微机电系统技术基础,工学院华中农业大学,鲍秀兰,6微机电系统的组成,6.1微机械传感器6.2微驱动器6.3微能源,6.1微机械传感器,微传感器定义从广义角度来说，微传感器和常规传感器一样是一种能把物理量、化学量或生物量转变成便于利用的电信号的器件。微传感器是微机电系统三大关键要素之一。,2.1微机械传感器,微传感器主要特点：微传感器的敏感机理与常规传感器相同。但其体积小（只是常规传感器的几十分之一乃至1，其中的敏感元件一般是微米级）；质量轻（从常规的kg级下降至几十g乃至几g）；功耗低（降至mW乃至更低的水平）；精度高；使用寿命长；动态性能好。采用微机械加工技术制备，敏感元件材料以硅为主。,按传感机理分压阻、压电、隧道、电容、谐振、热对流按物理参数分力（加速度/压力/声）热（热电偶/热阻）光（光电类）电磁（磁强计）化学和生物医学（血糖/电容化学/化学机械）,微传感器的分类,(1)压阻敏感原理,当压力作用在单晶硅上时，硅晶体的电阻发生显著变化的效应称为压阻效应。,在外力的作用下，结构中的薄膜或梁上产生应力分布，应力的存在使得压敏电阻的阻值发生变化,微传感器的敏感原理,
