SEMLabTraining02,操作规程简介,操作流程简介不同方向的不同关注,开机顺序,装(换)样顺序,关机顺序,关高压,复位并等够2min,关能谱主程序,关能谱电脑,关EDAX分析器,Vent并取出样品台,Evac到Ready,关SEM主程序,关SEM电脑,关SEM主机,等1530min,关配电箱电源,关循环水开关,工作条件,室温：1525湿度：70%,SEM各参数初始值（复位）,形貌分析步骤,选择信号SEI或者BEC扫描1聚焦，更高倍聚焦。扫描2移动，寻找目标。移动有三种方式扫描3检查，看有没有问题。定格，保存，取消，下一个。,能谱分析,一般能谱步骤元素面分布扫描（面扫描）步骤元素线分布扫描（线扫描）步骤,一般能谱步骤,CPS=12003000,DT%=1040,Amptime=51.2或102.4CollectimageClearspectrum或者“雷达”Star/stopEDScollection或者“秒表”Lsec=2050s后，“秒表”HPD或者直接Q，看“绿色线”和“峰位”啮合是否完美W保存“EX
