车间防静电规定.doc

1、1生产车间防静电规定目录1. 目的 .22. 适用范围 .23. 引用标准 .24. 名词术语 .25. 防静电工作区系统 .26. 人体防静电系统 .57. 职责 .68. 培训 .79. 采购 .810. 文件生效日期 .811. 记录 .812. 附录 .821. 目的1.1. 为避免静电敏感元器件在生产、运输、储存、检测等过程中受到静电释放的影响，从而产生短路、电阻漂移、开路、工作性能退化等不良现象。特建立电子产品制造静电防护技术要求 ，以保证产品品质，增加可靠性，减低不良率，节省产品工时成本，降低维修费用。1.2. 基于电子产品制造静电防护技术要求文件的颁布，提高员工对 ESD 的认

2、识，加强员工自觉防止 ESD 现象之观念，促进生产管理水平之提高。2. 适用范围2.1. 本文适用于所有车间中生产制程及电子元器件的采购、运输、储存、检测过程中的静电防护。3. 名词术语3.1. 静电： 一种处于相对稳定状态的电荷。它所引起的磁场效应可以忽略不计（静电可由物质的接触与分离、静电感应、介质极化和带电微粒的附着等物理过程而产生） 。3.2. ESD：Electronic Static Discharge，原意是指静电释放，即通过带静电区域直接接触或感应而引起的静电电荷在不同电势物体上的转移。后常指静电防护，即避免静电释放的发生。3.3. 静电感应：当带电物体靠近某一介质时，在该介质

3、表面因感应而带电荷，并形成感应电场。3.4. ESDS：Electronic Static Discharge Sensitive，静电放电敏感（的） ，通常用来指静电敏感元器件。3.5. 防静电工作区：由各种防静电设施、器件及明确的区域界限形成的工作场地。3.6. 静电敏感度：Electrostatic Sensitivity，元器件所能承受的静电放电电压值。3.7. 表面电阻/点对点电阻：在与材料的同一侧面相接触的两个规定形状的电极之间，直流电压对于流过的电流的比值。该测量结果以欧姆为单位来表示。3.8. 体积电阻/对地电阻/系统电阻：在与材料的相对两面相接触的两个规定形状的电极之间，直流

4、电压对于流过的电流的比值。该测量结果以欧姆为单位来表示。3.9. 摩擦起电：当使两种材料接触或相互摩擦后分离时，产生静电荷。3.10. 摩擦电压：物体被摩擦后，表面所带静电荷的电压。3.11. ESD 损伤：由静电放电引起的电子元器件性能退化或功能失效。3.12. 消电时间（Decay Time）：一个静电压从其初始值降低到一个给定值（通常是初始值的 10%）所需要的时间。3.13. 注：国际惯例对于小于 1E6 欧姆的电阻使用 10V 电压测量，大于或等于 1E6 欧姆的电阻使用 100V 电压测量。4. 防静电工作区系统4.1. 防静电工作区的划分：4.1.1. 根据 GJB 1649 规

5、定的静电放电电压敏感的静电放电敏感元器件组件和设备的分级. 静电放电敏感产品按敏感度电压被分级为:静电敏感度级别 静电敏感电压（人体模型HBM）I 级 01999VII 级 20003999VIII 级 400015999V根据该项标准的规定，所要求的 ESD 控制大纲一般只包含对 I 和 II 级敏感产品的防护。现按照元器件静电敏感度和生产线实际情况如下：4.1.1.1. 高速器件（如蓝牙耳机等含高频器件的组件） 、较大规模集成电路（如 CMOS 摄像模块）的静电敏感度相对较高, 凡是含这些器件的半成品生产线均定为 I 级；4.1.1.2. 普通器件如 TI 的计算器等，没有用到上述类型器件

6、的产品，则生产这些产品的生产线不需要严格的防静电措施。仅仅是器件的存储和运输，也不需要严格的防静电措施，理由是器件在这个时候没有被操作。把这些生产线或车间定为 II 级；4.1.1.3. 按照上述理由，现规定敏感级别为：级别 区域3I 级 暂无II 级 普通电子产品的半成品包装区域、货仓电子料区域，生产仓，收料仓等4.1.2. 公司内部由黄、黑双色斑马线围起的区域或门口挂有静电标示牌的车间为防静电工作区。4.1.3. 元器件敏感度分级由 QC1 ESD 工程师按后附录 1ESDS 元器件分类酌情分级，并确定。4.2. 防静电工作区基本环境要求4.2.1. 防静电工作区应保持洁净，避免有灰尘堆积

7、或漂浮的状态发生4.2.2. 车间内温湿度的控制结合车间的实际情况定为：区域 温度 湿度装配车间 1525 50%60%维修车间 1525 60%70%4.2.3. 在不对产品造成有害影响的前提下，允许使用增湿设备喷洒制剂或水，以增加环境湿度。4.2.4. 防静电工作区应清楚标明区域界限以及警示标志，见附录 14。4.2.5. 要求使用防静电地板或在普通地面上铺设防静电地垫，并保证有效接地。禁止直接使用木制地板或铺设毛、麻、化纤地毯及普通地板革。4.2.6. 天花板及墙壁建议使用防静电材料制品，一般情况下允许使用石膏制品或石灰涂料，禁止使用普通塑料制品。4.3. 防静电工作区接地系统4.3.1

8、. 应有独立可靠的接地装置，接地电阻一般应小于 10 欧姆，为保证人员安全，在与人员直接接触的地方应加装 1 兆欧姆限流电阻。接地线的要求如下：接地线 截面积 接地电阻 要求接地总线 不小于 100mm2 的铜制导线 小于 10 欧姆接地支干线 不小于 6 mm2 的铜制导线 小于 10 欧姆设备和工作台的接地线不小于 1.25mm2 的多股或单股的铜制绝缘套导线小于 10 欧姆或 0.8兆欧1.2 兆欧ESD 线不得直接接在电源零线上。ESD线不得与防雷地线共用。使用三相五线制供电，其大地线可以作为 ESD 地线，但需保证电源地线与零线不能搭接。新增的 ESD 地线应用绿色绝缘套标识，原来使

9、用的黄绿色绝缘套标识可以继续使用。台垫等物品的接地配件按照来料的颜色使用。4.3.2. 厂房接地总线的接地电阻小于 10 欧姆，由行政部负责定期检查，周期为一个月一次。并填写厂房接地电阻测试记录表 。4.3.3. 车间内部的设备和工作台的接地线的接地状况由 PE 负责定期检查，周期为 3 个月一次。并填写工作台地线接地电阻测试记录表 。4.3.4. 测试台的防静电设备，工器具的接地由 TE 负责定期检查，周期为 3 个月一次。并填写工作台地线接地电阻测试记录表 。4.4. 防静电区域设备及辅料要求I 级区域 II 级区域防静电安全工作台 防静电安全工作台防静电容器、运输工具（料盒、料箱、运输车

10、） 防静电容器、运输工具（料盒、料箱、运输车）防静电腕带 防静电腕带防静电工衣（帽） 防静电工衣（帽）防静电工鞋 防静电工鞋防静电测试 防静电烙铁（如需使用烙铁）防静电烙铁（如需使用烙铁）4.5. 防静电工作区的 ESD 技术要求4.5.1. 防静电地板4.5.1.1. 用防静电 PVC 地板专用清洁剂或中性清洁用品定期进行清洁，严禁使用强酸、强碱或能溶解 PVC 材料的化学溶剂进行清洗，如果属于更严重的污渍，可以使用异丙烯基乙醇清洁。44.5.1.2. 严禁带有尖刺、粗糙的重物在地板表面擦划、拖拉。4.5.1.3. 不能将硫化物、丙酮、酒精等物品撒落在 ESD 地板上，如发生以上情况，应立即

11、清洁。4.5.1.4. 使用防静电地板蜡水进行定期涂敷、养护，一般 6 个月一次。4.5.1.5. 地板蜡的电阻小于 1E9 欧姆。4.5.1.6. 地板安装时应满足的 ESD 技术指标包括：表面电阻值和系统电阻值均在 1E41E9 欧姆范围以内。4.5.1.7. 生产部应及时向行政部要求对防静电地板进行打蜡维护，行政部做好地板打蜡后应及时通知 QC1 部 ESD工程师。4.5.1.8. 对于 K4 洁净室的地板，经 IE 评估且经过 ESD 工程师的认可，可以不做地板打蜡。4.5.1.9. QC1 部 ESD 工程师应在行政部对防静电地板打蜡后做一次防静电地板表面电阻、系统电阻测试，测试方法

12、见附录 2，并填写防静电地板电阻测试记录表 。4.5.2. 防静电安全工作台（含测试台）4.5.2.1. 各区域的防静电安全工作台由负责该区域的 PE 或 TE 确定范围。例如：回流焊后的检查台、QC1 检查台、修理台和测试台等。4.5.2.2. 防静电安全工作台基本要求和禁止项目要求 禁止工作台表面铺设防静电台垫，同时台垫必须接地。特殊情况可以没有台垫，但需经 ESD 工程师认可。工作台上放置普通塑料盒（片） 、橡皮、玻璃、普通泡沫等容易产生静电的杂物。配备腕带接头、ESD 地线、防静电工具（可选）和防静电测试架距离 ESDS 元器件 30 厘米以内有摩擦电压高于 200V 的物件4.5.2

13、.3. 在防静电区内使用不符合防静电要求的物料且必须时，必须得到 QC1 ESD 工程师的评估和认可。4.5.2.4. 防静电台台面应满足 ESD 技术指标。表面电阻值和系统电阻值均在 1E41E9 欧姆范围以内。4.5.2.5. 防静电台椅子应满足 ESD 技术指标。表面电阻值和系统电阻值均小于 1E9 欧姆范围。4.5.2.6. 防静电胶帘的表面电阻应在 1E41E11 欧姆内。4.5.2.7. PE 或 TE 应每 6 个月做一次相应的工作区域内的防静电台垫和防静电工椅电阻测试，防静电台垫测试方法见附录 3，填写防静电台垫电阻测试记录表 。防静电工椅测试方法见附录 8，填写防静电工椅测试

14、记录表 ，如果有不合格的，须及时更换。4.5.3. 防静电辅料/工具4.5.3.1. 防静电溶剂瓶：系统电阻在 1E41E11 欧姆范围。4.5.3.2. 防静电烙铁/焊接工具：从热的端头到地的电阻应小于 10 欧姆。4.5.3.3. 防静电文件袋(夹): 表面电阻在 1E41E11 欧姆范围。4.5.3.4. PE 应每 6 个月做一次防静电辅料电阻测试，测试方法见附录 7，填写防静电辅料电阻测试记录表 。4.5.4. 防静电包装及容器4.5.4.1. 防静电容器包括ESDS 原料包装袋（盒/盘） 、装板的料盒、等一切包装、储存 ESDS 的容器。4.5.4.2. 允许使用局部抗静电涂料对容

15、器表面进行处理，但使用效果必须由相关 PE 定期检查。4.5.4.3. 防静电容器应满足 ESD 技术指标：表面电阻(包括内外表面) 在 1E41E11 欧姆范围，系统电阻在1E41E10 欧姆范围。如果产品或产品的金属部分不直接与防静电容器接触，则允许防静电容器的电阻小于 1E4 欧姆。PE 应每 6 个月做一次防静电容器（包括吸塑、托盘、料箱等）表面电阻和体积电阻测试，测试方法见附录 4。填写防静电周转容器电阻测试记录表 ，测试结果由 PE 保存半年，并在符合标准的容器上做标记。QC2 应按 SEF 对来料的包装袋和容器进行测试，并填写 防静电包装袋 容器电阻测试记录表 。4.5.5. 防

16、静电运输工具及存放架等4.5.5.1. 防静电运输工具包括ESD 运输车、ESD 小推车等4.5.5.2. 为保护 ESDS 不受到外部强静电场的影响，运送 ESDS 的防静电运输工具应由高导电性材料（建议使用不锈钢）制作，车子经常固定时要求硬接地。其对地电阻应小于 10 欧姆。4.5.5.3. 当运输车由不锈钢组成时，且经常移动时，其对地电阻应小于 1E9 欧姆。4.5.5.4. 存放架的表面电阻和对地电阻应小于 1E9 欧姆。54.5.5.5. 防静电运输工具应满足 ESD 技术指标：表面电阻和对地电阻小于 1E9 欧姆。PE 应每 6 个月做一次防静电运输车、ESD 小推车之台面对轮脚系

17、统电阻测试，测试方法见附录 5。填写防静电运输工具/存放架电阻测试记录表 ，测试结果由 PE 保存半年，并在符合标准的运输工具上做标记。4.5.6. 除静电离子风机/离子棒4.5.6.1. 当防静电区域内不可避免的需要使用会产生高静电的材料时，且该材料要求被放置在离 ESDS 30 厘米内时，必须使用离子风机或离子棒。4.5.6.2. 对于不能接地又直接接触 ESDS 元件的物体，必须保证其保持在零电位状态，必要时，可以使用离子风机消除在这个过程中产生的静电。4.5.6.3. 离子风机在使用的过程中会产生较大功率的 RF 信号，因此进行通信产品测试的车间不适用离子风机。如果要用，则需要通过 Q

18、C1 ESD 工程师的评估。4.5.6.4. 悬挂式离子风机应悬挂在离工作台面 60 厘米的高度， （特殊工位可例外，但须经 ESD 工程师认可）离子风机的出风口不能有异物阻挡。离子风机的平衡电压保持在 50V 以内，消电时间（从 1000V 中和到100V）应小于 10 秒（高风速） 。4.5.6.5. 台式离子风机应放置在工作台上且离工作区域 3045 厘米左右，以保证有足够的覆盖范围和快速的静电消除。离子风机的出风口不能有异物阻挡。离子风机的平衡电压保持在 50V 以内，消电时间（从 1000V中和到 100V）应小于 3 秒（高风速） 。4.5.6.6. 离子棒应悬挂在合适的工作高度以

19、保证除静电效果，离子棒的平衡电压应保持在 50V 以内，消电时间（从 1000V 中和到 100V）应小于 60 秒。4.5.6.7. QC1 ESD 工程师应每 6 个月做一次离子风机平衡电压和消电时间测试，填写除静电离子发生器测试记录表 ，对不符合要求的离子风机，应及时处理。4.5.7. 其它防静电物料及相关要求4.5.7.1. 不在上面列出来的物料则按一般防静电要求，表面电阻在 1E41E11 欧姆内，系统电阻在 1E41E11 欧姆内。4.5.7.2. 特殊情况下，如果找不到合适的供应商，又经过 ESD 专员的评估，确认不会对产品构成 ESD 隐患的情况下，可以引入表面电阻或体积电阻小

20、于 1E11 欧姆的物料。5. 人体防静电系统 5.1. 防静电腕带5.1.1. 直接接触 ESDS 的任何人员都应按规定佩带防静电腕带（俗称静电带） ，禁止使用无线防静电腕带。5.1.2. 防静电腕带的接触线应内置一个 1 兆欧姆电阻，以保证人体安全以及快速泻放静电，防静电腕带的腕带应是导电性的，表面电阻应小于 1E3 欧姆。同时应保证防静电腕带与人体皮肤有良好的接触，系统电阻应小于 35 兆欧姆，且使用鳄鱼夹或插头座可靠的连接在 ESD 线上。5.1.3. 应每天一次测量防静电腕带的系统电阻，由拉长填写静电带检查记录表 ，检查不合格时应交由修理检修，不能修复时，应及时更换。5.2. 防静电

21、鞋/防静电鞋套5.2.1. 所有进入防静电区域的人员都应穿用防静电鞋/鞋套，防静电鞋/鞋套的使用要保证鞋的系统电阻在1E53.5E7 欧姆范围内。应每天一次测量防静电鞋/鞋套的系统电阻，由拉长填写防静电鞋/ 鞋套检查记录表 ，检查不合格时应及时更换。5.3. 防静电工作服5.3.1. 防静电工作服包括防静电连体衣、防静电大褂、防静电工鞋（鞋套）和工帽，防静电工作服要求使用导电网格防静电绸制作，制造要求应符合 GB 12014 之规定，其各部分之间应存在电气连续性。工作服的设计应能保持在穿着状态下与人体皮肤直接或间接地接触。5.3.2. 进入防静电区域时，防静电工作服、工鞋和工帽要求穿着整齐，全

22、部纽扣（拉链）要系好（拉完全） ，头发必须包在工帽内，不能有外露。5.3.3. 购买防静电工衣时应满足 ESD 技术指标：表面电阻值（1E5 欧姆1E10 欧姆） 。5.3.4. 生产部应每半年做一次防静电工衣表面电阻测试，测试方法见附录 6，并填写防静电工衣表面电阻测试记录表 ，对于不符合指标要求的防静电工衣，予以更换。65.4. 防静电手套/指套5.4.1. 由消散性材料制成，人体穿戴对地电阻在 1E51E11 欧姆范围，摩擦电压小于 50V。5.5. 人体综合接地测试系统要求 手腕带-人体 工鞋-人体 指示灯电阻下限 7.5E5 欧姆 1E5 欧姆电阻上限 3.5E7 欧姆 3.5E7

23、欧姆电阻在范围以内 绿灯电阻不在范围以内 红灯5.5.1. 每个进入防静电区域的人员须进行人体综合接地效果测试，如果亮红灯，则表明测试失败，应更换工鞋/鞋套或手腕带重新进行测试并通知相关人员。5.6. 人员防静电一般要求5.6.1. 要求进入防静电区的人员尽量穿着棉质衣物，尽量避免穿着尼龙等合成纤维制品，以免产生强电场导致静电感应放电现象。5.6.2. 在防静电工作区内不得大声喧哗，坐立姿势端正，避免不必要的走动，以及不必要的大幅度身体运动，如弯腰、晃动手臂等，在防静电工作区内如有必要走动，应缓步行走，禁止奔跑。5.6.3. 接触静电敏感器件及组件之前应戴好防静电腕带，防静电腕带再接入防静电地

24、线系统，要保证腕带与皮肤接触良好，在戴腕带处皮肤上不得涂护肤油、防冻油等绝缘物质。5.6.4. 手持静电敏感器件及组件时应避免接触其导电（金属管脚）部分，操作过程中应尽量减少对静电敏感器件及组件的接触次数。按需要逐一取用，不得一次倒出一堆 IC 散乱地放在工作台面上，已装贴有元器件的PCB 板不得裸露叠放，确需暂时叠放时必须用防静电材料隔离开。5.6.5. 外来人员参观，必须有本公司人员全程陪同，按参观路线行进，不得随意走动，不得进入机器外围的斑马线地标，更不得随意触摸产品。6. 职责6.1. 生产经理、主管、科文等管理人员，职责包括：6.1.1. 负责做好物料、作业员、及其他进出防静电工作区

25、人员及物品的出入管理，确保其按 ESD 要求正确着装，6.1.2. 确保作业员及在防静电工作区内的人员正确使用 ESD 设备，包括防静电工衣、防静电工帽、防静电工鞋、防静电腕带、防静电台垫、离子风机、ESD 料盒和 ESD 地板等；6.1.3. 确保无关人员不接触产品，不对产品产生静电释放；6.1.4. 对怀疑是静电损伤的产品，需要保存样品并报告给相应的部门作失效分析；6.1.5. 定期检查防静电工衣、工鞋、腕带的 ESD 品质，如有品质异常，及时向采购部提出采购申请更换；6.1.6. 每天检查 ESD 设备、台垫等的接地状况（目视） ，确保接地线正确的连接到 ESD 总线上；6.1.7. 每

26、六个月要求服务组对防静电地板进行打蜡。6.2. QC1 ESD 工程师/技术员，职责包括：6.2.1. 统筹全厂的 ESD 控制，定期对生产线的静电防护水平做出评估，并给出改善意见，提高其静电防护水平； 6.2.2. 负责寻找新的防静电用品的供应商，评估新购的防静电用品的性能；6.2.3. 协助人力资源部进行 ESD 培训；6.2.4. 监督各个部门的 ESD 管理情况，及时反映 ESD 状况；6.2.5. 对生产线的静电损伤样品作失效分析，解决工序中的 ESD 情况；6.2.6. 定期检查除静电离子发生器的性能，确保其正常工作；6.2.7. 负责对打蜡后的地板进行测量。 6.3. 行政部/维

27、修组，职责包括：6.3.1. 行政部负责派人做好清洁工作，保证车间内的相对空气湿度在各车间规定的范围内；6.3.2. 维修组定期检查 ESD 总线的接地状况，确保其状况良好；6.3.3. 服务组根据生产部的要求派人定期使用专用的防静电地板蜡水对防静电地板打蜡，打完蜡后通知 QC1 ESD工程师进行电阻测试。6.4. 人力资源部，职责包括：76.4.1. 负责对新进厂的员工进行初步的防静电知识培训；6.4.2. 定期对员工进行防静电知识培训，并进行培训的再审核。6.5. 开发部，职责包括：6.5.1. 开发部在设计新产品时应考虑到器件的静电敏感度，尽量选用具有最大静电抗扰度的元件；6.5.2.

28、在新产品设计阶段应尽量引入防静电网络到电路设计中去，以保护产品里面的静电敏感元件；6.5.3. 要求供应商提供元器件静电敏感度的级别。包括人体模型(HBM) 、机器模型(MM) 和带电器件模型(CDM) (应列明何种标准) ；6.5.4. 做好 SEF（包括防静电指标，part number 等）给 QC2 部，供 QC2 部抽测来料。6.6. QA 及 QC2 部，职责包括：6.6.1. 确定 ESDS 敏感级别，对成品进行静电放电模拟测试，确认静电敏感度；6.6.2. 根据 SEF 负责抽测、监控静电敏感器件来料和静电敏感器件产品的品质，如发现异常，应及时反馈信息给QC1 ESD 工程师或

29、相应的部门。6.7. PE 工程师/技术员，职责包括：6.7.1. 定期检查防静电设备，确保其可以正常使用，包括防静电台垫、地垫、防静电容器、运输工具和其它辅助工具的表面电阻和系统电阻测试等；6.7.2. 定期检查台垫和机器的接地状况，确保接地良好。6.8. TE 工程师/技术员，职责包括：6.8.1. 负责测试架，测试台的接地和测试工位内的防静电设备的定期检查与控制。6.9. 货仓工程师/技术员，职责包括：6.9.1. 负责货仓防静电措施的维护和管理。6.9.2. 定期通知 QC1 ESD 工程师进行检测使用中的防静电用具。7. 培训7.1. 对所有可能接触或接近 ESDS 的人员，必须进行

30、相关的 ESD 知识培训，并加以教育与训练，使之树立有效的 ESD 防护观念。培训的有效期为一年。人力资源部应填写员工防静电知识培训考核记录表 。7.2. 防静电培训的内容包括：7.2.1. 静电学基础和静电损害7.2.2. 静电性能测试7.2.3. 防静电的标示与包装7.2.4. 防静电控制7.2.5. 防静电设备的使用和检测（相关人员）8. 采购8.1. 所有防静电用品的采购均须要按照附录 16防静电制品采购流程图执行9. 文件生效日期9.1. 本文件从文控中心正式发行日起开始生效。10. 记录序号 记录名称 责任部门 测量周期 保存期限1 防静电地板电阻测试记录表 QC1 部 6 个月抽

31、测 6 个月2 防静电台垫电阻测试记录表 PE/TE 部 6 个月抽测 6 个月3 静电带检查记录表 生产部 每周 3 个月4 防静电周转容器电阻测试纪录表 PE 部 6 个月抽测 6 个月5 防静电运输工具 存放架电阻测试记录表 PE 部 6 个月抽测 6 个月6 防静电工衣表面、鞋、鞋套电阻测试记录表 生产部 6 个月抽测 6 个月7 员工防静电知识培训纪录表 人力资源部 一年 一年8 厂房接地电阻测试纪录表 行政部 3 个月抽测 一年9 工作台地线接地电阻测试纪录表 PE/TE 部 3 个月抽测 1 个月10 防静电椅子电阻测试记录表 PE 部 6 个月抽测 6 个月812. 附录附录

32、1：ESDS 元器件分类I 级：（0V 1999V）序号 元器件类别 条件及说明1 微波器件 包括肖特基二极管，点接触二极管，频率大于 1GHz 的二极管2 分立 MOS 场效应管 包括 VWOS 及 VDMOS 等等3 表面声波（SAW）器件4 结型场效应管5 电荷耦合器件6 精密稳压二极管7 运算放大器 包括双极型工艺及 MOS 工艺8 超高速集成电路 包括 ECL、HCMOS、FAST 等工艺9 其他集成电路 包括 CMOS、PMOS、NMOS、TTL 等10 薄膜电阻器11 混合电路 使用 I 级静电敏感元器件组装的混合电路12 可控硅 TA=100 TO0.175AII 级：（200

33、0V 3999V）序号 元器件类别 条件及说明1 分立 MOS 场效应管 包括 VMOS、VDMOS 等2 结型场效应晶体管3 运算放大器 包括双极工艺和 MOS 工艺4 超高速集成电路5 其他集成电路 包括 CMOS、PMOS、NMOS、TTL 等6 精密电阻网络 包括 ECL、HCMOS、FAST 等工艺7 混合电路 使用 II 级静电敏感元器件组装的混合电路8 低功率双极工艺晶体管 PT100mW, IC100mA附录 2：防静电地板表面电阻/系统电阻测试方法1. 按下图确定防静电地板测试点每一个方格均代表一块地板，测试用的电极一个放在中间的地板上，另外一个电极依次放在此地板相对角的四块

34、地板上面，测量其表面电阻值。2. 随机抽样测试点不少于 20 个区域，按下图所示，每点测量地板 4 点表面电阻值，并记录数据93. 随机抽样测试点不少于 5 个区域，按下图所示测量地板系统电阻，并记录数据附录 3：防静电台垫/地垫电阻测试方法 1. 按下图所示，每张台垫/地垫测量 2 组表面电阻值，并记录数据2. 按下图所示，每张台垫/地垫测量 2 组对地电阻值，并记录数据10附录 4：防静电容器电阻测试方法1. 按下图所示，测量容器表面电阻值，并记录数据2. 按下图所示，测量容器体积电阻值，并记录数据附录 5：防静电运输工具/存放架测试方法 1. 按下图所示，测量运转车/存放架电阻值，并记录数据