大小孔偏调整作业流程一、 机台水平确认:1.1 静态水平:之要求0.02mm/m1.2 动态水平:一般装机用之空跑程序设 定 UP,30mmDN,24mm Up及 Dn 的设定相差 6mm即可。F( 进刀速) :9m/minU(退刀速 ) :25.4m/min1.3 依下列顺序将水平螺丝锁紧1234567 8 9 10锁紧后以千分表量测每点的震动数据,建议调整震动于20um以下。日立标准 (10um)二、 Z 轴相关精度点检2.1 压力脚之大小轴衬请使用原厂铜轴衬( 强烈要求 ) 。2.2 Z轴原点之确认针尖到轴衬底端1mm0.1mm(0.9 1.1mm 相当重要 ) 。2.3 SPINDLE 高度确认。2.4 200 之精度要求 50um ( 最佳状况态调整于 30um以内)2.5 确认压力脚 Cylinder 确认是否耗损。 将压力脚拆下后按 PF确认左右 Cylinder上下动作是否一致,如没有可调整Cylinder进出
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