,小组成员： 安顺 12011125 陈高 12011127 唐诗浩 12011128 汤倩玉 12011202,目录,概念、分类 原理及生产应用实例 发展趋势,敏感材料是对电、光、声、力、热、磁、气体分布等场 的微小变化而表现出性能明显改变的功能材料（通常称之为第二代材料） 敏感元件是传感器的核心元件。 敏感元件要求：灵敏度高、稳定性和可靠性高，互换性和生产重复性好，在某些情况下还要求有高的响应速率,目录,概念、分类 原理及生产应用实例 发展趋势,光敏电阻：利用光电导效应检测光强度的光敏元件 光致抗蚀剂：抗蚀涂层用的感光性树脂,本征光电导 杂质光电导,+,光致抗蚀剂,光致抗蚀剂，又称光刻胶，由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。,主要用途： 大规模集成电路中细微图形加工的关键材料之一。,气敏材料的电阻值将随所处环境的气氛而改变，其阻值随材料类型和气体的浓度作有规则的变化,O2气敏元件所用材料： ZrO2、TiO2 H2、CO2、烃类气敏元件 所用材料：SnO2、ZnO,ZrO2气敏陶瓷材料,材料又具有多孔性，
