1、ZLS-23B 氦质谱检漏仪操作手册日常开机1将总电源转到“前级泵” ，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至 215Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。2将总电源转到“扩散泵” ，灯亮，扩散泵开始加热。3等 20 分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关， “质谱室压强”表头指针应从左打向右（即冷规已激发）再关冷规。4开抽速阀，过几分钟后开冷规，表头指针应从左打向右，再从右向左逐渐上升（真空示值在 110-2Pa 以下请不要长时间开冷规，可等一会儿再开） ，当真空示值超过 110-2Pa 后，可启动灯丝，灯亮， “发射电流”有指示，开、关漏孔检查仪器灵敏度（可调加
2、速电压使信号指示最大） ，灵敏度达要求后关漏孔。5将工件用外接泵抽上真空后，开节流阀至冷规指示值为 510-3110-2Pa 之间，对工件喷氦检漏。检漏完，关节流阀。关机1关冷规，关抽速阀。2将总电源转到“前级泵” 。3等 20 分钟左右，扩散泵已冷，将总电源转到“关” 。仪器灵敏度1静态灵敏度 本仪器要求210 -11Pam3/sQmin= Qo 例：Qmin= 2.0710-9=1.6610-11 Pam3/sSnUmV250Un仪器噪音和漂移：如无明显摆动，则按表头最灵敏档的 1/50 或表头最小分格计算，本仪器为 2mV。Us信号值：开、关漏孔在仪器放大器表头读出的电压值。Qo漏孔漏率
3、值：本仪器所指的漏率值为空气的漏率值，仪器现使用的校准漏孔，其标定值为氦气的漏率值，应按下式换算为空气的漏率值。QoQ He Q He2.7 例：5.610 -92.72.0710 -9 Pam3/s21MM1空气的分子量为 28.96M2氦的分子量为 4.0026QHe氦气的漏率值2动态灵敏度因检漏时选择的方法及分流情况不同，仪器灵敏度可能较静态灵敏度下降，此时的灵敏度应按选定的检漏方法，调好仪器后进行校准，计算公式与以上静态灵敏度公式相同。检漏时，工件的漏率值可按下式计算：Qx Qo 例：Qx 2.0710-91.3810 -8 Pam3/sSxUmV302Qx工件的漏率值。UX对工件检漏
4、时仪器放大器表头读出的电压值。Us开、关漏孔在仪器放大器表头读出的电压值。Qo漏孔漏率值检漏注意事项一、工件要保持清洁、干燥。二、对工件喷氦应按以下顺序进行：从上往下。 从靠近测试口到远离测试口。三、喷氦时应经常检查喷枪口是否有氦气喷出。四、检完工件，必须将“节流阀”关闭，才能取工件。五、对同一工件，如有两处以上漏点，应排除最大的漏点后，再对其它地方检漏。六、装工件时应使连接处密封好，不能有漏。七、检漏间应通风良好，避免氦气浓度增高，但应避免强通风。八、氦气属贵重气体，应避免泄漏浪费。提高检漏灵敏度方法一、尽量开大节流阀。二、尽量减小外接泵对工件的分流或采用不分流检漏（当工件抽上真空后，关闭工
5、件与外接泵之间的阀门） 。三、将工件用塑料袋包扎，袋内再充入氦气， （但此法不能测出具体漏点） 。四、使用液氮，全开节流阀，采用不分流检漏，必要时可将抽速阀关小。使 用 液 氮一、加液氮：在冷规指针过 110-2Pa 以后，加入液氮。二、停机前必须将残余液氮排除后，才能关机：关机前先关“冷规” ，关抽速阀，将总电源转到“前级泵” ，将冷阱内残余液氮排出，再加入热水，等 20 分钟左右，扩散泵已冷，将总电源转到“关” 。三、加液氮时应注意防护，防止冻伤，加液氮每次不一定加满，使用中如不够，可再加。四、第二天（或定期）将液氮冷阱取下，清洗冷阱内、外筒，再用吹风吹干，安装好后按正常程序开机。调 氦
6、峰一、在更换灯丝后及每天开始检漏前检查仪器灵敏度达不到要求时进行。1调氦峰方法：开漏孔开关，单方向（从 75165V 或从 16575V）调加速电压“V” ， 使仪器放大器输出表指示值出现一个最大值，然后关漏孔开关，如表头指示值变小，说明仪器接收到氦信号，即找到氦峰；如表头指示值不变，说明不是氦峰，则继续调“V ”，直到找到氦峰（出现氦的“V ”一般在 85150V 之间） 。“V”的变化与表头指示值的关系： 2分辨不好：（1）氦和重离子分辨差 （2）氦和轻离子分辨差75V 165V 原因：离子流偏转半径偏大 原因：离子流偏转半径偏小解决办法：将离子源中的引出缝往 解决办法：将离子源中的引出缝
7、往3信号小： 收集极方向调一点 离子源座方向调一点灯丝没正对电离盒上的电子入口灯丝离电离盒太远分辨不好灯丝质量差（受油蒸汽污染或本身发射能力低）二、换灯丝：当冷规指针已过 110-2 Pa，按灯丝启动，灯很亮，发射电流无指示，量离子源插头足不通，即为灯丝断，灯丝寿命一般正常使用为 1 至 3 个月。1停机换灯丝：可直接取下离子源更换灯丝，装好后按正常开机步骤进行。2不停机换灯丝：关冷规，关抽速阀，取离子源插头，取下离子源，更换灯丝后装上离子源，插离子源插头，此时“加速电压”示值不应有变化， “发射电流”示值应为零。如其中有一示值与上不符，则是离子源内有短路，应取下排除。将阀开关由“前置”转向“
8、粗抽” （注意：阀开关在“粗抽”的时间不要超过五分钟） ，全开节流阀，等真空抽上后，关闭节流阀，将“粗抽”转向“前置” ，开抽速阀，开冷规，等真空过 110-2Pa 后可启动灯丝，调氦峰。3灯丝安装时应先将离子源内的污渍用细砂纸打干净，清洗后再装。灯丝应正对电离盒电子入口，尽量靠近电离盒，但不能短路，三根引线间也不能相互短路。日 常 维 护1定期更换灯丝，清洗冷规。2定期更换机械泵油，适时对机械泵加油。3如加液氮，需定期清洗冷阱。4拆卸仪器部件后，安装时要避免安装处出现泄漏。5适时对仪器可能出现的泄漏处（如放气阀）进行清洗，排除漏点。技术咨询(028)86958429 李麒 邹志明购买备件(028)86935160 陆林
