1 第二篇 半导体工艺及器件仿真软件 Silvaco 操作指南 主要介绍了半导体器件及工艺仿真软件 Silvaco 的基本使用。书中通过例程引导学习工 艺仿真模块 Athena 和器件仿真模块 Atlas，通过这两部分的学习可以使学习人员深入了解 半导体物理的基本知识，半导体工艺的流程，以及晶体管原理的基本原理，设计过程，器 件的特性。对于学习集成电路的制备及后道工序有一定的帮助。 第一章 SI LVACO 软件介绍 .25 1.1 程序启动 .25 1.2 选择一个应用程序例子 .26 1.3 工艺模拟 .28 1.3.1 运行一次模拟 .28 1.3.2 渐进学习模拟 .28 1.3.3 绘制结构 .28 1.3.4 使用 Tonyplot 进行绘图 29 1.3.5 修正绘图的外观 .29 1.3.6 缩放及在图上进行平移 .30 1.3.7 打印图形 .31 1.4 使用 HISTORY功能 31 1.5 明确存贮状态 .32 1.6 创建用于比较的两个结构文件 .32 1.6.1 存贮文件创建 .32 1.6.2 文件交叠 33 1.7 运行 MOS 工艺程序的第二部分 .3
