直流辉光等离子体特性诊断,报 告 人：杜 科 指导教师：乐永康,直流辉光等离子体特性诊断,了解直流辉光放电中各区域的特性 分析静电探针的工作原理 总结探针测量等离子体参数的相关理论 探讨静电探针获得等离子体伏安曲线的技术 测量正电柱区的等离子体参数 分析了引入误差的机理,1.1等离子体的产生（辉光放电）,1.2等离子体的基本特征,等离子体温度 等离子体密度 等离子体振荡 德拜屏蔽，鞘层,1.3等离子体参数的诊断,基于等离子体的电磁效应的静电探针和磁探针诊断方法。 基于电磁波在等离子体中传播特性的微光探针、激光探针等。 光谱分析方法等,1.4静电探针法,静电探针测量原理图,典型的伏安特性曲线,双探针I-V曲线,单探针I-V曲线,1.5双探针理论,以电子伏为单位时电子的温度：,离子密度：,探针电流:,2.1双探针曲线分析,测量电流不饱和 测量曲线不对称,放电条件为：气压60Pa,电压600V，辉光电流12.6mA时测得直流空气等离子体伏安特性曲线,-1V 1V之间伏安特性曲线,2.2理想曲线拟合,理想双探针伏安特性曲线拟合,2.3等离子体参数计算,图伏安特性曲线可以得到 ,
