第三章电容式传感器,变换原理:将被测量转化为电容量变化,两平行极板组成的电容器,它的电容量为:,d、s或r发生变化时,都会引起电容的变化。,第一节工作原理及特性,电容式传感器,a)变面积型,电容式传感器,平面线位移型,电容式传感器,柱面线位移型.,电容式传感器,b)变间隙型,驻极体电容传声器,它采用聚四氟乙烯材料作为振动膜片。这种材料经特殊电处理后,表面永久地驻有极化电荷,取代了电容传声器极板,故名为驻极体电容传声器。特点是体积小、性能优越、使用方便。,电容式传感器,动圈式传感器,线速度型,电容式传感器,则灵敏度系数,问题:1、初始间隙d0的大小对其特性有何影响?,2、d(测量范围)会随初始间隙怎样变化?,差动结构,电容式传感器,忽略高次项得,则灵敏度系数,结论:差动结构可使传感器灵敏度提高一倍。减小了非线性误差。能够更好地克服温度等外界共模信号干扰。,c)变介电常数型,电容式传感器,电容式液面计结构原理图,产品.,电容式液位传感器(液位计/料位计),电容式传感器,电容式传感器,第二节测量电路,a)交流电桥电路,一、调幅型测量电路,单臂电桥,输出电压U0与电