高分辨场发射扫描电镜技术参数.doc

高分辨场发射扫描电镜技术参数一、二次电子分辨率：0.8 nm ( 加速电压 15 kV) 1.1nm ( 着陆电压 1 kV)二、放大倍率：40 到900k三、电子光学：1. 电子枪：场发射电子枪2. 加速电压 : 0.5到 30 kV ，3. 透镜系统：三级以上电磁透镜系统4. 物镜光阑：四孔或大于四孔可调光阑( 内置加热自清洁功能 ,)5. 消像散器：八级电磁系统（ X， Y）6. 探测器：低位（ Lower）、高位（ Upper）、和顶位（ Top）至少三个探测器进行二次电子/ 背散射电子的接收（配置光学导航摄像探头，配备红外CCD探头）四、样品室和样品台：样品台控制：高精度五轴马达台移动范围指标：X 100 mm, Y 80 mm, Z20mm1. X、 Y 轴重复精度优于0.5 微米。2. 样品台控制：图形界面控制；样品位置记忆功能；图片导航功能3. 样品仓接口：不少于10 个附件预留口并带有附件返控接口