第一章 单晶生长条件1.1 设备要求1.1.1 运行条件（以下以 TDR-85A-ZJS 炉为例，其余炉型要求参照说明书）（1）冷却水要求水压：炉子进出水压差要求介于 23 公斤之间，真空泵进出水压差要求 1.5 公斤以上；炉子进水压力不可超过 3.5 公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力 6 公斤； 水流率：炉子和电源要求供水量不低于 250 升每分钟，单独电源要求供水量不低于 20 升每分钟； 水温：推荐进水温度 1824oC，最大不超过 25oC；水质：弱碱性水，PH 值 69；氯离子含量10ppm，碳酸钙含量50ppm；以纯净软水为好。连接方式：进出水管与炉子之间采用软连接，防止震动传递到炉子。（2）压缩空气要求气压：7 公斤；推荐在压缩空气入口处使用压力调节器。流率：2.5 升每秒；汽缸容积：主真空球阀：2 升；辅助真空球阀：0.5 升。（3）电力要求相制：3 相 AC380V(10%)/50Hz； 功率：192KVA。配电柜应装有 500V、400V 的空气开关，和 380V/400
