蔡司场发射扫描电镜Merlin培训.ppt

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资源描述

蔡司场发射扫描电镜Merlin简明操作教程,安全注意事项,样品台移动:当移动样品台时,一定要确保其不碰撞到探头和物镜。(在样品台上升过程中,一定要在TV模式下观察样品高度)紧急情况:当设备出现短路、起火等重大紧急故障时,切断设备电源,并按下房间墙上紧急电源制动按钮。,样品要求及制备,试样性状要求:,(1)试样可以是块状或粉未状。(2)试样在真空中稳定,不含水分或其它易挥发物。(3)对磁性试样要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场影响。(4)电子束照射下释放出气体的样品严禁测试。(5)表面污染的试样,要在不破坏试样表面结构前提下进行清洗,并烘干。(6)进行表面侵蚀的试样在侵蚀后应将表面或断口清洗干净,并烘干。,试样尺寸要求:,块体试样大小要适合样品座尺寸,宽度不超过50mm,高度小于10mm左右为宜。,试样制备:样品制备工作请提前在各自实验室自行完成,(1)块体试样直接用导电胶或双粘胶黏贴于试样台上,尽量保持试样高度一致;(2)粉末试样在丁型样品台上贴导电胶或双面胶,将少量粉未撒在上面,吸耳球把未粘住粉未吹去。或将粉未制备成悬浮液滴在载玻片、硅片等基底上(尺寸5mm左右),待溶液挥发后

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