采购内容及项目要求.doc

采购内容及项目要求一、项目简要概括本项目为山东大学晶体材料研究所拟采购的脉冲激光沉积系统一套。该设备可填补我校在脉冲激光薄膜制备方面的空缺, 同时也为我校的薄膜工艺方面提供更加完善的硬件及技术支持。本项目共分为 1 个包。允许供应商投报原装进口设备，供应商不得对所投货 物和服务分解后进行相应。 本项目预算为人民币125 万元（包含外贸相关费用） 。山东大学设备采购技术条款响应一览表配置配置名称详细技术参数要求数量序号 6.67x10-6 Pa (经烘烤除气后) ；极 限 真 空1度真 空 室 组2件系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，20 分钟可达到15x10-3Pa ；球型真空室尺寸 450mm，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行电化学抛光，不易氧化，持续提高及保持真空度。接口采用金属1垫圈密封或氟橡胶圈密封；旋 转 靶 台3组件基 片 加 热4台组件旋转顺畅不卡顿，精确控制，提高靶材