2020/11/6,第12章 气相沉积技术,表面工程,2020/11/6,是一类在基体上形成功能膜层的技术，也称作干镀。,气相沉积,按照膜层形成机理可分为：,化学气相沉积,物理气相沉积,真空蒸镀,溅射镀膜,离子镀膜,2020/11/6,第12章 气相沉积技术,12.1真空蒸镀基本原理、装置及工艺 12.2溅射镀膜基本原理、装置及工艺 12.3离子镀膜基本原理、装置及工艺 12.4化学气相沉积原理、装置及工艺,2020/11/6,12.1真空蒸镀基本原理、装置及工艺,2020/11/6,在真空条件下，用加热蒸发的方法使镀料转化为气相，然后凝聚在基体表面的方法。,12.1.1真空蒸镀概念,真空蒸镀模具零件,2020/11/6,真空蒸镀汽车轮毂,真空蒸镀日用五金,真空蒸镀步骤： 清洁基材表面蒸发源加热镀膜材料材料蒸发或升华成蒸气蒸气在基材表面凝聚成膜。,2020/11/6,真空蒸镀电子产品非金属零件,CPP镀铝膜/PET复合膜袋,金属膜包装纸,2020/11/6,12.1.2真空蒸镀原理,在高真空中，镀料气化（升华）。基体设在蒸气流上方，且温度相
