1、1,静电原理及其控制,静电的基本常识 主要是讲述一下静电方面的一些基本概念，让大家对静电有一个根本的理解静电消除器工作原理 静电消除器的原理，功能，以及它们的一些操作方法静电消除器的维护保养 进行保养工作的重要性和必要性以及保养的一些注意点,2,静电的基本常识,何为静电 静电与有源电的区别，不会对人体造成伤害，在日常生活中就随处可见静电的产生所带来的问题 主要有ESA、ESD、EMI三种静电的控制方法 包括人员管理及采用电离系统等电离化标准 空气电离的规范和量测标准,3,何为静电,产生 静电的产生主要是由摩擦生电和感应生电两种形式积累 物体表面的静电一时无法导走，时间久了就会越积越多放电 积累
2、了一定量的静电的物体，给它一个导通的回路，就会产生静电放电现象,4,静电的产生,摩擦生电 任何两种物体之间进行摩擦，都会产生静电 带电的极性需要看是何种物体而定,5,感应生电,一不带电物体移近一磁场附近，上表面被磁场的正极吸引带有负电，下表面带有正电 此时，它与一接地物体接触，下表面的负电被导走，如果此物体再被移至其它地方，那么它就是带上了负电,6,静电积累,物体表面的静电一时无法导走，时间久了，就会达到一定的静电量,7,静电放电,带电体一旦让它形成通路就会造成静电放电现象，静电放电所产生的强大电流造成不可预测的破坏,8,静电的产生所带来的问题,ESA（静电吸附） 由于静电使物体表面对微粒子产
3、生吸附作用ESD（静电放电） 静电放电时产生强大电流造成的破坏EMI（电磁干扰） 所谓电磁干扰，就是由于处于电磁场附近，受到电磁场的对其它电子产品或仪器造成的干扰 它由于在静电放电的过程中，有短暂且强大的电流产生，故周围产生电磁场，对环境造成干扰,9,ESA,Surface Voltage = 0 V不带电的物体不容易吸附空气中的微粒子,Surface Voltage = 4,000 V带电体表面对空气中的微粒子有一定的吸附能力,10,ESD,静电放电时，由于是在一瞬间放电，根据库仑定律可知，放电时间越小，产生的电流就越大 而大电流对一些产品的破坏是非常严重的，那就是所谓的电流击穿,11,在大
4、电流通过后，还会对产品造成腐蚀，时间久了，产品的被腐蚀程度越来越大，最终变为次品。,12,EMI,放电时间为10的-9次方级，就是频率在10的9次方级，与电脑处理器的频率相当，会干扰电脑，产生一些错误的指令和程序，使其误操作，甚至产生死循环或者宕机,13,静电的控制方法,人员管理增加湿度空气电离,14,人员管理,衣物 需要经常做清洁的工作，保持对无尘室不受污染培训 对员工或其他采访人员进行必要的教育培训，因为人是无尘室中最大的污染源无尘室规范 对无尘室的管理需严格规范，保证其良好的无尘环境反馈 在任何人员遇到任何情况时，都必须及时反馈到公司相关单位，以及时采取相应措施,15,有关增加湿度,湿度
5、越高，导电性能越强；湿度越低，绝缘性能越强高湿度会引起氧化和焊接困难高湿度控制静电是消极、不可靠、耗费甚高的，不可取,16,空气电离,关于空气电离 先解释一下空气电离的概念，对这个名词的理解电离化系统 分析一些常用的电离化系统，阐述一下它们各自的原理和特点,17,空气化电离理论,对针尖加上高压，使针尖附近的空气被电离，产生正、负离子，叫做空气电离,18,电离化系统类型,交流 在针尖加上一交流电，使它交替产生正负离子稳态直流 在针尖加上一恒定高压（正或负），使它产生离子（正或负）脉冲直流 在两针尖加上一脉冲型高压，使它交替产生正负离子核元素 使用粒子撞击空气分子，使之电离产生正负离子,19,电离
6、化标准,静电平板监视仪（CPM）ESD标准,20,CPM 210,用于检测静电情况，平板距静电感应器为标准的一英寸距离，它可以检测环境的静电情况，平衡电压和放电时间，来决定当时环境是否符合应有的要求。 使用该种仪器，可以用于量测和校正各种类型的静电消除器。,21,ESD标准,具体数据可参考资料：ESD S20.20SEMI E78,22,相关的一些静电测量摘要,23,静电解决方案,DIGITAL ROOM SYSTEMMINIENVIRONMENT SYSTEMBLOWER IONIZER,24,维护及保养,清洗 通常每季度清洗一次量测 每月做量测校正 每次清洗量测后若超出规格做校正,25,QUESTIONS,
