薄膜生长的理论模型与MonteCarlo模拟.doc

薄膜生长的理论模型与Monte Carlo模拟华中科技大学电子系0208班H1小组计算材料学课程设计报告2005年5月找资料论文:邹讓，魏文祥，吴杰 资料翻译:陈义琦，李莉建模:吴杰，陈义琦，李莉，崔铮，林泽浩，黄萌. 编程:邹鐶，黄萌，项梁，崔铮，朱英山. 会议，日志文字记录整理:李莉，朱英山. 论文撰写，演示文档制作:朱英山，陈义琦.指導老師：以建？*薄膜生长的理论模型及其蒙特卡罗模拟薄膜广泛的应用前景一一光电技术、生物技术、能源技术 特别是电子材料和集成电路技术上的要求研究现状势1o实验技术一一超低温下扫描隧道显微镜观察势2o计算机模拟一一通过对不同的模型的模拟以及不同参数 的设置来了解不同工艺条件下的成膜过程以及各参数变化 对成膜的影响。提高了试验效率，减小了试验成本和开发 新材料的费用。指導老師：江建？itRURDTSilBOV理论模指導老師：江建穿理论模型I碰撞一一源物质粒子离开源向靶沉积，气相原子沉积到表面并被表