半导体厂洁净室之节能措施(精).doc

半导体厂洁净室之节能措施壹、前 言 # C0 O t0 & n5 O5 w贰、国内半导体厂洁净室耗能之现况参、节约能源技术 4 E/ |4 w7 X9 h% Y! X肆、结 论x7 n2 j% R8 E 0 E&伍、参考文献/ B! D1 o+ _! 7 g# L 台北科技大学冷冻空调研究所/ 萧复文、胡石政、蔡炳煌洁净室耗能为一般空调系统之510 倍，在国内自产能源匮乏且面临能源消耗日益严重的情况c8 D f# k( n1 f! I( V下，如何提升无尘室空调系统的节能技术，以提升生产力与竞争力，是我们必须面对的课题。-近年来，尖端科技产业快速发展，使得晶圆制造或光电技术层级从微米、次微米到奈米，这些产业的制程作业环境，若非于无尘室中进行，其产品即无法达于精密尺度要求。目前半导体产业的集积度提高，晶圆直径大型化，而洁净室耗能又为一般空调系统之510倍，因此能源消耗日益严重。为了维护地球环境生态与永续发展，我们应善尽人类