第六章薄膜材料的表征方法,第一节薄膜厚度测量技术第二节薄膜结构的表征方法第三节薄膜成分的表征方法,第一节薄膜厚度测量技术,一、薄膜厚度的光学测量方法二、薄膜厚度的机械测量方法,一、薄膜厚度的光学测量方法,1、光的干涉条件,观察到干涉极小的条件是光程差等于（N+1/2）。,2、不透明薄膜厚度测量的等厚干涉条纹（FET）和等色干涉条纹（FECO）法,等厚干涉条纹的测量装置如图（a）所示。,首先，在薄膜的台阶上下均匀地沉积上一层高反射率的金属层。然后在薄膜上覆盖上一块半反半透的平面镜。由于在反射镜与薄膜表面之间一般总不是完全平行的，因而在单色光的照射下，反射镜和薄膜之间光的多次反射将导致等厚干涉条纹的产生。,等色干涉条纹法需要将反射镜与薄膜平行放置，另外要使用非单色光源照射薄膜表面，并采用光谱议分析干涉极大出现的条件。,3、透明薄膜厚度测量的干涉法,在薄膜与衬底均是透明的，而且它们的折射率分别为n1和n2的情况下，薄膜对垂直入射的单色光的反射率随着薄膜的光学厚度n1d的变化而发生振荡，如图中针对n1不同，而n2=1.5时的情况所画出的那样，对于n1n2的情况，反射极大的位置出现在,在两个
