1、手 套 箱 技 术 指 标 详 细 内 容1、详细内容1、名称:循环净化手套箱(连接蒸镀机的手套箱及其密封转移箱)2、主要用途:对蒸镀器件进行惰性气体保护,及在手套箱内进行相关科学实验3、基本要求和主要配置:集成有封闭的操作箱体(带有倾斜的操作面和安全玻璃前窗) 、与蒸镀机对接的箱体、大过渡舱、小过度舱、循环净化单元、净化材料还原再生系统,PLC控制及触摸屏操作系统、真空系统、支架等,具体包括:A、操作箱体1) 、304 不锈钢的箱体,箱体尺寸:1220750900(标配 304 不锈钢材质)2) 、不锈钢制成的大真空过渡室,直径 360mm长 600mm;右置3) 、小的真空过渡室,直径 1
2、50mm,长度 360mm,与大过渡室同侧布置4) 、操作面安装带两个手套口的前窗,安全钢化玻璃厚度 10mm,手套口材质为阳极氧化合金铝,表面钝化保护层:黑色5) 、两个丁基橡胶手套6) 、操作面装有 1 套照明系统,采用 LED 灯管7) 、箱内多功能电源插座8) 、箱体内配两层可拆卸置物搁板9) 、底架箱及万向可调节水平的万向脚轮,高度可调节支承腿(可对箱体水平进行微调)10) 、脚踏开关(方便人工干预箱体压力)B、与蒸镀机对接的密封转移箱1)与蒸镀机对接法兰及相关密封机构2)通过操作口,可以方便的提取蒸镀机腔室内的器件,相关结构形式由投标方提供方案及结构示意图,要求:安全、方便、密封可
3、靠 C、循环净化系统1) 、高性能的循环净化风机罐(采用变频微处理器控制高压风机)2) 、高效除氧除水除有机溶剂的净化系统,采用高真空电磁阀控制循环管路,不接收电气动阀(无须电气动阀所须的控制气钢瓶)3) 、除氧剂填装量8 公斤,除水剂填装量16 公斤3) 、高效过滤器(过滤精度达 0.3m,净化系统气体进出口各一套共二套)4) 、有机溶剂吸附器,活性炭填装量6 公斤5)净化材料还原再生系统,净化材料还原再生率可达 80%6)净化罐采用独特的专利技术(需提供相关专利证书) ,可大幅提高净化材料的还原再生率及净化材料的有效填装量D、控制系统1) 、采用微差压压力控制系统(有效地自动控制手套箱的压力)2) 、PLC 控制及触摸屏操作显示系统(友好的人机对话界面,电气控制系统终2身质保,终身免费软件升级)3) 、四个盲板法兰,KF40E、水分析仪(又称露点仪)F、氧分析仪,采用 ZrO2 探头,不接收燃料电池探头G、真空泵(可在系统需要时自动启动,也可通过触摸屏人工干预工作,可以一泵多用)4、工艺要求及技术指标:1)水含量120 升8)有效除水量:5 公斤9)净化材料一次再生率:80%10)正常情况下空箱运行,水氧含量到达 1ppm 的时间 50 分钟11)正常情况下净化材料还原再生间隔周期12 个月12)正常情况下净化材料更换周期15 年