 由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气10-5Pa。
